Semicera-ийн 4”6” өндөр цэвэршилттэй хагас тусгаарлагч SiC ембүү нь хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн нарийн стандартыг хангахаар бүтээгдсэн. Эдгээр ембүү нь цэвэр байдал, тууштай байдалд онцгой анхаарал хандуулж үйлдвэрлэсэн бөгөөд гүйцэтгэл нь хамгийн чухал байдаг өндөр хүчин чадал, өндөр давтамжийн хэрэглээнд тохиромжтой сонголт юм.
Эдгээр SiC ембүүгүүдийн өвөрмөц шинж чанарууд, тухайлбал өндөр дулаан дамжуулалт, маш сайн цахилгаан эсэргүүцэл зэрэг нь тэдгээрийг цахилгаан электроник болон богино долгионы төхөөрөмжид ашиглахад онцгой тохиромжтой болгодог. Тэдний хагас дулаалгын шинж чанар нь дулааныг үр дүнтэй тарааж, цахилгааны хөндлөнгийн оролцоог хамгийн бага байлгах боломжийг олгодог бөгөөд ингэснээр илүү үр ашигтай, найдвартай бүрэлдэхүүн хэсгүүдэд хүргэдэг.
Semicera нь болорын онцгой чанар, нэгэн төрлийн ембүү үйлдвэрлэхийн тулд хамгийн сүүлийн үеийн үйлдвэрлэлийн процессуудыг ашигладаг. Энэхүү нарийвчлал нь ембүү бүрийг өндөр давтамжийн өсгөгч, лазер диод болон бусад оптоэлектроник төхөөрөмж гэх мэт эмзэг хэрэглээнд найдвартай ашиглах боломжийг олгодог.
4 инчийн болон 6 инчийн хэмжээтэй Semicera-ийн SiC ембүү нь янз бүрийн үйлдвэрлэлийн хэмжээ, технологийн шаардлагад шаардлагатай уян хатан байдлыг хангадаг. Эдгээр ембүү нь судалгаа, хөгжүүлэлт эсвэл масс үйлдвэрлэлд зориулагдсан эсэхээс үл хамааран орчин үеийн цахим системүүдийн шаарддаг гүйцэтгэл, бат бөх чанарыг хангадаг.
Semicera-ийн өндөр цэвэршилттэй хагас тусгаарлагч SiC ембүүг сонгосноор та материаллаг шинжлэх ухааны дэвшилтэт технологийг үйлдвэрлэлийн хосгүй мэдлэгтэй хослуулсан бүтээгдэхүүнд хөрөнгө оруулалт хийж байна. Semicera нь хагас дамжуулагчийн салбарын инноваци, өсөлтийг дэмжихэд зориулагдсан бөгөөд хамгийн сүүлийн үеийн электрон төхөөрөмжүүдийг хөгжүүлэх боломжийг олгодог материалуудыг санал болгодог.
| Эд зүйлс | Үйлдвэрлэл | Судалгаа | Дамми |
| Кристал параметрүүд | |||
| Политип | 4H | ||
| Гадаргуугийн чиглэлийн алдаа | <11-20 >4±0.15° | ||
| Цахилгааны параметрүүд | |||
| Допант | n төрлийн азот | ||
| Эсэргүүцэл | 0.015-0.025 ом·см | ||
| Механик параметрүүд | |||
| Диаметр | 150.0±0.2мм | ||
| Зузаан | 350±25 мкм | ||
| Үндсэн хавтгай чиг баримжаа | [1-100]±5° | ||
| Үндсэн хавтгай урт | 47.5±1.5мм | ||
| Хоёрдогч байр | Байхгүй | ||
| TTV | ≤5 мкм | ≤10 мкм | ≤15 мкм |
| LTV | ≤3 мкм(5мм*5мм) | ≤5 мкм(5мм*5мм) | ≤10 мкм(5мм*5мм) |
| Нум | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Муухай | ≤35 мкм | ≤45 мкм | ≤55 мкм |
| Урд талын барзгар байдал (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Бүтэц | |||
| Микро хоолойн нягтрал | <1 э/см2 | <10 эа/см2 | <15 эа/см2 |
| Металлын хольц | ≤5E10атом/см2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/см2 | ≤3000 ea/см2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Урд чанар | |||
| Урд | Si | ||
| Гадаргуугийн өнгөлгөө | Si-face CMP | ||
| Бөөмүүд | ≤60ea/waf (хэмжээ≥0.3μm) | NA | |
| Зураас | ≤5ea/мм. Хуримтлагдсан урт ≤Диаметр | Хуримтлагдсан урт≤2*Диаметр | NA |
| Жүржийн хальс/цорхой/толбо/суралт/ хагарал/бохирдол | Байхгүй | NA | |
| Ирмэгийн чипс / догол / хугарал / зургаан өнцөгт хавтан | Байхгүй | ||
| Политип талбайнууд | Байхгүй | Хуримтлагдсан талбай≤20% | Хуримтлагдсан талбай≤30% |
| Урд талын лазер тэмдэглэгээ | Байхгүй | ||
| Буцах чанар | |||
| Арын төгсгөл | C-нүүртэй CMP | ||
| Зураас | ≤5ea/мм,Хуримт урт≤2*Диаметр | NA | |
| Арын гажиг (захын чипс/догол) | Байхгүй | ||
| Нурууны барзгар байдал | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Буцах лазер тэмдэглэгээ | 1 мм (дээд ирмэгээс) | ||
| Ирмэг | |||
| Ирмэг | Хагархай | ||
| Сав баглаа боодол | |||
| Сав баглаа боодол | Вакуум савлагаатай эпи-бэлэн Олон талт цаасны сав баглаа боодол | ||
| *Тэмдэглэл: "NA" гэдэг нь хүсэлт байхгүй гэсэн үг Дудаагүй зүйл нь ХАГАС БЗДХ-тай холбоотой байж болно. | |||
