Цахиурын карбидын бүрээсийн танилцуулга
Манай Химийн уурын хуримтлал (CVD) цахиурын карбидын (SiC) бүрхүүл нь өндөр бат бөх, элэгдэлд тэсвэртэй давхарга бөгөөд зэврэлт, дулааны эсэргүүцэл их шаарддаг орчинд тохиромжтой.Цахиурын карбидын бүрээсCVD процессоор янз бүрийн субстрат дээр нимгэн давхаргад түрхэж, дээд зэргийн гүйцэтгэлийн шинж чанарыг санал болгодог.
Гол онцлогууд
● -Онцгой цэвэр байдал: Хэт цэвэр найрлагатай99.99995%, манайSiC бүрэхмэдрэмтгий хагас дамжуулагчийн үйл ажиллагааны бохирдлын эрсдлийг бууруулдаг.
● -Дээд зэргийн эсэргүүцэл: Элэгдэл, зэврэлтэнд маш сайн тэсвэртэй тул химийн болон плазмын тохируулга хийхэд төгс төгөлдөр болгодог.
● -Дулаан дамжуулалт өндөр: Гайхамшигтай дулааны шинж чанараараа хэт өндөр температурт найдвартай ажиллагааг хангана.
● -Хэмжээний тогтвортой байдал: Дулааны тэлэлтийн бага коэффициентийн ачаар янз бүрийн температурт бүтцийн бүрэн бүтэн байдлыг хадгална.
● -Сайжруулсан хатуулаг: Хатуу байдлын зэрэгтэй40 ГПа, манай SiC бүрэх нь мэдэгдэхүйц нөлөөлөл болон элэгдэлд тэсвэртэй.
● -Газар гөлгөр өнгөлгөө: Толин тусгал мэт өнгөлгөө өгч, тоосонцор үүсэхийг багасгаж, үйл ажиллагааны үр ашгийг дээшлүүлнэ.
Хэрэглээ
Хагас SiC бүрээсХагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн янз бүрийн үе шатанд ашиглагддаг, үүнд:
● -LED чип үйлдвэрлэх
● -Полисиликон үйлдвэрлэл
● -Хагас дамжуулагч болор өсөлт
● -Цахиур ба SiC эпитакси
● -Дулааны исэлдэлт ба тархалт (TO&D)
Бид өндөр бат бэх изостатик бал чулуу, нүүрстөрөгчийн эслэгээр бэхжүүлсэн нүүрстөрөгч, 4Н дахин талстжуулсан цахиурын карбидаар хийгдсэн, шингэрүүлсэн давхаргатай реакторуудад тохирсон SiC бүрсэн эд ангиудыг нийлүүлдэг.PECVD, цахиурын эпитакси, MOCVD процессуудад ашигладаг STC-TCS хувиргагч, CZ нэгжийн тусгал, SiC ваффер завь, SiCwafer сэлүүр, SiC өрөмсөг хоолой, хавтан зөөгч.
Ашиг тус
● -Өргөтгөсөн ашиглалтын хугацаа: Тоног төхөөрөмжийн сул зогсолт, засвар үйлчилгээний зардлыг эрс багасгаж, үйлдвэрлэлийн нийт үр ашгийг дээшлүүлнэ.
● -Чанарыг сайжруулсан: Хагас дамжуулагчийг боловсруулахад шаардлагатай өндөр цэвэршилттэй гадаргууд хүрч, улмаар бүтээгдэхүүний чанарыг сайжруулна.
● -Үр ашгийг нэмэгдүүлсэн: Дулааны болон ЗСӨ-ийн процессыг оновчтой болгож, мөчлөгийн хугацааг богиносгож, өндөр ургац өгдөг.
Техникийн үзүүлэлтүүд
● -Бүтэц: FCC β фазын поликристал, голчлон (111) чиглэсэн
● -Нягт: 3.21 г/см³
● -Хатуулаг: 2500 Vickes хатуулаг (500гр ачаалал)
● -Хагарлын бат бөх чанар: 3.0 МПа·м1/2
● -Дулааны тэлэлтийн коэффициент (100–600 °C): 4.3 x 10-6k-1
● -Уян хатан модуль(1300℃):435 GPA
● -Ердийн хальсны зузаан:100 микрон
● -Гадаргуугийн барзгар байдал:2-10 мкм
Цэвэр байдлын өгөгдөл (Гялалзалтын массын спектроскопоор хэмжсэн)
| Элемент | ppm | Элемент | ppm |
| Li | < 0.001 | Cu | < 0.01 |
| Be | < 0.001 | Zn | < 0.05 |
| Ал | < 0.04 | Ga | < 0.01 |
| P | < 0.01 | Ge | < 0.05 |
| S | < 0.04 | As | < 0.005 |
| K | < 0.05 | In | < 0.01 |
| Ca | < 0.05 | Sn | < 0.01 |
| Ti | < 0.005 | Sb | < 0.01 |
| V | < 0.001 | W | < 0.05 |
| Cr | < 0.05 | Te | < 0.01 |
| Mn | < 0.005 | Pb | < 0.01 |
| Fe | < 0.05 | Bi | < 0.05 |
| Ni | < 0.01 |
|
