LiNbO3 Холболтын хавтан

Богино тайлбар:

Литийн ниобат болор нь маш сайн цахилгаан оптик, акусто-оптик, пьезоэлектрик, шугаман бус шинж чанартай байдаг. Литийн ниобат болор нь шугаман бус оптик шинж чанар сайтай, шугаман бус оптикийн коэффициент бүхий чухал олон үйлдэлт талст юм; энэ нь бас чухал бус үе шатыг тохируулах боломжтой. Цахилгаан оптик болорын хувьд энэ нь чухал оптик долгион хөтлүүрийн материал болгон ашиглагдаж ирсэн; пьезоэлектрик болор болохын хувьд дунд болон нам давтамжийн SAW шүүлтүүр, өндөр хүчин чадалтай өндөр температурт тэсвэртэй хэт авианы хувиргагч гэх мэтийг үйлдвэрлэхэд ашиглаж болно. Мөн доплогдсон литийн ниобат материалыг өргөн ашигладаг.

Бидэн рүү имэйл илгээнэ үү

Бүтээгдэхүүний дэлгэрэнгүй

Бүтээгдэхүүний шошго

Semicera-ийн LiNbO3 Bonding Wafer нь дэвшилтэт хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн өндөр шаардлагыг хангахад зориулагдсан. Элэгдэлд тэсвэртэй, өндөр дулааны тогтвортой байдал, гайхалтай цэвэршилт зэрэг онцгой шинж чанаруудаараа энэхүү вафель нь нарийвчлал, удаан хугацааны гүйцэтгэл шаарддаг програмуудад ашиглахад тохиромжтой.

Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлд LiNbO3 холболтын хавтангуудыг оптоэлектроник төхөөрөмж, мэдрэгч, дэвшилтэт IC-ийн нимгэн давхаргыг холбоход ихэвчлэн ашигладаг. Тэдгээр нь маш сайн диэлектрик шинж чанар, хатуу ширүүн үйл ажиллагааны нөхцлийг тэсвэрлэх чадвартай тул фотоник болон MEMS (микро-электромеханик систем) -д онцгой үнэлэгддэг. Semicera-ийн LiNbO3 Bonding Wafer нь хагас дамжуулагч төхөөрөмжүүдийн ерөнхий гүйцэтгэл, найдвартай байдлыг сайжруулж, нарийн давхаргын холболтыг дэмжих зорилгоор бүтээгдсэн.

LiNbO3-ийн дулааны болон цахилгааны шинж чанарууд
Хайлах цэг	1250 ℃
Кюри температур	1140 ℃
Дулаан дамжилтын илтгэлцүүр	38 Вт/м/К @ 25 ℃
Дулааны тэлэлтийн коэффициент (@ 25 ° C)	//a，2.0×10^-6/К //c，2.2×10^-6/К
Эсэргүүцэл	2×10^-6Ω·см @ 200 ℃
Диэлектрик тогтмол	εS11/ε0=43，εT11/ε0=78 εS33/ε0=28，εT33/ε0= 2
Пьезоэлектрик тогтмол	D₂₂=2.04×10^-11C/N D₃₃=19.22×10^-11C/N
Цахилгаан оптик коэффициент	γТ₃₃=32 цаг/V， γS₃₃=31 цаг/V， γТ₃₁=22 цаг/V， γS₃₁=8.6 цаг/V， γТ₂₂=6.8 цаг/V， γS₂₂=3.4 цаг/V，
Хагас долгионы хүчдэл, DC Цахилгаан орон // z, гэрэл ⊥ Z; Цахилгаан орон // x эсвэл y, гэрэл ⊥ z	3.03 кВ 4.02 кВ

Дээд зэргийн чанартай материал ашиглан урласан LiNbO3 наалдамхай хавтан нь эрс тэс нөхцөлд ч тогтвортой найдвартай байдлыг хангадаг. Түүний өндөр дулааны тогтвортой байдал нь хагас дамжуулагч эпитаксийн процесст байдаг зэрэг өндөр температуртай орчинд ашиглахад тохиромжтой. Нэмж дурдахад, ваферийн өндөр цэвэршилт нь хамгийн бага бохирдлыг баталгаажуулдаг бөгөөд энэ нь чухал хагас дамжуулагч хэрэглээнд найдвартай сонголт болгодог.

Semicera-д бид салбартаа тэргүүлэгч шийдлүүдийг санал болгохыг эрмэлздэг. Манай LiNbO3 наалттай вафер нь өндөр цэвэршилт, элэгдэлд тэсвэртэй, дулааны тогтвортой байдал шаарддаг хэрэглээнд хосгүй бат бөх чанар, өндөр гүйцэтгэлтэй чадварыг өгдөг. Дэвшилтэт хагас дамжуулагч үйлдвэрлэх эсвэл бусад тусгай технологид зориулагдсан эсэхээс үл хамааран энэхүү вафель нь хамгийн сүүлийн үеийн төхөөрөмж үйлдвэрлэхэд чухал бүрэлдэхүүн хэсэг болдог.