SiC Wafer завь
Цахиурын карбид хавтанцар завьнь нарны болон хагас дамжуулагчийн диффузийн процесст голчлон ашиглагддаг өргүүрт зориулсан даацын төхөөрөмж юм. Энэ нь элэгдэлд тэсвэртэй, зэврэлтэнд тэсвэртэй, өндөр температурт цохилтод тэсвэртэй, плазмын бөмбөгдөлтөд тэсвэртэй, өндөр температурт даацтай, өндөр дулаан дамжуулалттай, өндөр дулаан ялгаруулдаг, удаан хугацаагаар ашиглах чадвартай, гулзайлгах, хэв гажилтанд амархан ордоггүй. Манай компани ашиглалтын хугацааг баталгаажуулахын тулд өндөр цэвэршилттэй цахиурын карбидын материалыг ашигладаг бөгөөд захиалгат загвар, түүний дотор. янз бүрийн босоо болон хэвтээвафель завь.
SiC сэлүүрт
Theцахиурын карбид консол сэлүүрнь голчлон цахиур хавтанцарыг (диффузия) бүрэх ажилд ашигладаг бөгөөд энэ нь өндөр температурт цахиур хавтанг ачих, тээвэрлэхэд чухал үүрэг гүйцэтгэдэг. Энэ нь гол бүрэлдэхүүн хэсэг юмхагас дамжуулагч хавтаначаалах системүүд бөгөөд дараах үндсэн шинж чанаруудтай.
1. Өндөр температуртай орчинд хэв гажилтгүй, вафельд ачаалал ихтэй;
2. Хэт хүйтэн, хурдан халуунд тэсвэртэй, удаан эдэлгээтэй;
3. Дулааны тэлэлтийн коэффициент нь бага, засвар үйлчилгээ, цэвэрлэгээний мөчлөгийг ихээхэн уртасгаж, бохирдуулагчийг эрс багасгадаг.
SiC зуухны хоолой
Цахиурын карбидын процессын хоолой, Металл хольцгүй, өндөр цэвэршилттэй SiC-ээр хийгдсэн, өргүүрийг бохирдуулдаггүй, хагас дамжуулагч болон фотоволтайк диффуз, анивалт, исэлдэлтийн процесс зэрэгт тохиромжтой.
SiC робот гар
SiC робот гарӨргөст ялтсын дамжуулагч төгсгөлийн эффектор гэж нэрлэдэг бөгөөд хагас дамжуулагч хавтан зөөвөрлөхөд ашигладаг робот гар бөгөөд хагас дамжуулагч, оптоэлектроник, нарны эрчим хүчний салбарт өргөн хэрэглэгддэг. Өндөр хатуулагтай, элэгдэлд тэсвэртэй, газар хөдлөлтийн эсэргүүцэлтэй, хэв гажилтгүй, урт хугацааны ашиглалтын хугацаа гэх мэт өндөр цэвэршилттэй цахиурын карбидыг ашиглан захиалгат үйлчилгээ үзүүлэх боломжтой.
Кристал өсөлтөд зориулсан графит
Графит дулааны хамгаалалт
Графит электродын хоолой
Графит дефлектор
Графит чак
Хагас дамжуулагчийг ургуулах бүх процессууд нь өндөр температур, идэмхий орчинд ажилладаг. Кристал өсөлтийн зуухны халуун бүс нь ихэвчлэн халуунд тэсвэртэй, зэврэлтэнд тэсвэртэй өндөр цэвэршилттэй байдаг. бал чулуу халаагч, тигель, цилиндр, дефлектор, патрон, хоолой, цагираг, эзэмшигч, самар гэх мэт бал чулуун эд ангиуд Манай эцсийн бүтээгдэхүүн 5ppm-ээс бага үнсний агууламжийг олж авах боломжтой.
Хагас дамжуулагч эпитаксид зориулсан графит
Графит суурь
Графит эпитаксиал торх
Monocry Stalin Silicon Epitaxial суурь
MOCVD графит эд анги
Хагас дамжуулагч графит бэхэлгээ
Эпитаксиаль процесс нь субстраттай ижил торны зохион байгуулалттай нэг талст субстрат дээр нэг талст материалын өсөлтийг хэлнэ. Энэ нь маш өндөр цэвэршилттэй графит эд анги, SIC бүрээстэй бал чулуун суурь шаарддаг. Хагас дамжуулагч эпитакс хийхэд ашигладаг өндөр цэвэршилттэй бал чулуу нь өргөн хүрээний хэрэглээтэй бөгөөд энэ нь салбарт хамгийн түгээмэл хэрэглэгддэг тоног төхөөрөмжтэй таарч чаддаг бөгөөд үүний зэрэгцээ маш өндөр байдаг. цэвэршилт, жигд бүрхүүл, маш сайн ашиглалтын хугацаа, маш өндөр химийн эсэргүүцэл, дулааны тогтвортой байдал.
Тусгаарлагч материал болон бусад
Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлд дулаан тусгаарлах материалд графит хатуу эсгий, зөөлөн эсгий, бал чулуун тугалган цаас, нүүрстөрөгчийн нийлмэл материал гэх мэт материалууд ордог.Манай түүхий эд нь импортын графит материал бөгөөд хэрэглэгчийн шаардлагад нийцүүлэн зүсэх боломжтой ба бүхэлд нь. Нүүрстөрөгчийн нийлмэл материалыг ихэвчлэн нарны монокристал болон полисиликон эсийн үйлдвэрлэлийн процесст тээвэрлэгч болгон ашигладаг.