Танилцуулга
Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн хувьд чухал бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн найдвартай, үр ашигтай ажиллагааг хангахын тулд дулааны тогтвортой байдал нь хамгийн чухал юм.КварцЦахиурын давхар ислийн (SiO2) талст хэлбэр нь дулааны тогтвортой байдлын онцгой шинж чанараараа ихээхэн хүлээн зөвшөөрөгдсөн. Энэ нийтлэл нь дулааны тогтвортой байдлыг судлах болнокварцбүрэлдэхүүн хэсгүүд ба тэдгээрийн хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлд чухал үүрэг.
-ийн дулааны тогтвортой байдалКварцБүрэлдэхүүн хэсгүүд
КварцГайхамшигтай дулааны тогтвортой байдлыг харуулдаг бөгөөд энэ нь янз бүрийн хагас дамжуулагч хэрэглээнд тохиромжтой материал болгодог. Дараах хүчин зүйлүүд нь кварцын бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн дулааны тогтвортой байдлын шинж чанарт нөлөөлдөг.
Өндөр хайлах цэг:КварцОйролцоогоор 1700 хэм (Фаренгейтийн 3092 хэм) маш өндөр хайлах цэгтэй. Энэхүү өндөр хайлах цэг нь кварцын бүрэлдэхүүн хэсгүүдийг тунадасжуулах, задлах, тархах зэрэг хагас дамжуулагч үйлдвэрлэх явцад тохиолддог өндөр температурыг тэсвэрлэх боломжийг олгодог.
Дулааны тэлэлтийн бага коэффициент:КварцЭнэ нь дулааны тэлэлтийн бага коэффициенттэй тул температурын өөрчлөлтөд хамгийн бага хэмжээгээр тэлж, агшдаг. Энэ шинж чанар нь хэмжээсийн тогтвортой байдлыг хангаж, температурын огцом өөрчлөлтөд өртөх үед кварцын эд ангиудын эвдрэл, хагарал үүсэхээс сэргийлдэг.
Дулааны цохилтын эсэргүүцэл:Кварцбүрэлдэхүүн хэсэг нь температурын гэнэтийн өөрчлөлтийг мэдрэх үед үүсдэг дулааны цочролыг маш сайн эсэргүүцдэг. Дулааны цочролыг тэсвэрлэх чадвар нь хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн дулааны эргэлтийн процессын үед кварцын бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн бүрэн бүтэн байдал, удаан эдэлгээг баталгаажуулдаг.
Тусгаарлагч шинж чанарууд:Кварцнь цахилгаан дамжуулахгүйгээр өндөр температурын орчинд тэсвэрлэх боломжийг олгодог маш сайн цахилгаан тусгаарлагч юм. Энэ шинж чанар нь богино холболтоос урьдчилан сэргийлэх, төхөөрөмжийн хэвийн ажиллагааг хангахын тулд цахилгаан тусгаарлагч шаардлагатай хагас дамжуулагчийн хэрэглээнд маш чухал юм.
Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрт кварцын бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн давуу тал
Кварцын бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн дулааны тогтвортой байдлын шинж чанарууд нь хагас дамжуулагчийн салбарт хэд хэдэн давуу талыг санал болгодог.
Өндөр температурт найдвартай ажиллагаа: Кварцын бүрэлдэхүүн хэсгүүд нь хагас дамжуулагчийн процесст тохиолддог өндөр температурыг тэсвэрлэх чадвартай бөгөөд дулааны шаардлага өндөртэй орчинд ч тогтвортой, найдвартай ажиллагааг хангадаг. Энэхүү найдвартай байдал нь үйл явцын бүрэн бүтэн байдлыг хадгалах, тогтвортой үр дүнд хүрэхэд маш чухал юм.
Хэмжээний тогтвортой байдал: Кварцын дулааны тэлэлтийн бага коэффициент нь янз бүрийн температурын нөхцөлд ч бүрэлдэхүүн хэсгүүд хэлбэр, хэмжээсээ хадгалах боломжийг олгодог. Энэхүү тогтвортой байдал нь нарийн тохируулгад хүрэх, хатуу хүлцлийг хадгалах, хагас дамжуулагч төхөөрөмжүүдийн гүйцэтгэлийн хазайлтаас урьдчилан сэргийлэхэд амин чухал юм.
