Epi Carrier гэж юу вэ?

Эпитаксиаль вафель боловсруулахад түүний чухал үүргийг судлах

Дэвшилтэт хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлд Epi зөөвөрлөгчийн ач холбогдлыг ойлгох

Хагас дамжуулагчийн салбарт өндөр чанартай эпитаксиаль (epi) хавтан үйлдвэрлэх нь транзистор, диод болон бусад электрон эд анги зэрэг төхөөрөмжүүдийг үйлдвэрлэх чухал алхам юм. Энэ үйл явцын гол цөм ньepi тээвэрлэгч, epitaxial хуримтлалын үед өрмөнцөрийг найдвартай барих зориулалттай тусгай хэрэгсэл. Гэхдээ яг epi taşıyıcı гэж юу вэ, яагаад хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлд тийм чухал байдаг вэ?

Эпитаксиаль өсөлт: Хагас дамжуулагчийг үйлдвэрлэх гол үйл явц

Эпитаксийн өсөлт буюу эпитакси гэдэг нь талст материалын нимгэн давхаргыг хагас дамжуулагч хавтан дээр буулгах үйл явцыг хэлнэ. Эпитаксиаль давхарга гэж нэрлэгддэг энэ давхарга нь үндсэн субстраттай ижил талст чиг баримжаатай бөгөөд хавтанцарын цахилгаан шинж чанарыг сайжруулахад ашиглагддаг. Материалын бүтэц, бүтцийг нарийн хянах шаардлагатай өндөр хүчин чадалтай төхөөрөмжийг бий болгоход эпитакс зайлшгүй шаардлагатай.

Эпитаксиаль давхаргад хүссэн чанар, жигд байдалд хүрэхийн тулд вафель нь тунадасжуулах явцад нарийвчлалтай, тогтвортой байх ёстой. Энэ нь хаана байнаepi тээвэрлэгчтоглолтонд орж ирдэг.

Эпи тээвэрлэгчийн үүрэг

An epi тээвэрлэгчнь эпитаксиаль тунадасжилтын явцад вафель барьдаг тусгайлан бүтээгдсэн бэхэлгээ юм. Энэ нь ихэвчлэн өндөр температурт тэсвэртэй, эпитакситын урвалын орчинд тэсвэртэй, өндөр цэвэршилттэй материалаар хийгдсэн байдаг. Тээвэрлэгчийн загвар нь ялтсуудыг найдвартай байрлуулж, тунадас дахь материалд жигд өртөх боломжийг олгодог бөгөөд ингэснээр өрлөгийн гадаргууг бүхэлд нь жигд эпитаксиаль давхарга үүсгэдэг.

Эпи зөөвөрлөгчийн үндсэн үүргүүдийн нэг нь тунадасны процессын туршид вафельний тогтвортой байдал, тэгш байдлыг хадгалах явдал юм. Аливаа хөдөлгөөн, буруу байрлал нь эпитаксиаль давхаргад гэмтэл учруулж болзошгүй бөгөөд энэ нь эцсийн хагас дамжуулагч төхөөрөмжийн гүйцэтгэлд ихээхэн нөлөөлдөг. Тээвэрлэгч нь мөн бохирдлоос сэргийлж, вафель нь боловсруулах явцад тоосонцор, хольцгүй байх ёстой.

Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлд Epi Carriers яагаад зайлшгүй шаардлагатай вэ?

Эпитаксиаль давхаргын чанар нь хагас дамжуулагч төхөөрөмжийн гүйцэтгэлд шууд нөлөөлдөг. Иймээс энэ салбарт шаардлагатай өндөр стандартыг хангахад epi taşıyıcı үүрэг маш чухал юм. Өрөмтөг боловсруулах тогтвортой, хяналттай орчинг бүрдүүлснээр epitaxial давхарга нь жигд, согоггүй хуримтлагдахыг баталгаажуулдаг.

Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн цар хүрээг нэмэгдүүлэхэд Epi зөөвөрлөгчид бас чухал үүрэгтэй. Төхөөрөмжийн геометрийн хэмжээ багасаж, өндөр гүйцэтгэлийн эрэлт хэрэгцээ өсөхийн хэрээр нарийн, найдвартай эпитаксиаль процессын хэрэгцээ улам бүр чухал болж байна. Өндөр чанартай EP-ийн зөөвөрлөгч нь үйлдвэрлэлийн цар хүрээ нэмэгдэж байгаа ч тогтвортой, давтагдах боломжтой үр дүнг бий болгосноор үйлдвэрлэгчдэд эдгээр шаардлагыг хангахад тусалдаг.

Дүгнэлт

Дүгнэж хэлэхэд, эпи зөөгч нь хагас дамжуулагч үйлдвэрлэх процесст, ялангуяа эпитаксиаль хавтан үйлдвэрлэхэд зайлшгүй шаардлагатай хэрэгсэл юм. Дэвшилтэт хагас дамжуулагч төхөөрөмжүүдэд шаардлагатай өндөр чанарын эпитаксиаль давхаргыг бий болгохын тулд хавтангийн тогтвортой байдал, тэгш байдал, бохирдлын хяналтыг хангахад түүний үүрэг чухал юм. Салбар нь технологийн хил хязгаарыг давах тусам найдвартай, үр ашигтай epi зөөвөрлөгчийн ач холбогдол улам бүр нэмэгдэж, хагас дамжуулагч үйлдвэрлэхэд өндөр амжилт гаргахад чухал бүрэлдэхүүн хэсэг болж байна.

Хагас дамжуулагчийн салбарт ажиллаж байгаа хүмүүсийн хувьд эпитаксиаль процессоо оновчтой болгохыг эрмэлздэг хүмүүсийн хувьд өндөр чанартай epi taşıyıcıуудыг ойлгож, хөрөнгө оруулалт хийх нь илүү сайн үр дүнд хүрэх, зах зээлд өрсөлдөх давуу талыг хадгалах чухал алхам юм.