Эхлээд нэг талст зууханд байгаа кварцын тигелд поликристалл цахиур, нэмэлт бодисыг хийж, температурыг 1000 градусаас дээш болгож, хайлсан төлөвт поликристалл цахиурыг авна.
Цахиурын ембүү өсөлт нь поликристалл цахиурыг нэг талст цахиур болгох үйл явц юм. Поликристалл цахиурыг шингэн болгон халаасны дараа дулааны орчныг нарийн хянадаг бөгөөд өндөр чанартай дан талст болж өсдөг.
Холбогдох ойлголтууд:
Нэг талст өсөлт:Поликристалл цахиурын уусмалын температур тогтвортой болсны дараа үрийн талстыг цахиурын хайлмал руу аажмаар буулгаж (үрийн болор нь цахиурын хайлмалд хайлагдах болно), дараа нь үрийн талстыг үржүүлэхэд зориулж тодорхой хурдтайгаар дээшлүүлнэ. үйл явц. Дараа нь тарих явцад үүссэн мултралыг хүзүүвчний аргаар арилгадаг. Хүзүүг хангалттай урттай болгон агшаах үед дан болор цахиурын диаметрийг татах хурд, температурыг тохируулан зорилтот утга руу нь томруулж, дараа нь ижил диаметрийг барьж, зорилтот урттай болгоно. Эцэст нь, мултралыг арагш сунгахаас сэргийлэхийн тулд дан болор ембүүг дуусгахын тулд бэлэн дан болор ембүү авах ба дараа нь температурыг хөргөсний дараа гаргаж авдаг.
Нэг талст цахиур бэлтгэх арга:CZ арга ба FZ арга. CZ аргыг CZ арга гэж товчилдог. CZ аргын онцлог нь шулуун цилиндртэй дулааны системд нэгтгэн дүгнэж, графит эсэргүүцэх халаагуурыг ашиглан поликристалл цахиурыг өндөр цэвэршилттэй кварцын тигелд хайлуулж, дараа нь үрийн талстыг хайлмал гадаргуу руу гагнуур хийх зорилгоор хийдэг. үрийн болорыг эргүүлж, дараа нь тигелийг эргүүлнэ. Үрийн болор аажмаар дээш өргөгдөж, үр суулгах, томруулах, мөр эргүүлэх, ижил диаметртэй ургах, хаягдал үүсгэх процессуудын дараа нэг талст цахиур гарна.
Бүсийн хайлуулах арга нь хагас дамжуулагч талстыг өөр өөр газар хайлуулах, талстжуулахын тулд поликристал ембүү ашиглах арга юм. Хагас дамжуулагч бариулын нэг төгсгөлд хайлах бүсийг үүсгэхийн тулд дулааны энерги зарцуулж, дараа нь нэг талст үрийн талстыг гагнаж байна. Температурыг тохируулан хайлах бүсийг савааны нөгөө үзүүр рүү аажим аажмаар шилжүүлж, бүхэл бүтэн саваагаар нэг талст ургаж, талстуудын чиглэл нь үрийн талсттай ижил байна. Бүсийн хайлах аргыг хэвтээ бүсийн хайлах арга, босоо суспензийн бүсийн хайлах арга гэж хоёр төрөлд хуваадаг. Эхнийх нь германий болон GaAs зэрэг материалыг цэвэршүүлэх, нэг талст ургуулахад голчлон ашиглагддаг. Сүүлд нь өндөр давтамжийн ороомог ашиглан агаар мандалд эсвэл вакуум зууханд нэг талст үрийн талст ба түүний дээр дүүжлэгдсэн поликристалл цахиурын саваа хооронд хайлсан бүс үүсгэж, дараа нь хайлсан бүсийг дээш хөдөлгөж, нэг талстыг ургуулна. болор.
Цахиурын 85 орчим хувийг Czochralski аргаар, 15 хувийг бүс хайлуулах аргаар үйлдвэрлэдэг. Өргөдлийн дагуу Чехральскийн аргаар ургуулсан дан болор цахиурыг голчлон нэгдсэн хэлхээний эд анги үйлдвэрлэхэд ашигладаг бол бүс хайлуулах аргаар ургуулсан дан болор цахиурыг голчлон эрчим хүчний хагас дамжуулагч болгон ашигладаг. Czochralski арга нь боловсорч гүйцсэн процесстой бөгөөд том диаметртэй нэг болор цахиурыг ургуулахад хялбар байдаг; бүсийн хайлах арга нь савтай харьцдаггүй, бохирдох нь тийм ч хялбар биш, илүү цэвэршилттэй, өндөр хүчин чадалтай электрон төхөөрөмж үйлдвэрлэхэд тохиромжтой боловч том диаметртэй нэг талст цахиур ургуулахад илүү хэцүү, бөгөөд ерөнхийдөө зөвхөн 8 инч буюу түүнээс бага диаметртэйд ашиглагддаг. Видео нь Czochralski аргыг харуулж байна.
