Түгээмэл TaC бүрсэн бал чулуун хэсгүүдийг бэлтгэх арга

ХЭСЭГ/1
CVD (Химийн уурын хуримтлуулах) арга:
TaCl ашиглан 900-2300℃ температурт₅ба CnHm нь тантал ба нүүрстөрөгчийн эх үүсвэр, H₂-ийг багасгах агаар мандалд, Ar₂as зөөгч хий, урвалын хуримтлалын хальс. Бэлтгэсэн бүрхүүл нь авсаархан, жигд, өндөр цэвэршилттэй байдаг. Гэсэн хэдий ч төвөгтэй процесс, өндөр өртөгтэй, агаарын урсгалын хяналтад хүндрэлтэй, тунадасны үр ашиг бага зэрэг зарим бэрхшээлүүд байдаг.
ХЭСЭГ/2
Зуух нунтаглах арга:
Нүүрстөрөгчийн эх үүсвэр, танталын эх үүсвэр, тараагч, холбогч агуулсан зутанг бал чулуун дээр бүрж, хатаасны дараа өндөр температурт шингэлнэ. Бэлтгэсэн бүрхүүл нь байнгын чиг баримжаагүйгээр ургадаг, бага өртөгтэй, их хэмжээний үйлдвэрлэлд тохиромжтой. Том графит дээр жигд, бүрэн бүрэх, тулгуурын согогийг арилгах, бүрээсийг холбох хүчийг нэмэгдүүлэхийн тулд үүнийг судлах шаардлагатай байна.
ХЭСЭГ/3
Плазмын шүрших арга:
TaC нунтаг нь өндөр температурт плазмын нумаар хайлуулж, өндөр хурдны тийрэлтэт бодисоор өндөр температурт дусал болгон атомчилж, бал чулуун материалын гадаргуу дээр цацдаг. Вакуумгүй орчинд ислийн давхарга үүсгэхэд хялбар бөгөөд эрчим хүчний зарцуулалт их байдаг.

 

Зураг. GaN эпитаксиаль ургасан MOCVD төхөөрөмж (Veeco P75) -д хэрэглэсний дараа вафель тавиур. Зүүн талд байгаа нь TaC, баруун талд нь SiC-ээр бүрсэн байна.

TaC бүрсэнбал чулуун хэсгүүдийг шийдвэрлэх шаардлагатай

ХЭСЭГ/1
Холбох хүч:
TaC болон нүүрстөрөгчийн материалын хоорондох дулааны тэлэлтийн коэффициент болон бусад физик шинж чанарууд нь ялгаатай, бүрхүүлийн бэхэлгээний бат бөх чанар бага, хагарал, нүхжилт, дулааны стрессээс зайлсхийхэд хэцүү, ялзрах, ялзрах бодис агуулсан бодит агаар мандалд бүрхүүл нь хуулж авахад хялбар байдаг. давтан өсгөх, хөргөх үйл явц.
ХЭСЭГ/2
Цэвэр байдал:
TaC бүрэхӨндөр температурын нөхцөлд бохирдол, бохирдлоос зайлсхийхийн тулд хэт өндөр цэвэршилттэй байх шаардлагатай бөгөөд бүрэн бүрхүүлийн гадаргуу болон доторх чөлөөт нүүрстөрөгчийн болон дотоод хольцын үр дүнтэй агууламжийн стандарт, шинж чанарын стандартыг зөвшилцөх шаардлагатай.
ХЭСЭГ/3
Тогтвортой байдал:
Өндөр температурт тэсвэртэй, 2300℃-аас дээш химийн уур амьсгалд тэсвэртэй байх нь бүрхүүлийн тогтвортой байдлыг шалгах хамгийн чухал үзүүлэлт юм. Нүх, хагарал, дутуу булан, нэг чиглэлийн ширхэгийн хил нь зэврүүлэх хий нь бал чулуу руу нэвчиж, нэвчихэд хялбар байдаг тул бүрэх хамгаалалтын эвдрэл үүсдэг.
ХЭСЭГ/4
Исэлдэлтийн эсэргүүцэл:
TaC нь 500 хэмээс дээш температурт Ta2O5 болж исэлдэж эхэлдэг бөгөөд температур, хүчилтөрөгчийн концентраци нэмэгдэх тусам исэлдэлтийн хурд огцом нэмэгддэг. Гадаргуугийн исэлдэлт нь мөхлөгийн зааг болон жижиг ширхэгүүдээс эхэлж аажмаар бортгон талстууд, хугарсан талстууд үүсдэг ба үүний үр дүнд олон тооны цоорхой, цоорхой үүсэх ба хүчилтөрөгчийн нэвчилт нь бүрхүүлийг хуулж авах хүртэл эрчимждэг. Үүссэн ислийн давхарга нь дулаан дамжилтын чанар муутай, гадаад төрх нь олон янзын өнгөтэй байдаг.
ХЭСЭГ/5
Нэг төрлийн байдал ба барзгар байдал:
Бүрхүүлгийн гадаргуугийн жигд бус хуваарилалт нь орон нутгийн дулааны стрессийн концентрацийг үүсгэж, хагарал, хагарал үүсэх эрсдлийг нэмэгдүүлдэг. Нэмж дурдахад гадаргуугийн барзгар байдал нь бүрэх ба гадаад орчны харилцан үйлчлэлд шууд нөлөөлдөг бөгөөд хэт өндөр барзгар байдал нь вафель болон жигд бус дулааны талбайн үрэлтийг ихэсгэхэд хүргэдэг.
ХЭСЭГ/6
Үр тарианы хэмжээ:
Нэг төрлийн ширхэгийн хэмжээ нь бүрхүүлийн тогтвортой байдалд тусалдаг. Хэрэв үр тарианы хэмжээ бага бол холбоос нь нягт биш бөгөөд исэлдэж, зэврэхэд хялбар байдаг тул үр тарианы ирмэг дээр олон тооны хагарал, цоорхой үүсдэг бөгөөд энэ нь бүрхүүлийн хамгаалалтын чанарыг бууруулдаг. Хэрэв үр тарианы хэмжээ хэтэрхий том бол энэ нь харьцангуй барзгар бөгөөд дулааны стрессийн нөлөөн дор бүрхүүл нь хальслахад хялбар байдаг.