Плазмын сийлбэр хийх төхөөрөмжид керамик бүрэлдэхүүн хэсгүүд чухал үүрэг гүйцэтгэдэгфокусын бөгж.The фокусын бөгжӨргөст цаасны эргэн тойронд байрлуулж, түүнтэй шууд харьцах нь цагирагт хүчдэл өгөх замаар плазмыг хавтан дээр төвлөрүүлэхэд зайлшгүй шаардлагатай. Энэ нь сийлбэрийн үйл явцын жигд байдлыг сайжруулдаг.
SiC Focus цагирагуудыг сийлбэрлэх машинд хэрэглэх
SiC CVD бүрэлдэхүүн хэсгүүдзэрэг сийлбэрийн машиндфокусын цагираг, хийн шүршүүрийн толгой, хавтан ба ирмэгийн цагиргууд нь SiC-ийн хлор, фтор дээр суурилсан сийлбэрийн хийтэй урвалд орох чадвар багатай, дамжуулах чанараараа давуу талтай тул плазмын сийлбэр хийх төхөөрөмжид хамгийн тохиромжтой материал болдог.
Фокус цагираг материал болох SiC-ийн давуу тал
Вакуум урвалын камерт плазмтай шууд өртдөг тул фокусын цагиргийг плазмд тэсвэртэй материалаар хийх шаардлагатай. Цахиур эсвэл кварцаар хийсэн уламжлалт фокусын цагиргууд нь фтор дээр суурилсан сийвэн дэх сийлбэрийн эсэргүүцэл муутай тул хурдан зэврэлт, үр ашгийг бууруулдаг.
Si ба CVD SiC фокусын цагиргуудын харьцуулалт:
1. Өндөр нягтрал:Сийлбэрийн хэмжээг багасгана.
2. Өргөн зурвасын зай: Маш сайн дулаалгатай.
3. Өндөр дулаан дамжилтын ба бага тэлэлтийн коэффициент: Дулааны цочролд тэсвэртэй.
4. Өндөр уян хатан чанар:Механик нөлөөлөлд сайн тэсвэртэй.
5. Өндөр хатуулаг: Элэгдэлд тэсвэртэй, зэврэлтэнд тэсвэртэй.
SiC нь цахиурын цахилгаан дамжуулах чанарыг хуваалцаж, ионы сийлбэрт өндөр эсэргүүцэл үзүүлдэг. Нэгдсэн хэлхээг жижгэрүүлэхийн хэрээр сийлбэр хийх илүү үр дүнтэй үйл явцын эрэлт нэмэгдэж байна. Плазмын сийлбэр хийх төхөөрөмж, ялангуяа багтаамжтай хосолсон плазм (CCP) ашигладаг төхөөрөмжүүд нь плазмын өндөр эрчим хүч шаарддаг.SiC фокусын цагирагулам бүр түгээмэл болж байна.
Si ба CVD SiC фокус цагирагийн параметрүүд:
| Параметр | Цахиур (Si) | CVD цахиурын карбид (SiC) |
| Нягт (г/см³) | 2.33 | 3.21 |
| Хамтлаг хоорондын зай (eV) | 1.12 | 2.3 |
| Дулаан дамжилтын илтгэлцүүр (Вт/см°С) | 1.5 | 5 |
| Дулааны тэлэлтийн коэффициент (x10⁻⁶/°C) | 2.6 | 4 |
| Уян хатан модуль (GPa) | 150 | 440 |
| Хатуу байдал | Доод | Илүү өндөр |
SiC фокус цагираг үйлдвэрлэх үйл явц
Хагас дамжуулагч төхөөрөмжид CVD (Химийн уурын хуримтлал) нь SiC бүрэлдэхүүн хэсгүүдийг үйлдвэрлэхэд ихэвчлэн ашиглагддаг. Фокусын цагиргууд нь уурын хуримтлалаар SiC-ийг тодорхой хэлбэрт оруулан, дараа нь механик боловсруулалтаар эцсийн бүтээгдэхүүн үүсгэдэг. Уур хуримтлуулах материалын харьцааг өргөн туршилтын дараа тогтоож, эсэргүүцэл гэх мэт параметрүүдийг тогтвортой болгодог. Гэсэн хэдий ч янз бүрийн сийлбэр хийх төхөөрөмж нь янз бүрийн эсэргүүцэлтэй фокусын цагираг шаарддаг бөгөөд энэ нь техникийн үзүүлэлт бүрийн хувьд материалын харьцааны шинэ туршилтыг шаарддаг бөгөөд энэ нь цаг хугацаа, зардал их шаарддаг.