Дан болорыг татах явцад нэг талст цахиурын диаметрийг хянахад хүндрэлтэй байдаг тул 6 инч, 8 инч, 12 инч гэх мэт стандарт диаметртэй цахиурын саваа авахын тулд ганц талстыг татсаны дараа болор, цахиурын ембүүний диаметрийг өнхрүүлэн нунтаглана. Цахиурын саваа өнхрүүлсний дараа гадаргуу нь гөлгөр бөгөөд хэмжээтэй алдаа бага байна.
Утас хайчлах дэвшилтэт технологийг ашиглан дан болор ембүүгийг зүсэх төхөөрөмжөөр тохирох зузаантай цахиур хавтан болгон хайчилж авдаг.
Цахиур ялтсын зузаан бага тул зүссэний дараа цахиурын ирмэг нь маш хурц байдаг. Ирмэгийг нунтаглах зорилго нь гөлгөр ирмэгийг бий болгох бөгөөд ирээдүйд чип үйлдвэрлэхэд эвдрэх нь тийм ч хялбар биш юм.
LAPPING гэдэг нь хүнд хавтан ба доод болор хавтангийн хооронд вафель нэмж, дарж зүлгүүрээр эргүүлж, өрөмийг хавтгай болгоно.
Сийлбэр нь вафельний гадаргуугийн гэмтлийг арилгах үйл явц бөгөөд физик боловсруулалтаар гэмтсэн гадаргуугийн давхаргыг химийн уусмалаар уусгана.
Хоёр талт нунтаглах нь өрөмийг хавтгай болгож, гадаргуу дээрх жижиг цухуйсан хэсгүүдийг арилгах үйл явц юм.
RTP гэдэг нь ялтсыг хэдхэн секундын дотор маш хурдан халаах үйл явц бөгөөд энэ нь ялтасны дотоод согогийг жигд болгож, металлын хольцыг дарангуйлж, хагас дамжуулагчийн хэвийн бус үйл ажиллагаанаас сэргийлдэг.
Өнгөлгөө нь гадаргуугийн нарийн боловсруулалтаар гадаргуугийн тэгш байдлыг хангах үйл явц юм. Өнгөлгөөний зутан, өнгөлгөөний даавууг тохирох температур, даралт, эргэлтийн хурдтай хослуулан хэрэглэснээр өмнөх процессоос үүссэн механик гэмтлийн давхаргыг арилгаж, гадаргуугийн тэгш байдал сайтай цахиур хавтан авах боломжтой.
Цэвэрлэгээний зорилго нь өнгөлгөөний дараа цахиурын гадаргуу дээр үлдсэн органик бодис, тоосонцор, металл гэх мэтийг арилгах, ингэснээр цахиурын хавтанцарын гадаргуугийн цэвэр байдлыг хангах, дараагийн процессын чанарын шаардлагыг хангахад оршино.
Хавтгай ба эсэргүүцлийн шалгагч нь өнгөлсөн цахиур хавтангийн зузаан, тэгш байдал, орон нутгийн тэгш байдал, муруйлт, эвдрэл, эсэргүүцэл зэрэг нь хэрэглэгчийн хэрэгцээ шаардлагад нийцэж байгаа эсэхийг баталгаажуулахын тулд өнгөлж, цэвэрлэсний дараа цахиур хавтанг илрүүлдэг.
БӨӨМИЙН ТООЛОЛТ гэдэг нь вафельний гадаргууг нарийн шалгах үйл явц бөгөөд гадаргуугийн согог, тоо хэмжээг лазераар сарниулах аргаар тодорхойлно.
EPI GROWING нь уурын фазын химийн тунадасжилтаар өнгөлсөн цахиур хавтан дээр өндөр чанартай цахиурын нэг талст хальс ургуулах процесс юм.
Холбогдох ойлголтууд:Эпитаксиаль өсөлт: тодорхой шаардлага бүхий нэг талст давхаргын өсөлтийг хэлнэ, нэг талст субстрат (субстрат) дээрх субстраттай ижил талст чиг баримжаатай, яг л хэсгийн хувьд гадагш чиглэсэн анхны болор шиг. Эпитаксиаль өсөлтийн технологийг 1950-иад оны сүүл, 1960-аад оны эхээр боловсруулсан. Тухайн үед өндөр давтамжийн болон өндөр хүчин чадалтай төхөөрөмж үйлдвэрлэхийн тулд коллекторын цуврал эсэргүүцлийг багасгах шаардлагатай байсан бөгөөд материал нь өндөр хүчдэл, өндөр гүйдлийг тэсвэрлэх шаардлагатай байсан тул нимгэн өндөр- эсэргүүцэл багатай субстрат дээрх эсэргүүцлийн эпитаксиаль давхарга. Эпитаксигаар ургасан шинэ нэг талст давхарга нь дамжуулалтын төрөл, эсэргүүцэл гэх мэтийн хувьд субстратаас ялгаатай байж болох ба өөр өөр зузаан, шаардлага бүхий олон давхаргат нэг талстыг мөн ургуулж, улмаар төхөөрөмжийн дизайны уян хатан байдлыг ихээхэн сайжруулж, төхөөрөмжийн гүйцэтгэл.
Сав баглаа боодол нь эцсийн шаардлага хангасан бүтээгдэхүүний сав баглаа боодол юм.
Шуудангийн цаг: 2024 оны 11-р сарын 05-ны өдөр