Semicera нь төрөл бүрийн эд анги, тээвэрлэгчдэд зориулсан тусгай тантал карбидын (TaC) бүрээсээр хангадаг.Semicera тэргүүлэгч бүрэх процесс нь тантал карбидын (TaC) бүрээсийг өндөр цэвэршилт, өндөр температурт тогтвортой байдал, химийн өндөр тэсвэрлэх чадварыг бий болгож, SIC/GAN талстууд болон EPI давхаргын бүтээгдэхүүний чанарыг сайжруулдаг.Графитаар бүрсэн TaC мэдрэгч), реакторын гол бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн ашиглалтын хугацааг уртасгах. Тантал карбидын TaC бүрээсийг ашиглах нь ирмэгийн асуудлыг шийдэж, болор ургалтын чанарыг сайжруулахад чиглэгддэг бөгөөд Semicera Semicera нь тантал карбидын бүрэх технологийг (CVD) ололт амжилтаар шийдэж, олон улсын дэвшилтэт түвшинд хүрсэн.
Олон жилийн хөгжлийн дараа Semicera технологийг байлдан дагуулавCVD TaCR&D хэлтсийн хамтарсан хүчин чармайлтаар. SiC өрмөнцөрийн өсөлтийн явцад гэмтэл гарахад хялбар байдаг боловч хэрэглэсний дарааTaC, ялгаа нь мэдэгдэхүйц юм. Доорх нь нэг талст өсөлтийн хувьд TaC-тай болон огтлолтгүй вафель, мөн Simicera-ийн хэсгүүдийн харьцуулалтыг үзүүлэв.
TaC-тай ба үгүй
TaC хэрэглэсний дараа (баруун)
Түүнчлэн Semicera-ийн TaC бүрэх бүтээгдэхүүний ашиглалтын хугацаа нь SiC бүрээстэй харьцуулахад илүү урт бөгөөд өндөр температурт тэсвэртэй байдаг. Лабораторийн хэмжилтийн өгөгдлүүдийн урт хугацааны дараа манай TaC нь хамгийн ихдээ 2300 градусын температурт удаан хугацаанд ажиллах боломжтой. Дараах нь бидний зарим жишээ юм: