Манай химийн уурын элэглэл (CVD) Silicon Carbide (SIC) бүрэх нь өндөр тогтвортой, элэгдлийг тэсвэртэй, тэсвэртэй, электрон тэсвэртэй давхаргад тохиромжтой.Цахиурын карбидын бүрээсCVD процессоор янз бүрийн субстрат дээр нимгэн давхаргад түрхэж, дээд зэргийн гүйцэтгэлийн шинж чанарыг санал болгодог.
Гол онцлогууд
● -Онцгой цэвэр байдал: Хэт цэвэр найрлагатай99.99995%, манайSiC бүрэхмэдрэмтгий хагас дамжуулагчийн үйл ажиллагааны бохирдлын эрсдлийг бууруулдаг.
● -Дээд зэргийн эсэргүүцэл: Элэгдэл, зэврэлтэнд маш сайн тэсвэртэй тул химийн болон плазмын тохируулга хийхэд төгс төгөлдөр болгодог.
● -Дулаан дамжуулалт өндөр
● -Хэмжээний тогтвортой байдал: Дулааны тэлэлтийн бага коэффициентийн ачаар янз бүрийн температурт бүтцийн бүрэн бүтэн байдлыг хадгална.
● -Сайжруулсан хатуулаг: Хатуу байдлын зэрэгтэй40 ГПа
● -Газар гөлгөр өнгөлгөө: Толин тусгал мэт өнгөлгөө өгч, тоосонцор үүсэхийг багасгаж, үйл ажиллагааны үр ашгийг дээшлүүлнэ.
Хэрэглээ
Хагас SiC бүрээсХагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн янз бүрийн үе шатанд ашиглагддаг, үүнд:
● -LED чип үйлдвэрлэх
● -Полисиликон үйлдвэрлэл
● -Хагас дамжуулагч болор өсөлт
● -Цахиур ба SiC эпитакси
● -Дулааны исэлдэлт ба тархалт (TO&D)
Бид өндөр бат бэх изостатик бал чулуу, нүүрстөрөгчийн эслэгээр бэхжүүлсэн нүүрстөрөгч, 4Н дахин талстжуулсан цахиурын карбидаар хийгдсэн, шингэрүүлсэн давхаргатай реакторуудад тохирсон SiC бүрсэн эд ангиудыг нийлүүлдэг.STC-TC-ийн хөрвүүлэгч, CZ нэгжийн тусгал, sic waffoad, Sicwafe Swiders, SICVAFE, SICADE CARDOR, SICAFE PAIND, SICAFE PANDOR, SICAFADE, SICAFE PANDOR, SICAFADER, SICAFOWED, SICICON EBERDES, SICICOUE, SICAFE CARDERS, SICICOUE, SICAFOOD, SICAFOOD, SICIECE CARDERS, SICICOUE, SICIETER CARDER, SICICOUE, MOCACE PANCERS, MOCICAFY, MOCVAXY, MOCVAXY PANCESSED.
Ашиг тус
● Насан туршдаа
● чанартай чанар: Хагас дамжуулагчийг боловсруулахад шаардлагатай өндөр цэвэршилттэй гадаргууд хүрч, улмаар бүтээгдэхүүний чанарыг сайжруулна.
●--Шалгаж байсан үр ашгийг: Дулааны болон ЗСӨ-ийн процессыг оновчтой болгож, мөчлөгийн хугацааг богиносгож, өндөр ургац өгдөг.
Техникийн үзүүлэлтүүд
● -Бүтэц: FCC β фазын поликристал, голчлон (111) чиглэсэн
● -Нягт: 3.21 г / см³
● -Хатуулаг: 2500 Vickes хатуулаг (500гр ачаалал)
● -Хагарлын бат бөх чанар: 3.0 МПа·м1/2
● -Дулааны тэлэлтийн коэффициент (100–600 °C): 4.3 x 10-6k-1
● -Уян хатан модуль(1300℃):435 GPA
● -Ердийн хальсны зузаан:100 микрон
● -Гадаргуугийн тэгш бус байдал:2-10 мкм
Цэвэр байдлын өгөгдөл (Гялалзалтын массын спектроскопоор хэмжсэн)
| Элемент | ppm | Элемент | ppm |
| Li | < 0.001 | Cu | < 0.01 |
| Be | < 0.001 | Zn | < 0.05 |
| Ал | < 0.04 | Ga | < 0.01 |
| P | < 0.01 | Ge | < 0.05 |
| S | < 0.04 | As | < 0.005 |
| K | < 0.05 | In | < 0.01 |
| Ca | < 0.05 | Sn | < 0.01 |
| Ti | < 0.005 | Sb | < 0.01 |
| V | < 0.001 | W | < 0.05 |
| Cr | < 0.05 | Te | < 0.01 |
| Mn | < 0.005 | Pb | < 0.01 |
| Fe | < 0.05 | Bi | < 0.05 |
| Ni | < 0.01 |
|
