Semicera-ийн цэнхэр/ногоон LED эпитакси нь өндөр үзүүлэлттэй LED үйлдвэрлэх хамгийн сүүлийн үеийн шийдлүүдийг санал болгодог. Цэнхэр/ногоон LED эпитаксийн технологи нь янз бүрийн оптоэлектроник хэрэглээнд чухал ач холбогдолтой цэнхэр, ногоон LED үйлдвэрлэх үр ашиг, нарийвчлалыг сайжруулдаг эпитаксиаль өсөлтийн дэвшилтэт процессыг дэмжих зорилготой юм. Хамгийн сүүлийн үеийн Si Epitaxy болон SiC Epitaxy ашиглан энэхүү шийдэл нь маш сайн чанар, бат бөх чанарыг баталгаажуулдаг.
Үйлдвэрлэлийн процесст MOCVD Susceptor нь эпитаксиаль өсөлтийн орчныг оновчтой болгодог PSS Etching Carrier, ICP Etching Carrier, RTP Carrier зэрэг бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн хамт чухал үүрэг гүйцэтгэдэг. Semicera-ийн Цэнхэр/ногоон LED эпитакси нь LED эпитаксиал мэдрэгч, баррель мэдрэгч, монокристал цахиурт тогтвортой дэмжлэг үзүүлэх зорилготой бөгөөд тогтвортой, өндөр чанартай үр дүнг гаргах боломжийг олгодог.
Энэхүү эпитаксийн үйл явц нь фотоволтайк эд ангиудыг бий болгоход чухал ач холбогдолтой бөгөөд SiC Epitaxy дээрх GaN зэрэг програмуудыг дэмжиж, хагас дамжуулагчийн ерөнхий үр ашгийг дээшлүүлдэг. Хуушуурын шингээгчийн тохиргоонд эсвэл бусад дэвшилтэт тохируулгад ашиглагдаж байгаа эсэхээс үл хамааран Semicera-ийн Цэнхэр/ногоон LED эпитакситын шийдэл нь найдвартай гүйцэтгэлийг санал болгож, үйлдвэрлэгчдэд өндөр чанарын LED бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн өсөн нэмэгдэж буй эрэлтийг хангахад тусалдаг.
Гол онцлогууд:
1. Өндөр температурт исэлдэлтийн эсэргүүцэл:
1600 С хүртэл өндөр температурт исэлдэлтийн эсэргүүцэл маш сайн хэвээр байна.
2. Өндөр цэвэршилт: өндөр температурт хлоржуулах нөхцөлд химийн уурын хуримтлалаар хийгдсэн.
3. Элэгдлийн эсэргүүцэл: өндөр хатуулаг, нягт гадаргуу, нарийн ширхэгтэй тоосонцор.
4. Зэврэлтэнд тэсвэртэй: хүчил, шүлт, давс, органик урвалж.
-ийн үндсэн үзүүлэлтүүдCVD-SIC бүрэх
| SiC-CVD шинж чанарууд | ||
| Кристал бүтэц | FCC β үе шат | |
| Нягт | г/см³ | 3.21 |
| Хатуу байдал | Викерсийн хатуулаг | 2500 |
| Үр тарианы хэмжээ | мкм | 2~10 |
| Химийн цэвэр байдал | % | 99.99995 |
| Дулааны багтаамж | Ж·кг-1 ·К-1 | 640 |
| Сублимацийн температур | ℃ | 2700 |
| Уян эрхтний хүч | МПа (RT 4 оноо) | 415 |
| Young's modulus | Gpa (4pt нугалах, 1300℃) | 430 |
| Дулааны тэлэлт (CTE) | 10-6К-1 | 4.5 |
| Дулаан дамжилтын илтгэлцүүр | (Вт/мК) | 300 |
