Цахиурын карбид (SiC) хавтанцар хавтанхагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлд чухал үүрэг гүйцэтгэж, өндөр чанартай электрон төхөөрөмжүүдийн үйлдвэрлэлийг хөнгөвчлөх. Энэ нийтлэлд түүний гайхалтай шинж чанаруудыг авч үзэх болноSiC өрлөгийн завь, тэдний онцгой хүч чадал, хатуулагт анхаарлаа хандуулж, хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн өсөлтийг дэмжихэд чухал ач холбогдолтой болохыг онцлон тэмдэглэв.
ОйлголтЦахиурын карбид хавтанцар завь:
Silicon carbide waffer завь, өөрөөр хэлбэл SiC завь нь хагас дамжуулагч үйлдвэрлэх процесст ашиглагддаг чухал бүрэлдэхүүн хэсэг юм. Эдгээр завь нь сийлбэр, цэвэрлэгээ, тархалт зэрэг хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн янз бүрийн үе шатанд цахиур хавтан зөөвөрлөгч болдог. SiC ялтсан завь нь өндөр шинж чанартай тул уламжлалт бал чулуун завинаас илүүд үздэг.
Хосгүй хүч чадал:
Онцлох шинж чанаруудын нэгSiC өрлөгийн завьнь тэдний онцгой хүч чадал юм. Цахиурын карбид нь гулзайлтын өндөр хүч чадалтай тул завь нь хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн процессын хүнд нөхцөлд тэсвэрлэх боломжийг олгодог. SiC завь нь бүтцийн бүрэн бүтэн байдлыг алдагдуулахгүйгээр өндөр температур, механик стресс, идэмхий орчинд тэсвэрлэх чадвартай. Энэхүү бат бөх чанар нь нарийн ширхэгтэй цахиур хавтанг аюулгүй тээвэрлэж, зөөвөрлөж, үйлдвэрлэлийн явцад эвдрэх, бохирдох эрсдлийг бууруулдаг.
Гайхалтай хатуулаг:
Өөр нэг онцлох шинж чанарSiC өрлөгийн завьнь тэдний өндөр хатуулаг юм. Цахиурын карбид нь 9.5-ийн Mohs хатуулагтай тул хүний мэддэг хамгийн хатуу материалуудын нэг юм. Энэхүү онцгой хатуулаг нь SiC завийг элэгдэлд маш сайн тэсвэртэй болгож, тэдний авч явдаг цахиур ялтсуудыг зурж гэмтэхээс сэргийлдэг. SiC-ийн хатуулаг нь завины урт наслалтад хувь нэмэр оруулдаг, учир нь тэд удаан хугацаагаар ашиглахад мэдэгдэхүйц элэгдлийн шинж тэмдэггүй тэсвэрлэх чадвартай бөгөөд хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн процесст тогтвортой гүйцэтгэл, найдвартай байдлыг хангадаг.
Графит завьтай харьцуулахад давуу тал:
Уламжлалт бал чулуун завьтай харьцуулахадцахиурын карбид хавтанцар завьхэд хэдэн давуу талыг санал болгодог. Бал чулуун завь нь өндөр температурт исэлдэлт, задралд өртөмтгий байдаг бол SiC завь нь дулааны доройтол, исэлдэлтэд өндөр эсэргүүцэл үзүүлдэг. Цаашлаад,SiC өрлөгийн завьграфит завьтай харьцуулахад дулааны тэлэлтийн коэффициент багатай тул температурын хэлбэлзлийн үед дулааны стресс, хэв гажилт үүсэх эрсдлийг бууруулдаг. SiC завины өндөр бат бэх, хатуулаг нь мөн эвдэрч, элэгдэлд өртөмтгий байдаг тул зогсолтыг багасгаж, хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн бүтээмжийг нэмэгдүүлдэг.
Дүгнэлт:
Цахиурын карбид хавтанцар завь нь сайшаалтай хүч чадал, хатуулагаараа хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн зайлшгүй бүрэлдэхүүн хэсэг болж гарч ирсэн. Тэдний хатуу ширүүн нөхцлийг тэсвэрлэх чадвар нь элэгдлийн өндөр эсэргүүцэлтэй хослуулан үйлдвэрлэлийн явцад цахиур хавтантай аюулгүй харьцах боломжийг олгодог. SiC ялтсан завь нь хагас дамжуулагчийн салбарын өсөлт, шинэчлэлтийг дэмжихэд чухал үүрэг гүйцэтгэсээр байна.
Шуудангийн цаг: 2024 оны 4-р сарын 15