Өндөр чанарын SiC нунтаг үйлдвэрлэх үйл явц

Цахиурын карбид (SiC)нь онцгой шинж чанараараа алдартай органик бус нэгдэл юм. Моиссанит гэж нэрлэгддэг байгалийн гаралтай SiC нь маш ховор байдаг. Аж үйлдвэрийн хэрэглээнд,цахиурын карбидихэвчлэн синтетик аргаар үйлдвэрлэдэг.
Semicera Semiconductor-д бид үйлдвэрлэлийн дэвшилтэт техникийг ашигладагөндөр чанарын SiC нунтаг.

Манай аргууд орно:
Ачесон арга:Энэхүү уламжлалт нүүрстөрөгчийн дулааныг бууруулах процесс нь өндөр цэвэршилттэй кварцын элс эсвэл буталсан кварцын хүдрийг нефтийн кокс, бал чулуу, антрацит нунтагтай холих явдал юм. Дараа нь энэ хольцыг бал чулуу электрод ашиглан 2000 хэмээс дээш температурт халааж, α-SiC нунтаг нийлэгжүүлнэ.
Бага температурт нүүрстөрөгчийн дулааныг бууруулах:Цахиурын нарийн ширхэгтэй нунтагыг нүүрстөрөгчийн нунтагтай хольж, 1500-1800 ° C-т урвалыг явуулснаар бид сайжруулсан цэвэршилттэй β-SiC нунтаг гаргаж авдаг. Ачесоны аргатай төстэй боловч бага температурт энэ арга нь өвөрмөц талст бүтэцтэй β-SiC-ийг өгдөг. Гэсэн хэдий ч нүүрстөрөгч болон цахиурын давхар ислийн үлдэгдлийг арилгахын тулд дараах боловсруулалт хийх шаардлагатай.
Цахиур-нүүрстөрөгчийн шууд урвал:Энэ арга нь металл цахиурын нунтагыг нүүрстөрөгчийн нунтагтай 1000-1400°С-т шууд урвалд оруулж өндөр цэвэршилттэй β-SiC нунтаг гаргаж авдаг. α-SiC нунтаг нь цахиурын карбидын керамикийн гол түүхий эд хэвээр байгаа бол β-SiC нь алмааз шиг бүтэцтэй бөгөөд нарийн нунтаглах, өнгөлөхөд тохиромжтой.
Цахиурын карбид нь хоёр үндсэн талст хэлбэрийг харуулдаг.α ба β. Куб болор системтэй β-SiC нь цахиур болон нүүрстөрөгчийн аль алинд нь нүүр төвтэй куб тортой. Үүний эсрэгээр, α-SiC нь 4H, 15R, 6H зэрэг олон төрлийн политипүүдийг агуулдаг бөгөөд 6H нь үйлдвэрлэлд хамгийн түгээмэл хэрэглэгддэг. Температур нь эдгээр политипүүдийн тогтвортой байдалд нөлөөлдөг: β-SiC нь 1600 ° C-аас доош температурт тогтвортой байдаг боловч энэ температураас дээш үед аажмаар α-SiC политипт шилждэг. Жишээлбэл, 4H-SiC нь 2000 ° C орчимд үүсдэг бол 15R ба 6H политипүүд нь 2100 ° C-аас дээш температур шаарддаг. 6H-SiC нь 2200 ° C-аас дээш температурт ч тогтвортой хэвээр байна.

Semicera Semiconductor-д бид SiC технологийг хөгжүүлэхэд зориулагдсан. Бидний туршлагаSiC бүрэхболон материалууд нь таны хагас дамжуулагчийн хэрэглээний дээд зэргийн чанар, гүйцэтгэлийг баталгаажуулдаг. Бидний хамгийн сүүлийн үеийн шийдлүүд таны үйл явц, бүтээгдэхүүнийг хэрхэн сайжруулж болохыг судлаарай.