Semicera нь төрөл бүрийн эд анги, тээвэрлэгчдэд зориулсан тусгай тантал карбидын (TaC) бүрээсээр хангадаг.Semicera тэргүүлэгч бүрэх процесс нь тантал карбидын (TaC) бүрээсийг өндөр цэвэршилт, өндөр температурт тогтвортой байдал, химийн өндөр тэсвэрлэх чадварыг бий болгож, SIC/GAN талстууд болон EPI давхаргын бүтээгдэхүүний чанарыг сайжруулдаг.Графитаар бүрсэн TaC мэдрэгч), реакторын гол бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн ашиглалтын хугацааг уртасгах. Тантал карбидын TaC бүрээсийг ашиглах нь ирмэгийн асуудлыг шийдэж, болор өсөлтийн чанарыг сайжруулахад чиглэгддэг бөгөөд Semicera нь тантал карбидын бүрэх технологийг (CVD) шийдэж, олон улсын дэвшилтэт түвшинд хүрсэн.
Өндөр цэвэршүүлсэн тантал нүүрстөрөгчөөр бүрсэн цагиргууд нь сансар огторгуй, хими, хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэл болон бусад салбарт тусгай төхөөрөмж, системд өргөн хэрэглэгддэг. Эдгээрийг ихэвчлэн өндөр температур, идэмхий орчинд битүүмжлэх, дамжуулахад ашигладаг бөгөөд найдвартай ажиллагаа, урт наслалт, тоног төхөөрөмжийн тогтвортой ажиллагаа, бүтээгдэхүүний чанарыг баталгаажуулдаг.
Өндөр цэвэршүүлсэн тантал нүүрстөрөгчөөр бүрсэн цагирагуудын шинж чанарууд нь дараах байдалтай байна.
1. Өндөр температурын тогтвортой байдал: Өндөр цэвэршүүлсэн тантал нүүрстөрөгчөөр бүрсэн цагиргууд нь өндөр температурын орчинд бүтцийн тогтвортой байдлыг хадгалж чаддаг бөгөөд өндөр температурт тэсвэртэй байдаг тул өндөр температурын нөхцлийг тэсвэрлэх шаардлагатай програмуудад тохиромжтой.
2. Зэврэлтэнд тэсвэртэй: Тантал материал нь өөрөө зэврэлтэнд сайн тэсвэртэй бөгөөд гадаргуу дээр үүссэн тантал карбидын бүрээс нь зэврэлтэнд тэсвэртэй байдлыг улам сайжруулж, янз бүрийн химийн бодис, уусгагч бодисын элэгдэлд тэсвэртэй байдаг.
3. Элэгдлийн эсэргүүцэл: Тантал карбидын бүрээс нь өндөр хатуулаг, элэгдэлд тэсвэртэй, үрэлт, элэгдлийн орчинд сайн гүйцэтгэлийг хадгалж, үйлчилгээний хугацааг уртасгаж чаддаг.
4. Маш сайн лацдан холболтын гүйцэтгэл: Өндөр цэвэршүүлсэн тантал нүүрстөрөгчөөр бүрсэн цагиргууд нь битүүмжлэх чадвар сайтай, хий, шингэн алдагдахаас үр дүнтэй сэргийлж чаддаг, битүүмжлэх өндөр шаардлага бүхий хэрэглээний хувилбаруудад тохиромжтой.
TaC-тай ба үгүй
TaC хэрэглэсний дараа (баруун)
Үүнээс гадна, Semicera-ийнTaC бүрсэн бүтээгдэхүүн-тай харьцуулахад илүү урт ашиглалтын хугацаа, өндөр температурт тэсвэртэй байдлыг харуулдагSiC бүрээс.Лабораторийн хэмжилтээр манайTaC бүрээсЦельсийн 2300 хэм хүртэлх температурт удаан хугацаанд тогтвортой ажиллах боломжтой. Манай дээжийн зарим жишээг доор харуулав.
