Тодорхойлолт
Хагас дамжуулагчийн дэвшилтэт хэрэглээнд зориулж эпитаксиаль өсөлтийн процессыг оновчтой болгоход зориулагдсан тэргүүлэгч шийдэл болох semicera-ийн эпитаксийн өсөлтөд зориулсан MOCVD Susceptor. Semicera-ийн MOCVD Susceptor нь температур болон материалын хуримтлалыг нарийн хянах боломжийг олгодог бөгөөд энэ нь өндөр чанарын Si Epitaxy болон SiC Epitaxy-д хүрэх хамгийн тохиромжтой сонголт юм. Түүний бат бөх хийц, өндөр дулаан дамжуулалт нь хүнд хэцүү орчинд тогтвортой гүйцэтгэлийг хангаж, эпитаксиаль өсөлтийн системд шаардлагатай найдвартай байдлыг хангадаг.
Энэхүү MOCVD сусцептор нь монокристалл цахиур үйлдвэрлэх, SiC эпитакс дээр GaN-ийн өсөлт зэрэг янз бүрийн эпитаксийн хэрэглээнд нийцдэг бөгөөд энэ нь дээд түвшний үр дүнд хүрэхийг эрэлхийлдэг үйлдвэрлэгчдэд чухал бүрэлдэхүүн хэсэг болгодог. Нэмж дурдахад, энэ нь PSS Etching Carrier, ICP Etching Carrier, RTP Carrier системүүдтэй саадгүй ажиллаж, процессын үр ашиг, гарцыг сайжруулдаг. Энэхүү мэдрэгч нь LED эпитаксиал мэдрэгчийг ашиглах болон бусад дэвшилтэт хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн процессуудад тохиромжтой.
Олон талт загвараараа semicera-ийн MOCVD мэдрэгчийг Хуушуурын уут болон торхны шингээгчд ашиглах боломжтой бөгөөд үйлдвэрлэлийн янз бүрийн тохиргоонд уян хатан байдлыг санал болгодог. Фотоволтайк эд ангиудыг нэгтгэх нь түүний хэрэглээг улам өргөжүүлж, хагас дамжуулагч болон нарны үйлдвэрүүдэд тохиромжтой. Энэхүү өндөр гүйцэтгэлтэй шийдэл нь маш сайн дулааны тогтвортой байдал, бат бөх чанарыг хангаж, эпитаксиаль өсөлтийн процесст урт хугацааны үр ашгийг баталгаажуулдаг.
Үндсэн шинж чанарууд
1 .Өндөр цэвэршилттэй SiC бүрсэн бал чулуу
2. Дээд зэргийн халуунд тэсвэртэй, дулааны жигд байдал
3. Гөлгөр гадаргуутай болгохын тулд нарийн SiC болор бүрсэн
4. Химийн цэвэрлэгээнд тэсвэртэй
CVD-SIC бүрхүүлийн үндсэн үзүүлэлтүүд:
SiC-CVD | ||
Нягт | (г/cc) | 3.21 |
Гулзайлтын хүч | (Мпа) | 470 |
Дулааны тэлэлт | (10-6/К) | 4 |
Дулаан дамжилтын илтгэлцүүр | (Вт/мК) | 300 |
Сав баглаа боодол, тээвэрлэлт
Нийлүүлэлтийн чадвар:
Сард 10000 ширхэг
Сав баглаа боодол, хүргэлт:
Сав баглаа боодол: Стандарт ба хүчтэй савлагаа
Полиэт уут + Хайрцаг + Картон + Палет
Порт:
Нинбо/Шэньжэн/Шанхай
Хүргэлтийн хугацаа:
Тоо хэмжээ(ширхэг) | 1-1000 | >1000 |
Тооцоолол. Цаг (өдөр) | 30 | Хэлэлцэх ёстой |