Тантал карбид бүрсэн графит бүрээс

Богино тайлбар:

Тантал карбидын бүрэх нь тантал карбидын материалыг ашиглан субстратын гадаргуу дээр хатуу, элэгдэлд тэсвэртэй, зэврэлтээс хамгаалах хамгаалалтын давхарга үүсгэдэг дэвшилтэт гадаргууг бүрэх технологи юм. Энэхүү бүрхүүл нь материалын хатуулаг, өндөр температурт тэсвэртэй, химийн эсэргүүцлийг мэдэгдэхүйц нэмэгдүүлж, үрэлт, элэгдлийг бууруулдаг маш сайн шинж чанартай байдаг. Тантал карбидын бүрээсийг материалын ашиглалтын хугацааг уртасгах, үйлдвэрлэлийн үр ашгийг дээшлүүлэх, засвар үйлчилгээний зардлыг бууруулах зорилгоор үйлдвэрлэлийн үйлдвэрлэл, сансар судлал, автомашины инженерчлэл, эмнэлгийн тоног төхөөрөмж зэрэг янз бүрийн салбарт өргөн хэрэглэгддэг. Металл гадаргууг зэврэлтээс хамгаалах эсвэл механик эд ангиудын элэгдэл, исэлдэлтийн эсэргүүцлийг нэмэгдүүлэх эсэхээс үл хамааран тантал карбидын бүрээс нь төрөл бүрийн хэрэглээнд найдвартай шийдлийг өгдөг.

 


Бүтээгдэхүүний дэлгэрэнгүй

Бүтээгдэхүүний шошго

Semicera нь төрөл бүрийн эд анги, тээвэрлэгчдэд зориулсан тусгай тантал карбидын (TaC) бүрээсээр хангадаг.Semicera тэргүүлэгч бүрэх процесс нь тантал карбидын (TaC) бүрээсийг өндөр цэвэршилт, өндөр температурт тогтвортой байдал, химийн өндөр тэсвэрлэх чадварыг бий болгож, SIC/GAN талстууд болон EPI давхаргын бүтээгдэхүүний чанарыг сайжруулдаг.Графитаар бүрсэн TaC мэдрэгч), реакторын гол бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн ашиглалтын хугацааг уртасгах. Тантал карбидын TaC бүрээсийг ашиглах нь ирмэгийн асуудлыг шийдэж, болор ургалтын чанарыг сайжруулахад чиглэгддэг бөгөөд Semicera Semicera нь тантал карбидын бүрэх технологийг (CVD) ололт амжилтаар шийдэж, олон улсын дэвшилтэт түвшинд хүрсэн.

 

Олон жилийн хөгжлийн дараа Semicera технологийг байлдан дагуулавCVD TaCR&D хэлтсийн хамтарсан хүчин чармайлтаар. SiC өрмөнцөрийн өсөлтийн явцад гэмтэл гарахад хялбар байдаг боловч хэрэглэсний дарааTaC, ялгаа нь мэдэгдэхүйц юм. Доорх нь нэг талст өсөлтийн хувьд TaC-тай болон огтлолтгүй вафель, мөн Simicera-ийн хэсгүүдийн харьцуулалтыг үзүүлэв.

微信图片_20240227150045

TaC-тай ба үгүй

微信图片_20240227150053

TaC хэрэглэсний дараа (баруун)

Түүнчлэн Semicera-ийн TaC бүрэх бүтээгдэхүүний ашиглалтын хугацаа нь SiC бүрээстэй харьцуулахад илүү урт бөгөөд өндөр температурт тэсвэртэй байдаг. Лабораторийн хэмжилтийн өгөгдлүүдийн урт хугацааны дараа манай TaC нь хамгийн ихдээ 2300 градусын температурт удаан хугацаанд ажиллах боломжтой. Дараах нь бидний зарим жишээ юм:

微信截图_20240227145010

(a) PVT аргаар SiC нэг талст ембүү ургуулах төхөөрөмжийн бүдүүвч диаграм (б) Дээд TaC бүрсэн үрийн хаалт (SiC үрийг оруулаад) (в) TAC бүрсэн бал чулуу чиглүүлэгч цагираг

ZDFVzCFV
Гол онцлог
Semicera Ажлын байр
Хагас ажлын байр 2
Тоног төхөөрөмжийн машин
CNN боловсруулах, химийн цэвэрлэгээ, CVD бүрэх
Манай үйлчилгээ

  • Өмнөх:
  • Дараа нь: