Semicera-ийн 6 инчийн N-type SiC Wafer нь хагас дамжуулагч технологийн тэргүүн эгнээнд зогсож байна. Тохиромжтой гүйцэтгэлтэй байхаар бүтээгдсэн энэхүү вафель нь дэвшилтэт электрон төхөөрөмжүүдэд зайлшгүй шаардлагатай өндөр чадал, өндөр давтамж, өндөр температурын хэрэглээнд давуу юм.
Манай 6 инчийн N-төрлийн SiC хавтан нь электроны өндөр хөдөлгөөнтэй, бага эсэргүүцэлтэй байдаг нь MOSFET, диод болон бусад бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн цахилгаан төхөөрөмжүүдийн чухал үзүүлэлт юм. Эдгээр шинж чанарууд нь эрчим хүчний үр ашигтай хувиргалтыг баталгаажуулж, дулааны үйлдвэрлэлийг бууруулж, электрон системийн гүйцэтгэл, ашиглалтын хугацааг нэмэгдүүлдэг.
Semicera-ийн нарийн чанарын хяналтын процессууд нь SiC хавтан бүр гадаргуугийн тэгш байдал, хамгийн бага согогийг хадгалдаг. Энэхүү нарийн ширийн зүйлийг анхаарч үзэх нь манай хавтан нь автомашин, сансар судлал, харилцаа холбоо зэрэг салбарын хатуу шаардлагыг хангадаг.
Шилдэг цахилгаан шинж чанараас гадна N төрлийн SiC хавтан нь бат бөх дулааны тогтвортой байдал, өндөр температурт тэсвэртэй тул уламжлалт материал эвдэрч болзошгүй орчинд тохиромжтой. Энэ чадвар нь өндөр давтамжийн болон өндөр хүчин чадалтай үйл ажиллагаатай холбоотой хэрэглээнд онцгой ач холбогдолтой юм.
Semicera-ийн 6 инчийн N-type SiC Wafer-ийг сонгосноор та хагас дамжуулагчийн инновацийн оргилыг илтгэх бүтээгдэхүүнд хөрөнгө оруулалт хийж байна. Бид төрөл бүрийн салбар дахь түншүүдээ технологийн дэвшлийн шилдэг материалд хүрэх боломжийг баталгаажуулж, хамгийн сүүлийн үеийн төхөөрөмжүүдийн барилгын материалаар хангах үүрэг хүлээдэг.
| Эд зүйлс | Үйлдвэрлэл | Судалгаа | Дамми |
| Кристал параметрүүд | |||
| Политип | 4H | ||
| Гадаргуугийн чиглэлийн алдаа | <11-20 >4±0.15° | ||
| Цахилгааны параметрүүд | |||
| Допант | n төрлийн азот | ||
| Эсэргүүцэл | 0.015-0.025 ом·см | ||
| Механик параметрүүд | |||
| Диаметр | 150.0±0.2мм | ||
| Зузаан | 350±25 мкм | ||
| Үндсэн хавтгай чиг баримжаа | [1-100]±5° | ||
| Үндсэн хавтгай урт | 47.5±1.5мм | ||
| Хоёрдогч байр | Байхгүй | ||
| TTV | ≤5 мкм | ≤10 мкм | ≤15 мкм |
| LTV | ≤3 мкм(5мм*5мм) | ≤5 мкм(5мм*5мм) | ≤10 мкм(5мм*5мм) |
| Нум | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Муухай | ≤35 мкм | ≤45 мкм | ≤55 мкм |
| Урд талын барзгар байдал (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Бүтэц | |||
| Микро хоолойн нягтрал | <1 э/см2 | <10 эа/см2 | <15 эа/см2 |
| Металлын хольц | ≤5E10атом/см2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/см2 | ≤3000 ea/см2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Урд чанар | |||
| Урд | Si | ||
| Гадаргуугийн өнгөлгөө | Si-face CMP | ||
| Бөөмүүд | ≤60ea/waf (хэмжээ≥0.3μm) | NA | |
| Зураас | ≤5ea/мм. Хуримтлагдсан урт ≤Диаметр | Хуримтлагдсан урт≤2*Диаметр | NA |
| Жүржийн хальс/цорхой/толбо/суралт/ хагарал/бохирдол | Байхгүй | NA | |
| Ирмэгийн чипс / догол / хугарал / зургаан өнцөгт хавтан | Байхгүй | ||
| Политип талбайнууд | Байхгүй | Хуримтлагдсан талбай≤20% | Хуримтлагдсан талбай≤30% |
| Урд талын лазер тэмдэглэгээ | Байхгүй | ||
| Буцах чанар | |||
| Арын төгсгөл | C-нүүртэй CMP | ||
| Зураас | ≤5ea/мм,Хуримт урт≤2*Диаметр | NA | |
| Арын гажиг (захын чипс/догол) | Байхгүй | ||
| Нурууны барзгар байдал | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Буцах лазер тэмдэглэгээ | 1 мм (дээд ирмэгээс) | ||
| Ирмэг | |||
| Ирмэг | Хагархай | ||
| Сав баглаа боодол | |||
| Сав баглаа боодол | Вакуум савлагаатай эпи-бэлэн Олон талт цаасны сав баглаа боодол | ||
| *Тэмдэглэл: "NA" гэдэг нь хүсэлт байхгүй гэсэн үг Дудаагүй зүйл нь ХАГАС БЗДХ-тай холбоотой байж болно. | |||
