Semicera-ийн10х10мм туйлтгүй М-хавтгай Хөнгөн цагаан субстратдэвшилтэт оптоэлектроник хэрэглээний нарийн шаардлагад нийцүүлэн нарийн боловсруулсан болно. Энэхүү субстрат нь туйлшралгүй M-хавтгай чиг баримжаатай бөгөөд энэ нь LED болон лазер диод зэрэг төхөөрөмжүүдийн туйлшралын нөлөөг багасгахад чухал ач холбогдолтой бөгөөд гүйцэтгэл, үр ашгийг дээшлүүлдэг.
The10х10мм туйлтгүй М-хавтгай Хөнгөн цагаан субстратЭнэ нь хамгийн бага согогийн нягтрал, дээд зэргийн бүтцийн бүрэн бүтэн байдлыг хангадаг онцгой талст чанараар бүтээгдсэн. Энэ нь дараагийн үеийн оптоэлектроник төхөөрөмжийг хөгжүүлэхэд зайлшгүй шаардлагатай III-нитридын өндөр чанарын хальсны эпитаксиаль өсөлтөд тохиромжтой сонголт юм.
Semicera-ийн нарийн инженерчлэл нь тус бүрийг баталгаажуулдаг10х10мм туйлтгүй М-хавтгай Хөнгөн цагаан субстратТогтвортой зузаан, гадаргуугийн тэгш байдлыг санал болгодог бөгөөд энэ нь хальсыг жигд болгох, төхөөрөмжийг үйлдвэрлэхэд чухал үүрэг гүйцэтгэдэг. Нэмж дурдахад, субстратын авсаархан хэмжээ нь түүнийг судалгаа, үйлдвэрлэлийн орчинд аль алинд нь тохиромжтой болгож, олон төрлийн хэрэглээнд уян хатан ашиглах боломжийг олгодог. Дулааны болон химийн маш сайн тогтвортой байдлын ачаар энэхүү субстрат нь хамгийн сүүлийн үеийн оптоэлектроник технологийг хөгжүүлэх найдвартай суурийг бүрдүүлдэг.
| Эд зүйлс | Үйлдвэрлэл | Судалгаа | Дамми |
| Кристал параметрүүд | |||
| Политип | 4H | ||
| Гадаргуугийн чиглэлийн алдаа | <11-20 >4±0.15° | ||
| Цахилгааны параметрүүд | |||
| Допант | n төрлийн азот | ||
| Эсэргүүцэл | 0.015-0.025 ом·см | ||
| Механик параметрүүд | |||
| Диаметр | 150.0±0.2мм | ||
| Зузаан | 350±25 мкм | ||
| Үндсэн хавтгай чиг баримжаа | [1-100]±5° | ||
| Үндсэн хавтгай урт | 47.5±1.5мм | ||
| Хоёрдогч байр | Байхгүй | ||
| TTV | ≤5 мкм | ≤10 мкм | ≤15 мкм |
| LTV | ≤3 мкм(5мм*5мм) | ≤5 мкм(5мм*5мм) | ≤10 мкм(5мм*5мм) |
| Нум | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Муухай | ≤35 мкм | ≤45 мкм | ≤55 мкм |
| Урд талын барзгар байдал (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Бүтэц | |||
| Микро хоолойн нягтрал | <1 э/см2 | <10 эа/см2 | <15 эа/см2 |
| Металлын хольц | ≤5E10атом/см2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/см2 | ≤3000 ea/см2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Урд чанар | |||
| Урд | Si | ||
| Гадаргуугийн өнгөлгөө | Si-face CMP | ||
| Бөөмүүд | ≤60ea/waf (хэмжээ≥0.3μm) | NA | |
| Зураас | ≤5ea/мм. Хуримтлагдсан урт ≤Диаметр | Хуримтлагдсан урт≤2*Диаметр | NA |
| Жүржийн хальс/цорхой/толбо/суралт/ хагарал/бохирдол | Байхгүй | NA | |
| Ирмэгийн чипс / догол / хугарал / зургаан өнцөгт хавтан | Байхгүй | ||
| Политип талбайнууд | Байхгүй | Хуримтлагдсан талбай≤20% | Хуримтлагдсан талбай≤30% |
| Урд талын лазер тэмдэглэгээ | Байхгүй | ||
| Буцах чанар | |||
| Арын төгсгөл | C-нүүртэй CMP | ||
| Зураас | ≤5ea/мм,Хуримт урт≤2*Диаметр | NA | |
| Арын гажиг (захын чипс/догол) | Байхгүй | ||
| Нурууны барзгар байдал | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Буцах лазер тэмдэглэгээ | 1 мм (дээд ирмэгээс) | ||
| Ирмэг | |||
| Ирмэг | Хагархай | ||
| Сав баглаа боодол | |||
| Сав баглаа боодол | Вакуум савлагаатай эпи-бэлэн Олон талт цаасны сав баглаа боодол | ||
| *Тэмдэглэл: "NA" гэдэг нь хүсэлт байхгүй гэсэн үг Дудаагүй зүйл нь ХАГАС БЗДХ-тай холбоотой байж болно. | |||
