Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн салбартSiC сэлүүртЯлангуяа эпитаксиаль өсөлтийн үйл явцад чухал үүрэг гүйцэтгэдэг. Гол бүрэлдэхүүн хэсэг болгон ашигладагMOCVD(Металл органик химийн уурын хуримтлал) систем,SiC сэлүүртӨндөр температур, химийн хатуу ширүүн орчинд тэсвэртэй байхаар бүтээгдсэн тул тэдгээрийг дэвшилтэт үйлдвэрлэлд зайлшгүй шаардлагатай болгодог. Semicera-д бид өндөр гүйцэтгэлтэй бүтээгдэхүүн үйлдвэрлэх чиглэлээр мэргэшсэнSiC сэлүүртхоёуланд нь зориулагдсанЭпитаксиболонSiC эпитакси, онцгой бат бөх, дулааны тогтвортой байдлыг санал болгодог.
SiC сэлүүрийг ашиглах нь ялангуяа субстрат нь дулааны болон химийн нарийн нөхцөл шаарддаг эпитаксиаль өсөлт зэрэг процессуудад түгээмэл байдаг. Манай Semicera бүтээгдэхүүн нь шаардлагатай орчинд оновчтой гүйцэтгэлийг хангадагMOCVD мэдрэгч, өндөр чанартай цахиурын карбидын давхаргууд нь суурь дээр хуримтлагддаг. Энэ нь сайжруулахад хувь нэмэр оруулдагваферчанар, хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлд илүү өндөр төхөөрөмжийн үр ашиг.
Semicera-ийнSiC сэлүүртзөвхөн зориулагдаагүй болноЭпитаксигэхдээ бусад олон чухал хэрэглээнд зориулагдсан. Жишээлбэл, тэдгээр нь LED өрөм үйлдвэрлэхэд зайлшгүй шаардлагатай PSS Etching Carriers-тай нийцдэг.ICP сийлбэр зөөгч, ионы нарийн хяналт нь хэрчмийг хэлбэржүүлэхэд шаардлагатай. Эдгээр сэлүүр нь системүүдийн салшгүй хэсэг юмRTP тээвэрлэгчид(Шуурхай дулааны боловсруулалт), температурын хурдан шилжилт, өндөр дулаан дамжилтын хэрэгцээ хамгийн чухал байдаг.
Нэмж дурдахад SiC сэлүүр нь LED эпитаксиал мэдрэгч болж үйлчилж, өндөр үр ашигтай LED хавтангийн өсөлтийг хөнгөвчилдөг. Дулааны болон хүрээлэн буй орчны янз бүрийн стрессийг даван туулах чадвар нь тэдгээрийг хагас дамжуулагч үйлдвэрлэх янз бүрийн процессуудад маш уян хатан болгодог.
Ерөнхийдөө Semicera нь орчин үеийн хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн нарийн шаардлагад нийцсэн SiC сэлүүрийг хүргэхийг зорьж байна. SiC Epitaxy-аас MOCVD Susceptors хүртэл бидний шийдлүүд нь найдвартай, гүйцэтгэлийг сайжруулж, салбарын хамгийн сүүлийн үеийн эрэлт хэрэгцээг хангадаг.
Шуудангийн цаг: 2024 оны 9-р сарын 07