Гарчиг: Зэврэлтэнд тэсвэртэйТантал карбидын бүрээсХагас дамжуулагчийн үйлдвэрт
Танилцуулга
Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрт зэврэлт нь чухал бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн урт наслалт, гүйцэтгэлд ихээхэн бэрхшээл учруулдаг. Танталкарбидын (TaC) бүрээсхагас дамжуулагчийн хэрэглээнд зэврэлттэй тэмцэх ирээдүйтэй шийдэл болж гарч ирсэн. Энэхүү нийтлэл нь тантал карбидын бүрээсийн зэврэлтэнд тэсвэртэй шинж чанар, хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлд чухал үүрэг гүйцэтгэдэг.
Тантал карбидын бүрээсийн зэврэлтэнд тэсвэртэй байдал
Танталкарбидын (TaC) бүрээсЗэврэлтээс хамгаалах онцгой шинж чанартай бөгөөд хагас дамжуулагч эд ангиудыг хатуу ширүүн үйл ажиллагааны нөхцлөөс хамгаалахад тохиромжтой. Тантал карбидын бүрээсний зэврэлтээс хамгаалах шинж чанарт дараахь хүчин зүйлс нөлөөлдөг.
Химийн идэвхгүй байдал: Тантал карбид нь химийн хувьд маш идэвхгүй бөгөөд энэ нь хагас дамжуулагчийн процесст тохиолддог янз бүрийн химийн бодисын идэмхий нөлөөнд тэсвэртэй гэсэн үг юм. Энэ нь хүчил, суурь болон бусад реактив бодисын нөлөөг тэсвэрлэх чадвартай бөгөөд бүрсэн бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн бүрэн бүтэн байдал, удаан эдэлгээтэй байдлыг хангана.
Исэлдэлтийн эсэргүүцэл: Тантал карбидын бүрээс нь ялангуяа өндөр температурт исэлдэлтийн эсэргүүцлийг маш сайн харуулдаг. Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн өндөр температурт боловсруулалтын үе шат зэрэг исэлдүүлэгч орчинд өртөх үед тантал карбид нь гадаргуу дээр хамгаалалтын исэлдүүлэгч давхарга үүсгэж, цаашдын исэлдэлт, зэврэлтээс сэргийлдэг.
Дулааны тогтвортой байдал:Тантал карбидын бүрээсөндөр температурт ч зэврэлтээс хамгаалах шинж чанараа хадгална. Эдгээр нь хагас дамжуулагчийг үйлдвэрлэх явцад үүсэх дулааны эрс тэс нөхцөл, тухайлбал, тунадасжуулах, сийлбэрлэх, зөөлрүүлэх зэрэгт тэсвэрлэх чадвартай.
Наалдац ба жигд байдал:Тантал карбидын бүрээсХимийн уурын хуримтлуулах (CVD) техникийг ашиглан түрхэж, субстрат дээр маш сайн наалддаг, жигд бүрхэвчийг хангана. Энэхүү жигд байдал нь зэврэлт үүсч болзошгүй сул тал эсвэл цоорхойг арилгаж, иж бүрэн хамгаалалтыг хангадаг.
-ийн давуу талТантал карбидын бүрээсХагас дамжуулагчийн үйлдвэрт
Тантал карбидын бүрээсний зэврэлтээс хамгаалах шинж чанар нь хагас дамжуулагчийн салбарт хэд хэдэн давуу талыг санал болгодог.
Чухал бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн хамгаалалт:Тантал карбидын бүрээсидэмхий орчин болон хагас дамжуулагч бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн хооронд хаалт болж, эвдрэл, дутуу эвдрэлээс хамгаална. Электрод, мэдрэгч, камер зэрэг бүрсэн эд ангиуд нь идэмхий хий, өндөр температур, химийн процесст удаан хугацаагаар өртөхийг тэсвэрлэдэг.
Бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн ашиглалтын хугацааг уртасгах: Зэврэлтээс үр дүнтэй сэргийлж,тантал карбидын бүрээсхагас дамжуулагч эд ангиудын ашиглалтын хугацааг уртасгах. Үүний үр дүнд сул зогсолт, засвар үйлчилгээ, солих зардлыг бууруулж, нийт бүтээмж, үр ашгийг дээшлүүлнэ.
