Цахиурын карбид (SiC) дан болор материал нь зурвасын өргөнтэй (~Si 3 дахин), өндөр дулаан дамжуулалттай (~Si 3.3 дахин эсвэл GaAs 10 дахин), электроноор ханалтын шилжилтийн хурд (~Si 2.5 дахин), өндөр задралын цахилгаан талбар (~Si 10 удаа эсвэл GaAs 5 удаа) болон бусад гайхалтай шинж чанарууд.
Гурав дахь үеийн хагас дамжуулагч материалууд нь голчлон SiC, GaN, алмаз гэх мэтийг агуулдаг, учир нь түүний зурвасын өргөн (Жишээ нь) 2.3 электрон вольтоос (eV) их буюу тэнцүү байдаг бөгөөд үүнийг өргөн зурвасын хагас дамжуулагч материал гэж нэрлэдэг. Гурав дахь үеийн хагас дамжуулагч материалууд нь нэг ба хоёрдугаар үеийн хагас дамжуулагч материалтай харьцуулахад өндөр дулаан дамжуулалт, өндөр задралын цахилгаан орон, өндөр ханасан электрон шилжилтийн хурд, өндөр холболтын энерги зэрэг нь орчин үеийн цахим технологийн шинэ шаардлагыг хангаж чадах давуу талтай юм. температур, өндөр хүч, өндөр даралт, өндөр давтамж, цацрагийн эсэргүүцэл болон бусад хүнд нөхцөлд. Энэ нь үндэсний батлан хамгаалах, нисэх онгоц, сансар судлал, газрын тосны хайгуул, оптик хадгалалт гэх мэт салбарт хэрэглэх чухал хэтийн төлөвтэй бөгөөд өргөн зурвасын харилцаа холбоо, нарны эрчим хүч, автомашины үйлдвэрлэл зэрэг стратегийн олон салбарт эрчим хүчний алдагдлыг 50 гаруй хувиар бууруулах боломжтой. Хагас дамжуулагч гэрэлтүүлэг, ухаалаг сүлжээ зэрэг нь тоног төхөөрөмжийн эзлэхүүнийг 75%-иар бууруулах боломжтой бөгөөд энэ нь манай улсын хувьд чухал ач холбогдолтой юм. хүний шинжлэх ухаан, технологийн хөгжил.
Semicera Energy хэрэглэгчдэд өндөр чанартай дамжуулагч (дамжуулагч), хагас тусгаарлагч (хагас тусгаарлагч), HPSI (өндөр цэвэршилттэй хагас тусгаарлагч) цахиурын карбидын субстратаар хангах боломжтой; Нэмж дурдахад бид хэрэглэгчдэд нэгэн төрлийн, гетероген цахиурын карбидын эпитаксиал хавтанг өгөх боломжтой; Бид мөн эпитаксиаль хуудсыг үйлчлүүлэгчдийн хэрэгцээнд нийцүүлэн өөрчлөх боломжтой бөгөөд захиалгын хамгийн бага тоо хэмжээ байхгүй.
ХАЙХ ЗААВАР ТОВЧЛОЛУУДЫН ҮЗҮҮЛЭЛТ
*n-Pm=n-төрөл Pm-зэрэг,n-Ps=n-төрөл Ps-зэрэг,Sl=хагас тусгаарлагч
| Зүйл | 8 инч | 6 инч | 4 инч | ||
| nP | n-pm | n-Ps | SI | SI | |
| TTV(GBIR) | ≤6um | ≤6um | |||
| Нум(GF3YFCD)-Үнэмлэхүй утга | ≤15μm | ≤15μm | ≤25μm | ≤15μm | |
| Муухай(GF3YFER) | ≤25μm | ≤25μm | ≤40μm | ≤25μm | |
| LTV (SBIR) -10ммx10мм | <2μм | ||||
| Өрөөний ирмэг | Нүхлэх | ||||
Гадаргуугийн өнгөлгөө
*n-Pm=n-type Pm-Grade,n-Ps=n-type Ps-Grade,Sl=Хагас тусгаарлагч
| Зүйл | 8 инч | 6 инч | 4 инч | ||
| nP | n-pm | n-Ps | SI | SI | |
| Гадаргуугийн өнгөлгөө | Хоёр талын оптик өнгөлөгч, Si-Face CMP | ||||
| Гадаргуугийн барзгар байдал | (10um x 10um) Si-FaceRa≤0.2нм C-Нүүрний Ra≤ 0.5нм | (5umx5um) Si-Face Ra≤0.2nm C-Нүүрний Ra≤0.5nm | |||
| Ирмэгийн чипс | Зөвшөөрөгдөөгүй (урт ба өргөн≥0.5мм) | ||||
| Догол | Зөвшөөрөгдөөгүй | ||||
| Зураас(Si-Face) | Тоо хэмжээ.≤5, Хуримтлагдсан Урт≤0.5хөрсөгний диаметр | Тоо хэмжээ.≤5, Хуримтлагдсан Урт≤0.5хөрсөгний диаметр | Тоо хэмжээ.≤5, Хуримтлагдсан Урт≤0.5хөрсөгний диаметр | ||
| Хагарал | Зөвшөөрөгдөөгүй | ||||
| Ирмэгийг хасах | 3мм | ||||
