Хагасдэвшилтэт дэвшлийг бахархалтайгаар танилцуулж байнаGaN эпитаксихагас дамжуулагчийн салбарын байнга хөгжиж буй хэрэгцээг хангахад зориулагдсан үйлчилгээ. Галийн нитрид (GaN) нь онцгой шинж чанараараа алдартай материал бөгөөд бидний эпитаксиаль өсөлтийн процесс нь эдгээр ашиг тусыг таны төхөөрөмжид бүрэн хэрэгжүүлэх боломжийг олгодог.
Өндөр гүйцэтгэлтэй GaN давхаргууд Хагасчанартай бүтээгдэхүүн үйлдвэрлэх чиглэлээр мэргэшсэнGaN эпитаксидавхаргууд нь материалын хосгүй цэвэр байдал, бүтцийн бүрэн бүтэн байдлыг санал болгодог. Эдгээр давхаргууд нь эрчим хүчний электроникоос эхлээд оптоэлектроник хүртэлх төрөл бүрийн хэрэглээнд маш чухал бөгөөд өндөр гүйцэтгэл, найдвартай байдал чухал байдаг. Манай өсөлтийн нарийн технологи нь GaN давхарга бүр нь хамгийн сүүлийн үеийн төхөөрөмжүүдэд шаардагдах нарийн стандартыг хангадаг.
Үр ашгийн хувьд оновчтой болгосонTheGaN эпитаксиSemicera-аас гаргаж өгсөн нь таны электрон эд ангиудын үр ашгийг дээшлүүлэх зорилгоор тусгайлан бүтээгдсэн. Согог багатай, өндөр цэвэршилттэй GaN давхаргыг нийлүүлснээр бид төхөөрөмжүүдийг илүү өндөр давтамж, хүчдэлд ажиллах боломжийг олгож, цахилгаан алдагдлыг бууруулдаг. Энэхүү оновчлол нь өндөр электрон-хөдөлгөөнт транзистор (HEMTs) болон гэрэл ялгаруулах диод (LED) зэрэг хэрэглээний хувьд чухал ач холбогдолтой бөгөөд үр ашиг нь хамгийн чухал юм.
Олон талт хэрэглээний боломж Хагас-ийнGaN эпитаксиЭнэ нь олон төрлийн үйлдвэрлэл, хэрэглээнд нийцсэн олон талт юм. Та цахилгаан өсгөгч, RF-ийн бүрэлдэхүүн хэсэг эсвэл лазер диод бүтээж байгаа эсэхээс үл хамааран манай GaN эпитаксиаль давхаргууд нь өндөр хүчин чадалтай, найдвартай төхөөрөмжүүдэд шаардлагатай суурийг бүрдүүлдэг. Бидний үйл явц нь тодорхой шаардлагад нийцүүлэн тохируулж, таны бүтээгдэхүүн оновчтой үр дүнд хүрэх болно.
Чанарын төлөөх амлалтЧанар бол тулгын чулуу юмХагасхандах хандлагаGaN эпитакси. Бид эпитаксиаль өсөлтийн дэвшилтэт технологи, чанарын хяналтын нарийн арга хэмжээг ашигладаг бөгөөд энэ нь маш сайн жигд байдал, гажиг бага нягтрал, материалын дээд зэргийн шинж чанарыг харуулдаг GaN давхаргыг үйлдвэрлэдэг. Чанарыг эрхэмлэх энэхүү амлалт нь таны төхөөрөмжүүд нь салбарын стандартыг хангаад зогсохгүй давах баталгаа болдог.
Өсөлтийн шинэлэг аргууд Хагасчиглэлээр инновацийн тэргүүн эгнээнд явж байнаGaN эпитакси. Манай баг өсөлтийн процессыг сайжруулах шинэ арга, технологийг тасралтгүй судалж, сайжруулсан цахилгаан болон дулааны шинж чанар бүхий GaN давхаргыг нийлүүлдэг. Эдгээр инноваци нь дараагийн үеийн хэрэглээний эрэлт хэрэгцээг хангах чадвартай, илүү сайн гүйцэтгэлтэй төхөөрөмжүүд болж хувирдаг.
