Сийлбэр хийх процессын хэсгүүд

Цахиурын карбидын керамик бүрээс
Хагас дамжуулагч сийлбэр хийх SiC бүрэх зөөгч
RTP/RTA хурдан халаалтын дулааны боловсруулалтанд зориулсан SiC зөөгч
Хагас дамжуулагч хавтангаар дамжуулахад зориулсан PSS боловсруулах тээвэрлэгч
Захиалгат хагас дамжуулагч ICP тавиур (сийлбэр)
LED сийлбэр Цахиур карбид агуулсан тавиур, ICP тавиур (Etch)
Өндөр температур, зэврэлтэнд тэсвэртэй LED цахиурын карбидын сийлбэрийн тавиур (ICP сийлбэр тавиур)
Хагас дамжуулагчийн цахиурын карбидын RTA зөөгч хавтан
LED үйлдвэрлэлийн ICP сийлбэр процесст зориулсан SiC зүү тавиурууд