Epi Pan Carrier гэж юу вэ?

Хагас дамжуулагчийн үйлдвэр нь өндөр чанартай электрон төхөөрөмж үйлдвэрлэхэд өндөр мэргэшсэн тоног төхөөрөмжид тулгуурладаг. Эпитаксиаль өсөлтийн үйл явцын нэг чухал бүрэлдэхүүн хэсэг нь эпитасны зөөгч юм. Энэхүү төхөөрөмж нь хагас дамжуулагч хавтан дээр эпитаксиаль давхаргыг буулгахад чухал үүрэг гүйцэтгэдэг бөгөөд эцсийн бүтээгдэхүүний жигд байдал, чанарыг баталгаажуулдаг.

Эпитаксийн ургалтын процесст ашигладаг тусгай зориулалтын тавиур буюу эпитаксит савны зөөгч гэж нэрлэгддэг эпитаман зөөгч. Энэ нь эпитаксиаль давхаргыг хуримтлуулах үед хагас дамжуулагч хавтангуудыг барьж, дэмждэг. Эдгээр зөөвөрлөгчүүд нь эпитаксиаль үйл явцын ердийн өндөр температур, идэмхий орчинд тэсвэртэй байхаар бүтээгдсэн бөгөөд нэг талст давхаргын өсөлтийн тогтвортой платформыг бүрдүүлдэг.

Материал ба барилга байгууламж:

Эпи тогоо зөөгч нь ихэвчлэн хэт өндөр температурыг тэсвэрлэх чадвартай, химийн урвалд тэсвэртэй материалаар хийгдсэн байдаг. Нийтлэг материалууд нь:

•Цахиурын карбид (SiC): Өндөр дулаан дамжилтын чанар, элэгдэл болон исэлдэлтэнд тэсвэртэй гэдгээрээ алдартай SiC нь epi pan зөөгчүүдийн түгээмэл сонголт юм.

• Графит: Маш сайн дулааны шинж чанартай, өндөр температурт бүтцийн бүрэн бүтэн байдлыг хадгалах чадвартай тул ихэвчлэн ашигладаг. Графит зөөгчийг бат бөх чанар, зэврэлтэнд тэсвэртэй болгохын тулд ихэвчлэн SiC-ээр бүрсэн байдаг.

Эпитаксиаль өсөлтийн үйл явцад гүйцэтгэх үүрэг:

Эпитаксиаль өсөлтийн процесс нь субстрат эсвэл вафель дээр талст материалын нимгэн давхаргыг хуримтлуулах явдал юм. Энэ процесс нь нарийн цахилгаан шинж чанартай хагас дамжуулагч төхөөрөмжийг бий болгоход маш чухал юм. Эпи тогоо зөөгч нь урвалын камер дахь өрөмийг дэмжиж, тунадасжуулах явцад тогтвортой байдлыг хангана.

Эпи тогоо зөөгч гол үүрэг нь:

• Дулааны жигд хуваарилалт: Тээвэрлэгч нь вафельд дулааны жигд тархалтыг хангадаг бөгөөд энэ нь эпитаксиаль давхаргын зузаан, чанарыг тогтвортой байлгахад чухал үүрэгтэй.

• Химийн тусгаарлалт: Тогтвортой, идэвхгүй гадаргууг хангаснаар тээвэрлэгч нь эпитаксиаль давхаргын чанарыг доройтуулж болох хүсээгүй химийн урвалаас сэргийлдэг.

Өндөр чанарын ашиг тусEpi Pan зөөгч:

• Төхөөрөмжийн гүйцэтгэл сайжирсан: Нэг төрлийн эпитаксиаль давхаргууд нь хагас дамжуулагч төхөөрөмжүүдийн илүү сайн гүйцэтгэлд хувь нэмэр оруулж, илүү үр ашигтай, найдвартай байдлыг бий болгодог.

• Ургац нэмэгдэх: Согогийг багасгаж, давхаргын жигд тунадасжилтыг хангаснаар өндөр чанартай зөөгч нь ашиглах боломжтой хагас дамжуулагч хавтангийн гарцыг сайжруулдаг.

• Засвар үйлчилгээний зардлыг бууруулсан: Удаан эдэлгээтэй материал, нарийн инженерчлэл нь ойр ойрхон солих, засвар үйлчилгээ хийх хэрэгцээг бууруулж, үйлдвэрлэлийн нийт зардлыг бууруулдаг.

Хагас дамжуулагч төхөөрөмжүүдийн чанар, тогтвортой байдалд шууд нөлөөлдөг эпитаксиаль өсөлтийн үйл явцын чухал бүрэлдэхүүн хэсэг юм. Зөв материал, дизайныг сонгосноор үйлдвэрлэгчид эпитаксиаль процессыг оновчтой болгож, төхөөрөмжийн гүйцэтгэлийг сайжруулж, үйлдвэрлэлийн зардлыг бууруулахад хүргэдэг. Дэвшилтэт электрон төхөөрөмжүүдийн эрэлт хэрэгцээ өсөхийн хэрээр өндөр чанарын ач холбогдолepi pan зөөгчХагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэл нэмэгдсээр байна.