Хагас дамжуулагч сав баглаа боодлын өнөөгийн техникүүд аажмаар сайжирч байгаа боловч хагас дамжуулагч савлагаанд автоматжуулсан төхөөрөмж, технологийг хэр зэрэг нэвтрүүлж байгаа нь хүлээгдэж буй үр дүнгийн хэрэгжилтийг шууд тодорхойлдог. Одоо байгаа хагас дамжуулагч сав баглаа боодлын процессууд хоцрогдсон согогтой хэвээр байгаа бөгөөд аж ахуйн нэгжийн техникчид савлагааны автоматжуулсан тоног төхөөрөмжийн системийг бүрэн ашиглаагүй байна. Иймээс автоматжуулсан хяналтын технологийн дэмжлэггүй хагас дамжуулагч сав баглаа боодлын процесс нь илүү их хөдөлмөр, цаг хугацаа шаардагддаг тул техникийн ажилтнууд хагас дамжуулагч савлагааны чанарыг хатуу хянахад хэцүү болгодог.
Шинжилгээ хийх гол чиглэлүүдийн нэг бол бага хэмжээний бүтээгдэхүүний найдвартай байдалд сав баглаа боодлын үйл явцын нөлөөлөл юм. Алт-хөнгөн цагаан холбогч утасны интерфейсийн бүрэн бүтэн байдалд цаг хугацаа, температур зэрэг хүчин зүйлс нөлөөлж, түүний найдвартай байдал нь цаг хугацааны явцад буурч, химийн фаз нь өөрчлөгддөг бөгөөд энэ нь процесст давхаргыг задлахад хүргэдэг. Тиймээс үйл явцын бүх үе шатанд чанарын хяналтыг анхаарч үзэх нь маш чухал юм. Даалгавар тус бүрээр тусгай баг бүрдүүлэх нь эдгээр асуудлыг нямбай зохицуулахад тусална. Нийтлэг асуудлын үндсэн шалтгааныг ойлгох, зорилтот, найдвартай шийдлүүдийг боловсруулах нь үйл явцын ерөнхий чанарыг хадгалахад чухал ач холбогдолтой. Ялангуяа холбох утаснуудын анхны нөхцөл, түүний дотор бэхэлгээний дэвсгэр, үндсэн материал, бүтцийг сайтар шинжлэх шаардлагатай. Холбогч дэвсгэрийн гадаргууг цэвэр байлгах ёстой бөгөөд холбох утас материал, холбох хэрэгсэл, холбох параметрүүдийг сонгох, хэрэглэх нь процессын шаардлагыг дээд зэргээр хангасан байх ёстой. Сав баглаа боодлын найдвартай байдалд алт-хөнгөн цагаан IMC-ийн нөлөөллийг мэдэгдэхүйц тодотгохын тулд k зэсийн технологийн технологийг нарийн ширхэгтэй холболттой хослуулахыг зөвлөж байна. Нарийн давирхайтай холбох утаснуудын хувьд аливаа хэв гажилт нь холбох бөмбөлгүүдийн хэмжээд нөлөөлж, IMC талбайг хязгаарлаж болно. Тиймээс практик үе шатанд чанарын хатуу хяналт шаардлагатай бөгөөд баг, ажилтнууд өөрсдийн тодорхой үүрэг, хариуцлагыг сайтар судалж, үйл явцын шаардлага, хэм хэмжээг дагаж, илүү олон асуудлыг шийдвэрлэх шаардлагатай байна.
Хагас дамжуулагч сав баглаа боодлын цогц хэрэгжилт нь мэргэжлийн шинж чанартай байдаг. Аж ахуйн нэгжийн техникчид эд ангиудыг зөв зохицуулахын тулд хагас дамжуулагч савлагааны үйл ажиллагааны үе шатуудыг чанд дагаж мөрдөх ёстой. Гэсэн хэдий ч зарим аж ахуйн нэгжийн ажилтнууд хагас дамжуулагчийн сав баглаа боодлын процессыг дуусгахын тулд стандартчилсан арга техникийг ашигладаггүй, тэр ч байтугай хагас дамжуулагчийн бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн техникийн үзүүлэлт, загварыг шалгахыг үл тоомсорлодог. Үүний үр дүнд хагас дамжуулагчийн зарим эд ангиудыг буруу савласан нь хагас дамжуулагчийг үндсэн үүргээ гүйцэтгэхэд саад болж, аж ахуйн нэгжийн эдийн засгийн үр өгөөжид нөлөөлдөг.
Ерөнхийдөө хагас дамжуулагч савлагааны техникийн түвшинг системтэйгээр сайжруулах шаардлагатай хэвээр байна. Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэдэг аж ахуйн нэгжийн техникчид хагас дамжуулагчийн бүх эд ангиудыг зөв угсрахын тулд савлагааны автоматжуулсан тоног төхөөрөмжийн системийг зөв ашиглах ёстой. Чанарын байцаагч нар буруу савласан хагас дамжуулагч төхөөрөмжийг үнэн зөв тодорхойлохын тулд цогц, хатуу хяналт шалгалт хийж, техникийн ажилтнуудад үр дүнтэй залруулга хийхийг яаралтай шаардах ёстой.
Цаашилбал, утсыг холбох үйл явцын чанарын хяналтын хүрээнд утсан холболтын хэсэг дэх металл давхарга ба ILD давхаргын харилцан үйлчлэл нь ялангуяа утсан холболтын дэвсгэр ба доод металл/ILD давхарга нь аяга хэлбэртэй хэв гажилтанд хүргэдэг. . Энэ нь голчлон утас холбох машины даралт ба хэт авианы энергитэй холбоотой бөгөөд энэ нь хэт авианы энергийг аажмаар бууруулж, утас холбох хэсэгт дамжуулж, алт, хөнгөн цагаан атомуудын харилцан тархалтыг саатуулдаг. Эхний шатанд бага к чиптэй утсан холболтын үнэлгээ нь холбох процессын параметрүүд нь маш мэдрэмтгий болохыг харуулж байна. Хэрэв холболтын параметрүүдийг хэт бага тохируулсан бол утас тасрах, сул холболт зэрэг асуудал үүсч болно. Үүнийг нөхөхийн тулд хэт авианы энергийг нэмэгдүүлэх нь эрчим хүчний алдагдалд хүргэж, аяга хэлбэрийн хэв гажилтыг улам хүндрүүлнэ. Нэмж дурдахад ILD давхарга ба металл давхаргын хоорондох сул наалдац, бага k-тай материалын хэврэг байдал нь ILD давхаргаас металлын давхаргыг задлах үндсэн шалтгаан болдог. Эдгээр хүчин зүйлүүд нь одоогийн хагас дамжуулагч савлагааны үйл явцын чанарын хяналт, инновацийн гол сорилтуудын нэг юм.
Шуудангийн цаг: 2024 оны 5-р сарын 22-ны хооронд