Хагас-ийг танилцуулж байна850V өндөр хүчин чадалтай GaN-on-Si Epi Wafer, хагас дамжуулагчийн инновацийн нээлт. Энэхүү дэвшилтэт эпи ваффер нь галлиум нитридын (GaN) өндөр үр ашгийг Цахиурын (Si) хэмнэлттэй хослуулж, өндөр хүчдэлийн хэрэглээнд хүчирхэг шийдлийг бий болгодог.
Гол онцлогууд:
•Өндөр хүчдэлийн зохицуулалт: 850В хүртэл хүчдэлийг дэмжихээр бүтээгдсэн энэхүү GaN-on-Si Epi Wafer нь цахилгаан эрчим хүчний электроникийн хэрэгцээг хангахад тохиромжтой бөгөөд өндөр үр ашиг, гүйцэтгэлийг бий болгодог.
•Сайжруулсан эрчим хүчний нягтрал: Дээд зэргийн электрон хөдөлгөөн ба дулаан дамжуулалттай GaN технологи нь авсаархан дизайн хийх, эрчим хүчний нягтралыг нэмэгдүүлэх боломжийг олгодог.
•Зардал багатай шийдэл: Цахиурыг субстрат болгон ашигласнаар чанар, гүйцэтгэлийг алдагдуулахгүйгээр уламжлалт GaN хавтанцараас хямд өртөгтэй хувилбарыг санал болгож байна.
•Өргөн хэрэглээний хүрээ: Эрчим хүч хувиргагч, RF өсгөгч болон бусад өндөр хүчин чадалтай электрон төхөөрөмжүүдэд ашиглахад тохиромжтой бөгөөд найдвартай, бат бөх чанарыг баталгаажуулдаг.
Semicera's ашиглан өндөр хүчдэлийн технологийн ирээдүйг судлаарай850V өндөр хүчин чадалтай GaN-on-Si Epi Wafer. Хамгийн сүүлийн үеийн хэрэглээнд зориулагдсан энэхүү бүтээгдэхүүн нь таны электрон төхөөрөмжүүдийг хамгийн их үр ашигтай, найдвартай ажиллуулах баталгаа юм. Дараагийн үеийн хагас дамжуулагчийн хэрэгцээнд зориулж Semicera-г сонго.
| Эд зүйлс | Үйлдвэрлэл | Судалгаа | Дамми |
| Кристал параметрүүд | |||
| Политип | 4H | ||
| Гадаргуугийн чиглэлийн алдаа | <11-20 >4±0.15° | ||
| Цахилгааны параметрүүд | |||
| Допант | n төрлийн азот | ||
| Эсэргүүцэл | 0.015-0.025 ом·см | ||
| Механик параметрүүд | |||
| Диаметр | 150.0±0.2мм | ||
| Зузаан | 350±25 мкм | ||
| Үндсэн хавтгай чиг баримжаа | [1-100]±5° | ||
| Үндсэн хавтгай урт | 47.5±1.5мм | ||
| Хоёрдогч байр | Байхгүй | ||
| TTV | ≤5 мкм | ≤10 мкм | ≤15 мкм |
| LTV | ≤3 мкм(5мм*5мм) | ≤5 мкм(5мм*5мм) | ≤10 мкм(5мм*5мм) |
| Нум | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Муухай | ≤35 мкм | ≤45 мкм | ≤55 мкм |
| Урд талын барзгар байдал (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Бүтэц | |||
| Микро хоолойн нягтрал | <1 э/см2 | <10 эа/см2 | <15 эа/см2 |
| Металлын хольц | ≤5E10атом/см2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/см2 | ≤3000 ea/см2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Урд чанар | |||
| Урд | Si | ||
| Гадаргуугийн өнгөлгөө | Si-face CMP | ||
| Бөөмүүд | ≤60ea/waf (хэмжээ≥0.3μm) | NA | |
| Зураас | ≤5ea/мм. Хуримтлагдсан урт ≤Диаметр | Хуримтлагдсан урт≤2*Диаметр | NA |
| Жүржийн хальс/цорхой/толбо/суралт/ хагарал/бохирдол | Байхгүй | NA | |
| Ирмэгийн чипс / догол / хугарал / зургаан өнцөгт хавтан | Байхгүй | ||
| Политип талбайнууд | Байхгүй | Хуримтлагдсан талбай≤20% | Хуримтлагдсан талбай≤30% |
| Урд талын лазер тэмдэглэгээ | Байхгүй | ||
| Буцах чанар | |||
| Арын төгсгөл | C-нүүртэй CMP | ||
| Зураас | ≤5ea/мм,Хуримт урт≤2*Диаметр | NA | |
| Арын гажиг (захын чипс/догол) | Байхгүй | ||
| Нурууны барзгар байдал | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Буцах лазер тэмдэглэгээ | 1 мм (дээд ирмэгээс) | ||
| Ирмэг | |||
| Ирмэг | Хагархай | ||
| Сав баглаа боодол | |||
| Сав баглаа боодол | Вакуум савлагаатай эпи-бэлэн Олон талт цаасны сав баглаа боодол | ||
| *Тэмдэглэл: "NA" гэдэг нь хүсэлт байхгүй гэсэн үг Дудаагүй зүйл нь ХАГАС БЗДХ-тай холбоотой байж болно. | |||