Таны төслүүдэд тохирсон шийдлүүдТөсөл бүр өөрийн гэсэн өвөрмөц шаардлага тавьдаг гэдгийг хүлээн зөвшөөрч,Хагастохируулсан санал болгож байнаGaN эпитаксишийдлүүд. Танд тодорхой допингийн профайл, давхаргын зузаан эсвэл гадаргуугийн өнгөлгөө шаардлагатай эсэхээс үл хамааран бид тантай нягт хамтран ажиллаж, таны хэрэгцээнд нийцэх процессыг боловсруулдаг. Бидний зорилго бол таны төхөөрөмжийн гүйцэтгэл, найдвартай байдлыг хангахын тулд нарийн боловсруулсан GaN давхаргуудаар хангах явдал юм.
Эд зүйлс | Үйлдвэрлэл | Судалгаа | Дамми |
Кристал параметрүүд | |||
Политип | 4H | ||
Гадаргуугийн чиглэлийн алдаа | <11-20 >4±0.15° | ||
Цахилгааны параметрүүд | |||
Допант | n төрлийн азот | ||
Эсэргүүцэл | 0.015-0.025 ом·см | ||
Механик параметрүүд | |||
Диаметр | 150.0±0.2мм | ||
Зузаан | 350±25 мкм | ||
Үндсэн хавтгай чиг баримжаа | [1-100]±5° | ||
Үндсэн хавтгай урт | 47.5±1.5мм | ||
Хоёрдогч байр | Байхгүй | ||
TTV | ≤5 мкм | ≤10 мкм | ≤15 мкм |
LTV | ≤3 мкм(5мм*5мм) | ≤5 мкм(5мм*5мм) | ≤10 мкм(5мм*5мм) |
Нум | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
Муухай | ≤35 мкм | ≤45 мкм | ≤55 мкм |
Урд талын барзгар байдал (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
Бүтэц | |||
Микро хоолойн нягтрал | <1 э/см2 | <10 эа/см2 | <15 эа/см2 |
Металлын хольц | ≤5E10атом/см2 | NA | |
BPD | ≤1500 ea/см2 | ≤3000 ea/см2 | NA |
TSD | ≤500 ea/см2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
Урд чанар | |||
Урд | Si | ||
Гадаргуугийн өнгөлгөө | Si-face CMP | ||
Бөөмүүд | ≤60ea/waf (хэмжээ≥0.3μm) | NA | |
Зураас | ≤5ea/мм. Хуримтлагдсан урт ≤Диаметр | Хуримтлагдсан урт≤2*Диаметр | NA |
Жүржийн хальс/цоорхой/толбо/суралт/ хагарал/бохирдол | Байхгүй | NA | |
Ирмэгийн чипс / догол / хугарал / зургаан өнцөгт хавтан | Байхгүй | ||
Политип талбайнууд | Байхгүй | Хуримтлагдсан талбай≤20% | Хуримтлагдсан талбай≤30% |
Урд талын лазер тэмдэглэгээ | Байхгүй | ||
Буцах чанар | |||
Арын төгсгөл | C-нүүртэй CMP | ||
Зураас | ≤5ea/мм,Хуримт урт≤2*Диаметр | NA | |
Арын гажиг (захын чипс/догол) | Байхгүй | ||
Нурууны барзгар байдал | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
Буцах лазер тэмдэглэгээ | 1 мм (дээд ирмэгээс) | ||
Ирмэг | |||
Ирмэг | Хагархай | ||
Сав баглаа боодол | |||
Сав баглаа боодол | Вакуум савлагаатай эпи-бэлэн Олон талт цаасны сав баглаа боодол | ||
*Тэмдэглэл: "NA" гэдэг нь хүсэлт байхгүй гэсэн үг Дудаагүй зүйл нь ХАГАС БЗДХ-тай холбоотой байж болно. |