Изостатик PECVD графит завь

изостатик PECVD графит завины онцлох зураг

Богино тайлбар:

Изостатик PECVD бал чулуун завь нь хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн янз бүрийн холбоосууд, тухайлбал полисилик хальс, исэлдлийн хальс, нитридийн хальс хуримтлуулах гэх мэт өргөн хэрэглэгддэг. Түүний маш сайн гүйцэтгэл нь PECVD процесст хамгийн тохиромжтой хавтан зөөгч болгодог.

Бидэн рүү имэйл илгээнэ үү

Бүтээгдэхүүний дэлгэрэнгүй

Бүтээгдэхүүний шошго

SEMICERA изостатик PECVD бал чулуун завь нь PECVD (плазмын сайжруулсан химийн уурын хуримтлал) процесст өрмөнцийг дэмжих зориулалттай өндөр цэвэршилттэй, өндөр нягтралтай бал чулуун бүтээгдэхүүн юм. SEMICERA нь графит завь нь өндөр температурт тэсвэртэй, зэврэлтэнд тэсвэртэй, хэмжээсийн тогтвортой байдал, дулаан дамжуулалт сайтай байхын тулд дэвшилтэт изостатик даралтын технологийг ашигладаг бөгөөд энэ нь хагас дамжуулагч үйлдвэрлэх процесст зайлшгүй шаардлагатай материал юм.

SEMICERA изостатик PECVD бал чулуун завь нь дараах давуу талуудтай.

▪ Өндөр цэвэршилттэй: Бал чулуун материал нь өндөр цэвэршилттэй, бага хэмжээний хольцтой, өрөвсний гадаргууг бохирдуулахгүй.

▪ Өндөр нягтрал: Өндөр нягтралтай, өндөр механик бат бөх, өндөр температур, өндөр вакуум орчныг тэсвэрлэх чадвартай.

▪ Хэмжээний тогтвортой байдал: Температурын өндөр температурт жижиг хэмжээст өөрчлөлт хийх нь процессын тогтвортой байдлыг хангах.

▪ Маш сайн дулаан дамжуулалт: Өргөст хэмх хэт халалтаас урьдчилан сэргийлэхийн тулд дулааныг үр дүнтэй дамжуулна.

▪ Хүчтэй зэврэлтэнд тэсвэртэй: Төрөл бүрийн идэмхий хий болон плазмын элэгдэлд тэсвэртэй.

Гүйцэтгэлийн параметр	хагас керамик	SGL R6510	Гүйцэтгэлийн параметр
Бөөн нягтрал (г/см3)	1.91	1.83	1.85
Гулзайлтын хүч (МПа)	63	60	49
Шахалтын бат бэх (МПа)	135	130	103
Эргийн хатуулаг (HS)	70	64	60
Дулааны тэлэлтийн коэффициент（10-6/K）	85	105	130
Дулааны тэлэлтийн коэффициент（10-6/K）	5.85	4.2	5.0
Эсэргүүцэл (μΩm)	11-13	13	10

Манайхыг сонгосны давуу тал:
▪ Материалын сонголт: Бүтээгдэхүүний чанарыг баталгаажуулахын тулд өндөр цэвэршилттэй бал чулуу материалыг ашигладаг.
▪ Боловсруулалтын технологи: Бүтээгдэхүүний нягтрал, жигд байдлыг хангахын тулд изостатик шахалтыг ашигладаг.
▪ Хэмжээний тохируулга: Төрөл бүрийн хэмжээ, хэлбэрийн графит завь нь хэрэглэгчийн хэрэгцээнд нийцүүлэн өөрчилж болно.
▪ Гадаргуугийн боловсруулалт: Цахиурын карбид, борын нитрид гэх мэт янз бүрийн процессын шаардлагыг хангахын тулд гадаргууг боловсруулах янз бүрийн аргуудыг хангадаг.