SiC субстратыг боловсруулах үндсэн үе шатууд юу вэ?

Бид SiC субстратыг хэрхэн үйлдвэрлэх, боловсруулах үе шатууд дараах байдалтай байна.

1. Кристалын чиг баримжаа: Кристал ембүүг чиглүүлэхийн тулд рентген туяаны дифракцийг ашиглана. Рентген туяаг хүссэн талст нүүр рүү чиглүүлэх үед сарнисан цацрагийн өнцөг нь болорын чиглэлийг тодорхойлдог.

2. Гаднах диаметр нунтаглах: Бал чулуун тигелд ургасан дан талстууд нь ихэвчлэн стандарт диаметрээс хэтэрдэг. Гаднах диаметрийг нунтаглах нь тэдгээрийг стандарт хэмжээ болгон бууруулдаг.

 

3. Төгсгөлийн нүүр нунтаглах: 4 инчийн 4H-SiC субстрат нь ихэвчлэн үндсэн болон хоёрдогч байрлалын хоёр ирмэгтэй байдаг. Төгсгөлийн гадаргууг нунтаглах нь эдгээр байрлалын ирмэгийг нээдэг.

4. Утас хөрөөдөх: Утас хөрөөдөх нь 4H-SiC субстратыг боловсруулахад чухал алхам юм. Утас хөрөөдөх явцад үүссэн хагарал, гадаргуугийн гэмтэл нь дараагийн процессуудад сөргөөр нөлөөлж, боловсруулалтын хугацааг уртасгаж, материалын алдагдалд хүргэдэг. Хамгийн түгээмэл арга бол алмазан зүлгүүрээр олон утас хөрөөдөх явдал юм. Алмазан зүлгүүрээр холбосон металл утаснуудын харилцан эргэх хөдөлгөөнийг 4H-SiC ембүү зүсэхэд ашигладаг.

5. Хагалах: Дараачийн процессын явцад захын зүсэлтээс урьдчилан сэргийлэх, хэрэглээний материалын алдагдлыг багасгахын тулд утсан хөрөөдөж буй чипсийн хурц ирмэгийг заасан хэлбэрт оруулан зүснэ.

6. Нимгэнжүүлэх: Утас хөрөөдөх нь олон зураас болон гадаргуугийн доорх гэмтэл үүсгэдэг. Эдгээр согогийг аль болох арилгахын тулд сийрэгжүүлэх ажлыг алмаазан дугуй ашиглан хийдэг.

7. Нунтаглах: Энэ процесст сийрэгжүүлэх явцад үүссэн үлдэгдэл гэмтэл болон шинэ гэмтлийг арилгахын тулд жижиг хэмжээтэй борын карбид эсвэл алмааз зүлгүүр ашиглан барзгар нунтаглах, нарийн нунтаглах зэрэг орно.

8. Өнгөлгөө: Эцсийн шат нь хөнгөн цагааны исэл эсвэл цахиурын ислийн зүлгүүрийг ашиглан барзгар өнгөлгөө, нарийн өнгөлгөө юм. Өнгөлгөөний шингэн нь гадаргууг зөөлрүүлж, дараа нь зүлгүүрээр механик аргаар арилгадаг. Энэ алхам нь гөлгөр, гэмтэлгүй гадаргууг баталгаажуулдаг.

9. Цэвэрлэгээ: Боловсруулалтын үе шатанд үлдсэн тоосонцор, металл, исэлдлийн хальс, органик үлдэгдэл болон бусад бохирдуулагчийг зайлуулах.