Semicera-ийн 6 инчийн хагас тусгаарлагч HPSI SiC хавтан нь орчин үеийн хагас дамжуулагч технологийн хатуу шаардлагыг хангахад зориулагдсан. Гайхамшигтай цэвэр байдал, тууштай байдлын хувьд эдгээр хавтан нь өндөр үр ашигтай электрон эд ангиудыг хөгжүүлэх найдвартай суурь болж өгдөг.
Эдгээр HPSI SiC хавтан нь эрчим хүчний төхөөрөмж болон өндөр давтамжийн хэлхээний гүйцэтгэлийг оновчтой болгоход чухал үүрэг гүйцэтгэдэг гайхалтай дулаан дамжилтын чанар, цахилгаан тусгаарлагчаараа алдартай. Хагас тусгаарлагч шинж чанарууд нь цахилгааны хөндлөнгийн оролцоог багасгах, төхөөрөмжийн үр ашгийг нэмэгдүүлэхэд тусалдаг.
Semicera-ийн ашигладаг өндөр чанартай үйлдвэрлэлийн процесс нь вафер бүр жигд зузаантай, гадаргуугийн хамгийн бага согогтой байхыг баталгаажуулдаг. Энэхүү нарийвчлал нь гүйцэтгэл, бат бөх чанар нь гол хүчин зүйл болдог радио давтамжийн төхөөрөмж, цахилгаан хувиргагч, LED систем зэрэг дэвшилтэт хэрэглээнд зайлшгүй шаардлагатай.
Хамгийн сүүлийн үеийн үйлдвэрлэлийн техникийг ашигласнаар Semicera нь зөвхөн үйлдвэрлэлийн стандартыг хангаад зогсохгүй давсан жигнэмэгээр хангадаг. 6 инчийн хэмжээ нь хагас дамжуулагчийн салбарын судалгаа, арилжааны хэрэглээнд нийцүүлэн үйлдвэрлэлийг өргөжүүлэх уян хатан байдлыг санал болгодог.
Semicera-ийн 6 инчийн хагас дулаалгатай HPSI SiC хавтан сонгох нь тогтвортой чанар, гүйцэтгэлийг хангах бүтээгдэхүүнд хөрөнгө оруулалт хийх гэсэн үг юм. Эдгээр хавтан нь хагас дамжуулагч технологийн чадавхийг шинэлэг материал, нарийн гар урлалаар дамжуулан ахиулах Semicera-ийн амлалтын нэг хэсэг юм.
| Эд зүйлс | Үйлдвэрлэл | Судалгаа | Дамми |
| Кристал параметрүүд | |||
| Политип | 4H | ||
| Гадаргуугийн чиглэлийн алдаа | <11-20 >4±0.15° | ||
| Цахилгааны параметрүүд | |||
| Допант | n төрлийн азот | ||
| Эсэргүүцэл | 0.015-0.025 ом·см | ||
| Механик параметрүүд | |||
| Диаметр | 150.0±0.2мм | ||
| Зузаан | 350±25 мкм | ||
| Үндсэн хавтгай чиг баримжаа | [1-100]±5° | ||
| Үндсэн хавтгай урт | 47.5±1.5мм | ||
| Хоёрдогч байр | Байхгүй | ||
| TTV | ≤5 мкм | ≤10 мкм | ≤15 мкм |
| LTV | ≤3 мкм(5мм*5мм) | ≤5 мкм(5мм*5мм) | ≤10 мкм(5мм*5мм) |
| Нум | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Муухай | ≤35 мкм | ≤45 мкм | ≤55 мкм |
| Урд талын барзгар байдал (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Бүтэц | |||
| Микро хоолойн нягтрал | <1 э/см2 | <10 эа/см2 | <15 эа/см2 |
| Металлын хольц | ≤5E10атом/см2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/см2 | ≤3000 ea/см2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Урд чанар | |||
| Урд | Si | ||
| Гадаргуугийн өнгөлгөө | Si-face CMP | ||
| Бөөмүүд | ≤60ea/waf (хэмжээ≥0.3μm) | NA | |
| Зураас | ≤5ea/мм. Хуримтлагдсан урт ≤Диаметр | Хуримтлагдсан урт≤2*Диаметр | NA |
| Жүржийн хальс/цорхой/толбо/суралт/ хагарал/бохирдол | Байхгүй | NA | |
| Ирмэгийн чипс / догол / хугарал / зургаан өнцөгт хавтан | Байхгүй | ||
| Политип талбайнууд | Байхгүй | Хуримтлагдсан талбай≤20% | Хуримтлагдсан талбай≤30% |
| Урд талын лазер тэмдэглэгээ | Байхгүй | ||
| Буцах чанар | |||
| Арын төгсгөл | C-нүүртэй CMP | ||
| Зураас | ≤5ea/мм,Хуримт урт≤2*Диаметр | NA | |
| Арын гажиг (захын чипс/догол) | Байхгүй | ||
| Нурууны барзгар байдал | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Буцах лазер тэмдэглэгээ | 1 мм (дээд ирмэгээс) | ||
| Ирмэг | |||
| Ирмэг | Хагархай | ||
| Сав баглаа боодол | |||
| Сав баглаа боодол | Вакуум савлагаатай эпи-бэлэн Олон талт цаасны сав баглаа боодол | ||
| *Тэмдэглэл: "NA" гэдэг нь хүсэлт байхгүй гэсэн үг Дудаагүй зүйл нь ХАГАС БЗДХ-тай холбоотой байж болно. | |||