Сонгох замаарSiC фокусын цагираг-аасХагас хагас дамжуулагч, үйлчлүүлэгчид илүү урт солих мөчлөгийн үр өгөөжийг хүртэж, зардлаа мэдэгдэхүйц нэмэгдүүлэхгүйгээр дээд зэргийн гүйцэтгэлтэй байх боломжтой.
Хурдан дулааны боловсруулалтын (RTP) бүрэлдэхүүн хэсгүүд
CVD SiC-ийн онцгой дулааны шинж чанарууд нь RTP програмуудад тохиромжтой. RTP бүрэлдэхүүн хэсгүүд, түүний дотор ирмэгийн цагираг, хавтан зэрэг нь CVD SiC-ээс ашиг тустай. RTP-ийн үед эрчимтэй дулааны импульсийг бие даасан вафельд богино хугацаанд хийж, дараа нь хурдан хөргөнө. CVD SiC ирмэгийн цагираг нь нимгэн, бага дулааны масстай тул дулааныг их хэмжээгээр барьдаггүй тул хурдан халаах, хөргөх процесст нөлөөлдөггүй.
Плазмын сийлбэрийн бүрэлдэхүүн хэсгүүд
CVD SiC нь химийн өндөр эсэргүүцэлтэй тул сийлбэр хийх зориулалттай. Олон сийлбэрийн камерууд сийвэнгийн тархалтад зориулсан мянга мянган жижиг нүх агуулсан сийлбэрийн хийг тараахын тулд CVD SiC хий хуваарилах хавтанг ашигладаг. Альтернатив материалтай харьцуулахад CVD SiC нь хлор, фторын хийтэй харьцуулахад бага урвалд ордог. Хуурай сийлбэр хийхэд фокусын цагираг, ICP хавтан, хилийн цагираг, шүршүүрийн толгой зэрэг CVD SiC бүрэлдэхүүн хэсгүүдийг ихэвчлэн ашигладаг.
Плазмын фокусыг ашиглах хүчдэл бүхий SiC фокусын цагиргууд нь хангалттай цахилгаан дамжуулах чадвартай байх ёстой. Ихэвчлэн цахиураар хийгдсэн фокусын цагиргууд нь фтор, хлор агуулсан реактив хийд өртөж, зайлшгүй зэврэлтэнд хүргэдэг. SiC фокусын цагираг нь зэврэлтэнд тэсвэртэй тул цахиурын цагирагтай харьцуулахад илүү урт наслах боломжийг олгодог.
Амьдралын мөчлөгийн харьцуулалт:
· SiC фокусын цагиргууд:15-20 хоног тутамд солино.
· Цахиурын фокус цагираг:10-12 хоног тутамд солино.
SiC цагираг нь цахиурын цагирагнаас 2-3 дахин үнэтэй хэдий ч уртасгасан солих мөчлөг нь фокус цагираг солихын тулд камерыг онгойлгоход камерын бүх элэгдлийн эд ангиудыг нэгэн зэрэг сольдог тул солих хугацааг багасгадаг.
Semicera Semiconductor-ийн SiC фокус цагираг
Semicera Semiconductor нь SiC фокусын цагирагуудыг цахиурын цагирагтай ойролцоо үнээр санал болгодог бөгөөд ажиллах хугацаа нь ойролцоогоор 30 хоног байна. Semicera-ийн SiC фокусын цагиргийг плазмын сийлбэр хийх төхөөрөмжид нэгтгэснээр үр ашиг, урт наслалт мэдэгдэхүйц сайжирч, засвар үйлчилгээний нийт зардлыг бууруулж, үйлдвэрлэлийн үр ашгийг дээшлүүлдэг. Нэмж дурдахад Semicera нь хэрэглэгчийн тодорхой шаардлагад нийцүүлэн фокусын цагирагийн эсэргүүцлийг өөрчлөх боломжтой.
Semicera Semiconductor-аас SiC фокусын цагиргуудыг сонгосноор үйлчлүүлэгчид илүү урт солих цикл, өндөр гүйцэтгэлийн үр ашгийг олж авах боломжтой бөгөөд өртөг нь мэдэгдэхүйц нэмэгдэхгүй.
Шуудангийн цаг: 2024 оны 7-р сарын 10