Цахиурын карбид хавтанөндөр цэвэршилттэй цахиурын нунтаг болон өндөр цэвэр нүүрстөрөгчийн нунтаг түүхий эдээр хийгдсэн бөгөөд цахиур карбидын талстыг физик уур дамжуулах аргаар (PVT) ургуулж, боловсруулдаг.цахиурын карбид хавтан.
① Түүхий эдийн синтез. Өндөр цэвэршилттэй цахиурын нунтаг болон өндөр цэвэршилттэй нүүрстөрөгчийн нунтагыг тодорхой харьцаагаар хольж, 2000 хэмээс дээш өндөр температурт цахиурын карбидын тоосонцорыг нэгтгэсэн. Бутлах, цэвэрлэх болон бусад процессын дараа болор өсөлтийн шаардлагад нийцсэн өндөр цэвэршилттэй цахиур карбидын нунтаг түүхий эдийг бэлтгэдэг.
② Кристал өсөлт. Түүхий эд болгон өндөр цэвэршилттэй SIC нунтаг ашиглан болорыг бие даан боловсруулсан болор өсөлтийн зуух ашиглан физик уур дамжуулах (PVT) аргаар ургуулсан.
③ ембүү боловсруулах. Олж авсан цахиурын карбидын болор ембүүгийг рентген туяаны нэг талст чиглүүлэгчээр чиглүүлж, дараа нь нунтаглаж өнхрүүлэн, стандарт диаметртэй цахиур карбидын болор болгон боловсруулсан.
④ Кристал зүсэлт. Олон шугамтай зүсэх төхөөрөмжийг ашиглан цахиурын карбидын талстыг 1 мм-ээс ихгүй зузаантай нимгэн хуудас болгон хайчилж авдаг.
⑤ Чипс нунтаглах. Өргөст цаасыг өөр өөр ширхэгийн хэмжээтэй алмаз нунтаглах шингэнээр хүссэн тэгш, барзгар байдалд нь нунтаглана.
⑥ Чип өнгөлөх. Гадаргууг гэмтээхгүйгээр өнгөлсөн цахиурын карбидыг механик өнгөлгөө, химийн механик өнгөлгөөний аргаар олж авсан.
⑦ Чип илрүүлэх. Оптик микроскоп, рентген дифрактометр, атомын хүчний микроскоп, контактгүй эсэргүүцэл шалгагч, гадаргуугийн тэгш байдал шалгагч, гадаргуугийн согогийн иж бүрэн шалгагч болон бусад багаж, төхөөрөмжийг ашиглан бичил гуурсан хоолойн нягтрал, талст чанар, гадаргуугийн тэгш бус байдал, эсэргүүцэл, эвдрэл, муруйлт, зузааны өөрчлөлт, гадаргуугийн зураас болон бусад үзүүлэлтүүд цахиурын карбидын хавтанцар. Үүний дагуу чипийн чанарын түвшинг тодорхойлдог.
⑧ Чип цэвэрлэх. Цахиурын карбидын өнгөлгөөний хуудсыг цэвэрлэгч бодис, цэвэр усаар цэвэрлэж, өнгөлгөөний хуудсан дээрх үлдэгдэл өнгөлгөөний шингэн болон бусад гадаргуугийн шороог зайлуулж, дараа нь өрөмийг үлээж, хэт өндөр цэвэршилттэй азот, хатаах машинаар сэгсэрч хатаана; Өргөст цаасыг маш цэвэрхэн тасалгаанд цэвэрхэн цаасан хайрцагт хийж доод урсгалд хэрэглэхэд бэлэн цахиурын карбид өрөм үүсгэнэ.
Чипийн хэмжээ том байх тусам талстыг өсгөх, боловсруулах технологи нь илүү хэцүү бөгөөд доод урсгалын төхөөрөмжүүдийн үйлдвэрлэлийн үр ашиг өндөр байх тусам нэгжийн өртөг бага байх болно.
Шуудангийн цаг: 2023-11-24