Цахиурын карбид (SiC)өндөр хүчин чадал, өндөр давтамжийн электрон төхөөрөмжид өргөн хэрэглэгддэг чухал өргөн зурвасын хагас дамжуулагч материал юм. Дараах нь зарим үндсэн параметрүүд юмцахиурын карбид хавтанболон тэдгээрийн дэлгэрэнгүй тайлбар:
Торны параметрүүд:
Согог, стрессийг багасгахын тулд субстратын торны тогтмол нь ургах эпитаксиаль давхаргатай тохирч байгаа эсэхийг шалгаарай.
Жишээлбэл, 4H-SiC ба 6H-SiC нь өөр өөр торны тогтмолуудтай байдаг нь эпитаксиаль давхаргын чанар болон төхөөрөмжийн гүйцэтгэлд нөлөөлдөг.
Савлах дараалал:
SiC нь макро масштабаар 1:1 харьцаатай цахиурын атомууд болон нүүрстөрөгчийн атомуудаас бүрдэх боловч атомын давхаргын зохион байгуулалтын дараалал өөр бөгөөд энэ нь өөр өөр талст бүтцийг үүсгэдэг.
Нийтлэг талст хэлбэрт 3C-SiC (куб бүтэц), 4H-SiC (зургаан өнцөгт бүтэц), 6H-SiC (зургаан өнцөгт бүтэц) багтдаг бөгөөд харгалзах овоолгын дараалал нь: ABC, ABCB, ABCACB гэх мэт. Кристал хэлбэр бүр өөр өөр электрон хэлбэртэй байдаг. шинж чанар, физик шинж чанар, тиймээс болор хэлбэрийг зөв сонгох нь тодорхой хэрэглээнд маш чухал юм.
Mohs Hardness: Субстратын хатуулгийг тодорхойлдог бөгөөд энэ нь боловсруулахад хялбар, элэгдэлд тэсвэртэй байдалд нөлөөлдөг.
Цахиурын карбид нь маш өндөр Mohs хатуулагтай, ихэвчлэн 9-9.5 хооронд байдаг бөгөөд энэ нь элэгдэлд тэсвэртэй байх шаардлагатай програмуудад тохиромжтой маш хатуу материал болгодог.
Нягт: Субстратын механик бат бэх, дулааны шинж чанарт нөлөөлдөг.
Өндөр нягтрал нь ерөнхийдөө механик хүч чадал, дулаан дамжуулалтыг илүү сайн гэсэн үг юм.
Дулааны тэлэлтийн коэффициент: Температур Цельсийн нэг градусаар нэмэгдэхэд субстратын урт буюу эзэлхүүний анхны урттай харьцуулахад нэмэгдэхийг хэлнэ.
Температурын өөрчлөлтөд субстрат ба эпитаксиаль давхаргын хоорондох тохируулга нь төхөөрөмжийн дулааны тогтвортой байдалд нөлөөлдөг.
Хугарлын индекс: Оптик хэрэглээний хувьд хугарлын илтгэгч нь оптоэлектроник төхөөрөмжийн дизайны гол үзүүлэлт юм.
Хугарлын илтгэгчийн ялгаа нь материал дахь гэрлийн долгионы хурд, замд нөлөөлдөг.
Диэлектрик тогтмол: Төхөөрөмжийн багтаамжийн шинж чанарт нөлөөлдөг.
Бага диэлектрик тогтмол нь шимэгчийн багтаамжийг бууруулж, төхөөрөмжийн ажиллагааг сайжруулахад тусалдаг.
Дулаан дамжуулалт:
Төхөөрөмжийн хөргөлтийн үр ашигт нөлөөлдөг өндөр хүчин чадал, өндөр температурын хэрэглээнд чухал ач холбогдолтой.
Цахиурын карбидын дулаан дамжилтын өндөр чанар нь өндөр хүчин чадалтай электрон төхөөрөмжид тохиромжтой, учир нь энэ нь дулааныг төхөөрөмжөөс үр дүнтэй дамжуулж чаддаг.
Хамтлаг хоорондын зай:
Хагас дамжуулагч материалын валентын зурвасын дээд хэсэг ба дамжуулах зурвасын доод хэсгийн хоорондох энергийн зөрүүг хэлнэ.
Өргөн зайтай материалууд нь электрон шилжилтийг өдөөхөд илүү их энерги шаарддаг бөгөөд энэ нь цахиурын карбидыг өндөр температур, өндөр цацрагийн орчинд сайн гүйцэтгэдэг.
Эвдрэлийн цахилгаан талбар:
Хагас дамжуулагч материалын тэсвэрлэх хязгаарын хүчдэл.
Цахиурын карбид нь маш өндөр задралын цахилгаан оронтой бөгөөд энэ нь маш өндөр хүчдэлийг задрахгүйгээр тэсвэрлэх боломжийг олгодог.
Saturation Drift Velocity:
Хагас дамжуулагч материалд тодорхой цахилгаан талбарыг хэрэглэсний дараа тээвэрлэгчдийн хүрч чадах хамгийн дээд дундаж хурд.
Цахилгаан талбайн хүч тодорхой хэмжээнд нэмэгдэхэд цахилгаан орон улам бүр нэмэгдэх тусам зөөвөрлөгчийн хурд нэмэгдэхээ болино. Энэ үеийн хурдыг ханалтын шилжилтийн хурд гэж нэрлэдэг. SiC нь өндөр ханасан шилжилтийн хурдтай бөгөөд энэ нь өндөр хурдны электрон төхөөрөмжийг хэрэгжүүлэхэд ашигтай юм.
Эдгээр параметрүүд нь нийлээд гүйцэтгэл, хэрэглэх боломжийг тодорхойлдогSiC хавтанянз бүрийн хэрэглээнд, ялангуяа өндөр хүчин чадал, өндөр давтамж, өндөр температуртай орчинд.
Шуудангийн цаг: 2024 оны 7-р сарын 30-ны хооронд