Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн хурдацтай хөгжиж буй салбарт өндөр бүтээмж, чанарт хүрэхийн тулд тоног төхөөрөмжийн нарийвчлал, бат бөх чанар нь хамгийн чухал юм. Үүнийг баталгаажуулах гол бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн нэг нь үйл явцын үр ашгийг дээшлүүлэх зорилготой SiC бүрэх дугуй араа юм.ЭпитаксиболонSiC эпитакси. Semicera-д бид орчин үеийн хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн эрэлт хэрэгцээнд нийцсэн, элэгдэлд тэсвэртэй, дулааны тогтвортой байдлыг хангасан дэвшилтэт SiC бүрэх дугуйны араа бүтээх чиглэлээр мэргэшсэн.
SiC бүрэх дугуйны араа нь эпитаксиаль өсөлтөд ашигладаг төхөөрөмжид чухал үүрэг гүйцэтгэдэг бөгөөд тэдгээр нь жигд хөдөлгөөн, субстратын нарийн хяналтыг хангадаг. Эдгээр араа, тэдгээрийн хамтцахиурын карбидын бүрээс, бат бөх чанар, зэврэлтэнд тэсвэртэй байдлыг хангаснаар өндөр температур, түрэмгий химийн бодис агуулсан орчинд тохиромжтой. Энэ нь процессыг ашиглахад онцгой чухал юмMOCVD-ийн мэдрэгчүүд, материалын тунадас нь тогтвортой, найдвартай дэмжлэг шаарддаг.
Тэдний үйл ажиллагаанаас гаднаЭпитаксиболонSiC эпитакси, Semicera-ийн SiC бүрэх дугуйны араа нь бусад хагас дамжуулагчийн хэрэглээнд чухал ач холбогдолтой. Жишээлбэл, тэдгээрийг системд нэгтгэсэнPSS сийлбэр зөөгч, жигд, өндөр чанартай LED өргүүр үйлдвэрлэхэд зайлшгүй шаардлагатай. Тэдний өндөр нарийвчлал, хүч чадал нь тэдгээрийг ашиглахад тохиромжтой болгодогICP сийлбэр зөөгч, ион сийлбэрлэх үйл явцад нарийн хүлцэлийн хэрэгцээ чухал байдаг. Цаашилбал, хурдан дулааны шилжилтийг тэсвэрлэх чадвар нь тэдгээрийг хагас дамжуулагчийг зөөлрүүлэхэд ашигладаг RTP тээвэрлэгчдэд өндөр үр дүнтэй болгодог.
SiC бүрэх дугуйны араагийн өөр нэг чухал хэрэглээ бол LED эпитаксиаль мэдрэгчийг үйлдвэрлэх явдал бөгөөд тэдгээрийн бат бөх чанар, халуунд тэсвэртэй байдал нь өндөр температурт ажиллах үед мэдрэгчийн бүрэн бүтэн байдлыг хадгалахад тусалдаг. Энэ нь LED хавтан үйлдвэрлэхэд илүү өндөр дамжуулалт, найдвартай байдалд хүргэдэг.
Semicera-ийн дэвшилтэт SiC бүрэх дугуйны араануудыг суурилуулснаар үйлдвэрлэгчид хагас дамжуулагч үйлдвэрлэх процессын гүйцэтгэлийг сайжруулж, зогсолтыг багасгаж, үр ашгийг дээшлүүлж чадна. Si Epitaxy, SiC Epitaxy эсвэл MOCVD Susceptors-тай харьцах эсэхээс үл хамааран эдгээр араа нь хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн өндөр шаардлагыг хангахад шаардагдах уян хатан чанар, нарийвчлалыг хангадаг.
Дэлгэрэнгүй мэдээллийг дараах хаягаар авна уу.
Semicera албан ёсны вэбсайт:https://www.semi-cera.com/
Шуудангийн цаг: 2024 оны 9-р сарын 24-ний хооронд