Хагас дамжуулагч материалтай нийцтэй байдал: Кварц нь цахиур, цахиурын карбид, галлийн нитрид гэх мэт төрөл бүрийн хагас дамжуулагч материалтай маш сайн нийцдэг. Түүний дулааны тогтвортой байдал нь кварцын бүрэлдэхүүн хэсгүүдийг хагас дамжуулагч төхөөрөмжид саадгүй нэгтгэх боломжийг олгодог бөгөөд энэ нь тэдгээрийн ерөнхий гүйцэтгэл, найдвартай байдалд хувь нэмэр оруулдаг.
Бохирдолд тэсвэртэй: Кварц нь химийн хувьд идэвхгүй бөгөөд хагас дамжуулагчийн үйл явцад ихэвчлэн тохиолддог реактив хий, химийн бодис болон бусад бодисын бохирдолд тэсвэртэй. Энэхүү эсэргүүцэл нь кварцын бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн гүйцэтгэл, ажиллагааг удаан хугацаанд хадгалж, байнга цэвэрлэх, засвар үйлчилгээ хийх хэрэгцээг бууруулдаг.
Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлд кварцын бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн хэрэглээ
Кварцын бүрэлдэхүүн хэсгүүд нь хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлд өргөн хэрэглэгддэг бөгөөд үүнд:
Вафель зөөгч ба завь: Кварц хавтан зөөгч ба завь нь химийн уурын хуримтлал (CVD) болон анивчих зэрэг янз бүрийн дулааны процесст ашиглагддаг. Тэдгээрийн дулааны тогтвортой байдал, бохирдол багатай шинж чанарууд нь хагас дамжуулагч хавтанг аюулгүйгээр харьцах, боловсруулах боломжийг хангаж, согогийн эрсдлийг бууруулдаг.
Зуухны хоолой ба доторлогоо: Кварцын зуухны хоолой ба доторлогоо нь исэлдэлт, тархалт, эпитакси зэрэг өндөр температурт үйл явцын үед дулаан тусгаарлалт, хамгаалалтыг хангадаг. Тэдний дулааны тогтвортой байдал нь температурыг нарийн хянах, дулааныг жигд хуваарилах боломжийг олгодог бөгөөд энэ нь хүссэн материалын шинж чанарыг олж авахад зайлшгүй шаардлагатай.
Кварц цонх ба харах цонх: Кварц цонх, харах цонхыг дулааны тогтвортой байдлыг хадгалахын зэрэгцээ оптик хандалтыг хангахын тулд тоног төхөөрөмж, камерт ашигладаг. Эдгээр бүрэлдэхүүн хэсгүүд нь хагас дамжуулагчийн процесс, тоног төхөөрөмжийг нүдээр шалгах, хянах, тохируулах боломжийг олгодог.
Кварц мэдрэгч ба термопар: Кварц дээр суурилсан мэдрэгч ба термопарыг хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлд температурыг хэмжих, хянахад ашигладаг. Тэдний дулааны тогтвортой байдал нь температурт мэдрэмтгий үйл явцын үнэн зөв, найдвартай хяналтыг баталгаажуулдаг.
Дүгнэлт
Кварцын бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн дулааны тогтвортой байдал нь хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлд чухал үүрэг гүйцэтгэдэг бөгөөд чухал төхөөрөмж, процессын найдвартай, үр ашигтай ажиллагааг хангадаг. Өндөр хайлах цэг, дулааны тэлэлтийн бага коэффициент, дулааны цохилтод тэсвэртэй, тусгаарлагч шинж чанараараа кварцын бүрэлдэхүүн хэсгүүд нь өндөр температур, температурын огцом өөрчлөлт, цахилгаан тусгаарлагчийн шаардлагыг тэсвэрлэдэг. Өндөр температурт найдвартай ажиллагаа, хэмжээст тогтвортой байдал, хагас дамжуулагч материалтай нийцэх чадвар, бохирдолд тэсвэртэй байдал зэрэг кварцын бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн давуу тал нь тэдгээрийг хагас дамжуулагчийн янз бүрийн хэрэглээнд зайлшгүй шаардлагатай болгодог. Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэл үргэлжлэн хөгжиж байгаа тул кварцын бүрэлдэхүүн хэсгүүд нь дулааны тогтвортой байдлыг хангах, хагас дамжуулагч төхөөрөмж, системийн урт наслалт, гүйцэтгэлийг хангах чухал шийдэл хэвээр байх болно.
Шуудангийн цаг: 2024 оны 4-р сарын 02-ны хооронд