Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн гол цөм нь болор өсөлтийн процессууд байдаг бөгөөд энд өндөр чанартай хавтан үйлдвэрлэх нь чухал юм. Эдгээр үйл явцын салшгүй бүрэлдэхүүн хэсэг ньцахиурын карбид (SiC) өргүүртэй завь. SiC хавтанцар завь нь онцгой гүйцэтгэл, найдвартай байдлаасаа болж салбартаа ихээхэн нэр хүндтэй болсон. Энэ нийтлэлд бид түүний гайхалтай шинж чанаруудыг судлах болноSiC өрлөгийн завьхагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлд талст өсөлтийг дэмжих үүрэг.
SiC өрлөгийн завьталст өсөлтийн янз бүрийн үе шатанд хагас дамжуулагч ялтсуудыг барьж, тээвэрлэх зориулалттай. Материалын хувьд цахиурын карбид нь хүссэн шинж чанаруудын өвөрмөц хослолыг санал болгодог бөгөөд энэ нь вафель завины хувьд хамгийн тохиромжтой сонголт болгодог. Юуны өмнө түүний гайхалтай механик хүч чадал, өндөр температурт тогтвортой байдал юм. SiC нь маш сайн хатуулаг, хөшүүн чанараараа сайрхдаг бөгөөд энэ нь болор ургах явцад тулгардаг эрс тэс нөхцөлийг тэсвэрлэх боломжийг олгодог.
-ийн нэг гол давуу талSiC өрлөгийн завьнь тэдний онцгой дулаан дамжуулалт юм. Температурын жигд байдалд нөлөөлж, хавтан дээрх дулааны дарамтаас сэргийлдэг тул дулааны алдагдал нь болор өсөлтөд чухал хүчин зүйл болдог. SiC-ийн өндөр дулаан дамжуулалт нь үр ашигтай дулаан дамжуулалтыг хөнгөвчлөх ба вафель дээрх температурын жигд тархалтыг баталгаажуулдаг. Энэ шинж чанар нь эпитаксиаль өсөлт гэх мэт процессуудад онцгой ач холбогдолтой бөгөөд энэ нь жигд хальсны хуримтлалд хүрэхийн тулд температурыг нарийн хянах шаардлагатай байдаг.
Цаашлаад,SiC өрлөгийн завьмаш сайн химийн идэвхгүй байдлыг харуулдаг. Эдгээр нь хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлд өргөн хэрэглэгддэг олон төрлийн идэмхий химийн бодис, хийд тэсвэртэй. Энэхүү химийн тогтвортой байдал нь үүнийг баталгаажуулдагSiC өрлөгийн завьхатуу ширүүн үйл явцын орчинд удаан хугацаагаар өртөх үед тэдний бүрэн бүтэн байдал, гүйцэтгэлийг хадгалах. химийн довтолгоонд тэсвэртэй байх нь бохирдол, материалын доройтолд орохоос сэргийлж, ургаж буй вафельний чанарыг хамгаалдаг.
SiC ялтсан завины хэмжээст тогтвортой байдал нь бас нэг анхаарал татахуйц тал юм. Эдгээр нь өндөр температурт ч гэсэн хэлбэр, хэлбэрээ хадгалахаар бүтээгдсэн бөгөөд болор ургах явцад вафельны зөв байрлалыг баталгаажуулдаг. Хэмжээст тогтвортой байдал нь завины хэв гажилт, эвдрэлийг багасгадаг бөгөөд энэ нь хавтангийн тэгш бус ургалтад хүргэж болзошгүй юм. Энэхүү нарийн байрлал нь үүссэн хагас дамжуулагч материалд хүссэн талстографийн чиг баримжаа, жигд байдлыг хангахад маш чухал юм.
SiC хавтанцар завь нь маш сайн цахилгаан шинж чанартай байдаг. Цахиурын карбид нь өөрөө хагас дамжуулагч материал бөгөөд түүний өргөн зурвас, өндөр задралын хүчдэлээр тодорхойлогддог. SiC-ийн өвөрмөц цахилгаан шинж чанар нь болор ургах явцад цахилгааны алдагдал, хөндлөнгийн оролцоог хамгийн бага байлгах боломжийг олгодог. Энэ нь үйлдвэрлэсэн хагас дамжуулагч материалын бүрэн бүтэн байдлыг хадгалахад тусалдаг тул өндөр хүчин чадалтай төхөөрөмжүүдийг ургуулах эсвэл мэдрэмтгий электрон бүтэцтэй ажиллахад онцгой чухал юм.
Нэмж дурдахад SiC хавтанцар завь нь удаан эдэлгээтэй, дахин ашиглах боломжтой гэдгээрээ алдартай. Тэд болор өсөлтийн олон мөчлөгийг мэдэгдэхүйц муудахгүйгээр тэсвэрлэх чадвартай, урт хугацааны ашиглалтын хугацаатай. Энэхүү бат бөх чанар нь өртөг хэмнэлттэй болж, ойр ойрхон солих хэрэгцээг бууруулдаг. SiC ялтсуудыг дахин ашиглах чадвар нь үйлдвэрлэлийн тогтвортой практикт хувь нэмэр оруулаад зогсохгүй болор өсөлтийн үйл явцын тогтвортой гүйцэтгэл, найдвартай байдлыг баталгаажуулдаг.
Дүгнэж хэлэхэд, SiC өрмөнцөр завь нь хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн талст өсөлтийн салшгүй бүрэлдэхүүн хэсэг болсон. Тэдний онцгой механик хүч чадал, өндөр температурт тогтвортой байдал, дулаан дамжуулалт, химийн идэвхгүй байдал, хэмжээст тогтворжилт, цахилгаан шинж чанарууд нь болор өсөлтийн процессыг хөнгөвчлөхөд маш их хэрэгцээтэй болгодог. SiC хавтанцар хавтан нь температурын жигд хуваарилалтыг хангаж, бохирдлоос сэргийлж, ялтсуудыг нарийн байрлуулах боломжийг олгодог бөгөөд эцсийн дүндээ өндөр чанартай хагас дамжуулагч материалыг үйлдвэрлэхэд хүргэдэг. Дэвшилтэт хагас дамжуулагч төхөөрөмжүүдийн эрэлт хэрэгцээ өссөөр байгаа тул болорын оновчтой өсөлтийг хангахад SiC хавтанцарын ач холбогдлыг үнэлж баршгүй.
Шуудангийн цаг: 2024 оны 4-р сарын 08