Сийлбэрийн процессын хэсгүүд

Хагас дамжуулагч хавтангаар дамжуулахад зориулсан PSS боловсруулах тээвэрлэгч
Захиалгат хагас дамжуулагч ICP тавиур (сийлбэр)
LED сийлбэр Цахиур карбид агуулсан тавиур, ICP тавиур (Etch)
Өндөр температур, зэврэлтэнд тэсвэртэй LED цахиурын карбидын сийлбэрийн тавиур (ICP сийлбэр тавиур)
RTP/RTA хурдан халаалтын дулааны боловсруулалтанд зориулсан SiC зөөгч
LED үйлдвэрлэлийн ICP сийлбэр процесст зориулсан SiC зүү тавиурууд
Хагас дамжуулагчийн цахиурын карбидын RTA зөөгч хавтан
Хагас дамжуулагч сийлбэр хийх SiC бүрэх зөөгч