Сайжруулсан гүйцэтгэл, найдвартай байдал: Зэврэлтэнд тэсвэртэй бүрээс нь хагас дамжуулагч төхөөрөмжийн гүйцэтгэл, найдвартай байдлыг сайжруулахад хувь нэмэр оруулдаг. Бүрсэн эд ангиуд нь үйл ажиллагаа, нарийвчлалыг хадгалж, янз бүрийн хагас дамжуулагч процессуудад тууштай, үнэн зөв үр дүнг баталгаажуулдаг.
Хагас дамжуулагч материалтай нийцтэй байдал: Тантал карбидын бүрээс нь цахиур, цахиурын карбид, галлийн нитрид болон бусад олон төрлийн хагас дамжуулагч материалуудтай маш сайн нийцдэг. Энэхүү нийцтэй байдал нь бүрсэн эд ангиудыг хагас дамжуулагч төхөөрөмж, системд саадгүй нэгтгэх боломжийг олгодог.
Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлд тантал карбидын бүрээсийн хэрэглээ
Тантал карбидын бүрээс нь янз бүрийн хагас дамжуулагч процесс, бүрэлдэхүүн хэсгүүдэд хэрэглэгддэг, үүнд:
Сийлбэрийн танхимууд: Тантал карбидаар бүрсэн сийлбэрийн камерууд нь хагас дамжуулагчийг үйлдвэрлэх сийлбэр хийх үе шатанд идэмхий плазмын орчинд тэсвэртэй байдлыг хангаж, тоног төхөөрөмжийн удаан эдэлгээг хангаж, процессын бүрэн бүтэн байдлыг хангадаг.
Электрод ба контактууд: Электрод ба контактууд дээрх тантал карбидын бүрээс нь химийн реактив бодис, өндөр температурын процессоос үүдэлтэй зэврэлтээс хамгаалж, найдвартай цахилгаан гүйцэтгэл, урт хугацааны тогтвортой байдлыг хангадаг.
Мэдрэгч ба мэдрэгч: Мэдрэгчийн гадаргуу болон мэдрэгчийг тантал карбидаар бүрэх нь химийн довтолгооны эсэргүүцлийг нэмэгдүүлж, хагас дамжуулагчийн хатуу ширүүн орчинд үнэн зөв, найдвартай хэмжилтийг баталгаажуулдаг.
Нимгэн хальсан тунадас: Тантал карбидын бүрээс нь нимгэн хальсан давхаргад тархах хаалт эсвэл наалддаг давхарга болж, үндсэн материалыг бохирдол, зэврэлтээс хамгаалдаг.
Дүгнэлт
Тантал карбидын бүрээс нь хагас дамжуулагчийн салбарт зэврэлтээс хамгаалах онцгой шинж чанарыг санал болгож, чухал бүрэлдэхүүн хэсгүүдийг хатуу ширүүн орчны хор хөнөөлийн нөлөөллөөс хамгаалдаг. Тэдгээрийн химийн идэвхгүй байдал, исэлдэлтийн эсэргүүцэл, дулааны тогтвортой байдал, наалдамхай шинж чанарууд нь хагас дамжуулагч төхөөрөмж, процессыг хамгаалахад тохиромжтой сонголт болгодог. Тантал карбидын бүрээсийг ашиглах нь эд ангиудын ашиглалтын хугацааг уртасгах төдийгүй тэдгээрийн гүйцэтгэл, найдвартай байдал, ерөнхий бүтээмжийг нэмэгдүүлдэг. Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэл үргэлжлэн хөгжиж байгаа тул тантал карбидын бүрээс нь зэврэлттэй тэмцэх, хагас дамжуулагч төхөөрөмж, системийн урт наслалт, үр ашгийг хангахад шийдвэрлэх шийдэл хэвээр байх болно.
Шуудангийн цаг: 2024 оны 4-р сарын 02-ны хооронд