Мэдээ - Урд талын төгсгөл (FEOL): Суурийг тавих

Үйлдвэрлэлийн шугамын урд хэсэг нь байшингийн суурийг тавьж, хана барихтай адил юм. Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн хувьд энэ үе шат нь цахиур хавтан дээр үндсэн бүтэц, транзисторыг бий болгох явдал юм.

FEOL-ийн үндсэн алхамууд:

1. Цэвэрлэгээ:Нимгэн цахиур ялтсаар эхэлж, бохирдлыг арилгахын тулд цэвэрлэнэ.
2. Исэлдэлт:Чипний өөр өөр хэсгүүдийг тусгаарлахын тулд вафель дээр цахиурын давхар ислийн давхаргыг ургуулна.
3. Фотолитографи:Гэрлээр зураг зурахтай адил хавтан дээр хээг сийлэхэд фотолитограф ашиглана.
4. Сийлбэр:Хүссэн хэв маягийг илрүүлэхийн тулд хүсээгүй цахиурын давхар ислийг сийлбэрлэ.
5. Допинг:Цахиурт хольц оруулж, цахилгаан шинж чанарыг нь өөрчилж, аливаа чипний үндсэн блок болох транзисторыг бий болгоно.

Шугамын төгсгөл (MEOL): Цэгүүдийг холбох

Үйлдвэрлэлийн шугамын дунд хэсэг нь байшинд утас, сантехник суурилуулахтай адил юм. Энэ үе шат нь FEOL үе шатанд үүссэн транзисторуудын хоорондох холболтыг бий болгоход чиглэгддэг.

MEOL-ийн үндсэн алхамууд:

1. Диэлектрик хуримтлал:Транзисторыг хамгаалахын тулд тусгаарлагч давхаргыг (диэлектрик гэж нэрлэдэг) хадгална.
2. Холбоо барих:Транзисторуудыг өөр хоорондоо болон гадаад ертөнцтэй холбохын тулд контактуудыг үүсгэ.
3. Харилцан холболт:Цахилгаан эрчим хүч, өгөгдлийн урсгалыг тасралтгүй хангахын тулд байшинг холбохтой адил цахилгаан дохионы замыг бий болгохын тулд металл давхаргууд нэмнэ.

Арын төгсгөл (BEOL): Төгсгөлийн ажил

Үйлдвэрлэлийн шугамын арын хэсэг нь байшинд эцсийн өнгөлгөө хийх буюу бэхэлгээ суурилуулах, будах, бүх зүйлийг хэвийн болгохтой адил юм. Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн хувьд энэ үе шат нь эцсийн давхаргыг нэмж, чипийг савлахад бэлтгэх явдал юм.

BEOL-ийн үндсэн алхамууд:

1. Нэмэлт металл давхаргууд:Харилцан холболтыг сайжруулахын тулд олон металл давхаргыг нэмж, чип нь нарийн төвөгтэй ажил, өндөр хурдыг даван туулах чадвартай болно.

2. Идэвхгүй байдал:Чипийг хүрээлэн буй орчны хор хөнөөлөөс хамгаалахын тулд хамгаалалтын давхаргыг хэрэглэнэ.

3. Туршилт:Чип нь бүх үзүүлэлтийг хангаж байгаа эсэхийг шалгахын тулд нарийн шалгалтанд хамруулна.

4. Шилжүүлэлт:Өрөөнийг бие даасан чипс болгон хайчилж, савлаж, электрон төхөөрөмжид ашиглахад бэлэн болно.