Түүнээс хойштигельсав болгон ашигладаг бөгөөд дотор нь конвекц байдаг, учир нь үүссэн дан болорын хэмжээ ихсэх тусам дулааны конвекц болон температурын градиентийн жигд байдлыг хянахад хэцүү болдог. Соронзон орон нэмснээр дамжуулагч хайлмал нь Лоренцын хүчээр үйлчилдэг тул конвекцийг удаашруулж эсвэл бүр устгаж, өндөр чанарын нэг талст цахиур гаргаж авах боломжтой.
Соронзон орны төрлөөс хамааран үүнийг хэвтээ соронзон орон, босоо соронзон орон, CUSP соронзон орон гэж хувааж болно.
Босоо соронзон орон нь бүтцийн шалтгааны улмаас үндсэн конвекцийг арилгаж чадахгүй бөгөөд ховор хэрэглэгддэг.
Хэвтээ соронзон орны соронзон орны бүрэлдэхүүн хэсгийн чиглэл нь гол дулааны конвекц ба тигель хананы хэсэгчилсэн албадан конвекцтэй перпендикуляр бөгөөд энэ нь хөдөлгөөнийг үр дүнтэй дарангуйлж, өсөлтийн интерфэйсийн тэгш байдлыг хадгалах, өсөлтийн зурвасыг багасгах боломжтой.
CUSP соронзон орон нь тэгш хэмийн улмаас хайлмал нь илүү жигд урсгалтай, дулаан дамжуулалттай байдаг тул босоо болон CUSP соронзон орны судалгааг зэрэгцүүлэн явуулж байна.
Хятадад Си-Аний Технологийн Их Сургууль өмнө нь соронзон орон ашиглан цахиурын дан талстыг гаргаж авах, болор татах туршилт хийжээ. Үүний гол бүтээгдэхүүн нь 6-8 инчийн алдартай төрөл бөгөөд нарны фотоволтайк эсийн цахиурын хавтанцарын зах зээлд чиглэгддэг. АНУ-ын KAYEX, Германы CGS зэрэг гадаадын орнуудад тэдгээрийн гол бүтээгдэхүүн нь 8-16 инч хэмжээтэй байдаг бөгөөд энэ нь хэт том хэмжээний интеграл хэлхээ, хагас дамжуулагчийн түвшинд нэг болор цахиурын саваа хийхэд тохиромжтой. Тэд том диаметртэй өндөр чанартай дан талстыг ургуулах соронзон орны салбарт монополь эрх мэдэлтэй бөгөөд хамгийн төлөөлөлтэй байдаг.
Нэг талст өсөлтийн системийн тигль талбай дахь соронзон орны тархалт нь соронзны хамгийн чухал хэсэг бөгөөд үүнд тигелийн ирмэг дэх соронзон орны хүч ба жигд байдал, тигелийн төв, тохирох шингэний гадаргуугийн доорх зай. Нийт хэвтээ ба жигд хөндлөн соронзон орон, хүчний соронзон шугамууд болор өсөлтийн тэнхлэгт перпендикуляр байна. Соронзон эффект болон Амперын хуулийн дагуу ороомог нь тигелийн ирмэгт хамгийн ойр, талбайн хүч нь хамгийн том байна. Зай нэмэгдэхийн хэрээр агаарын соронзон эсэргүүцэл нэмэгдэж, талбайн хүч аажмаар буурч, энэ нь төвд хамгийн бага байдаг.
Хэт дамжуулагч соронзон орны үүрэг
Дулааны конвекцийг дарангуйлах: Гадны соронзон орон байхгүй үед хайлсан цахиур нь халаах явцад байгалийн конвекц үүсгэдэг бөгөөд энэ нь хольцын жигд бус тархалт, талст гажиг үүсэхэд хүргэдэг. Гадны соронзон орон нь энэ конвекцийг дарж, хайлмал доторх температурын хуваарилалтыг жигд болгож, хольцын жигд бус тархалтыг бууруулдаг.
Кристал өсөлтийн хурдыг хянах: Соронзон орон нь талст өсөлтийн хурд, чиглэлд нөлөөлж болно. Соронзон орны хүч чадал, тархалтыг нарийн хянах замаар болор өсөлтийн процессыг оновчтой болгож, болорын бүрэн бүтэн байдал, жигд байдлыг сайжруулах боломжтой. Нэг талст цахиурын өсөлтийн үед хүчилтөрөгч нь хайлмал болон тигелийн харьцангуй хөдөлгөөнөөр голчлон цахиурын хайлмал руу ордог. Соронзон орон нь хайлмалын конвекцийг бууруулж, хүчилтөрөгчийн уусалтыг бууруулж цахиурын хайлмалтай хүчилтөрөгчтэй холбогдох боломжийг бууруулдаг. Зарим тохиолдолд гадаад соронзон орон нь хайлмал дахь термодинамик нөхцөлийг өөрчлөх боломжтой, тухайлбал, хайлмалын гадаргуугийн хурцадмал байдлыг өөрчлөх замаар хүчилтөрөгчийг дэгдэмхийлэхэд тусалж, улмаар хайлмал дахь хүчилтөрөгчийн агууламжийг бууруулдаг.
Хүчилтөрөгч болон бусад хольцын уусалтыг багасгах: Хүчилтөрөгч нь цахиурын талстуудын өсөлтөд тохиолддог нийтлэг хольцуудын нэг бөгөөд энэ нь болорын чанарыг муутгахад хүргэдэг. Соронзон орон нь хайлмал дахь хүчилтөрөгчийн агууламжийг бууруулж, улмаар болор дахь хүчилтөрөгчийн уусалтыг бууруулж, болорын цэвэр байдлыг сайжруулдаг.
Кристалын дотоод бүтцийг сайжруулах: Соронзон орон нь талст доторх гажиг бүтцэд, тухайлбал мултрал, ширхэгийн хил хязгаарт нөлөөлж болно. Эдгээр согогуудын тоог бууруулж, тэдгээрийн тархалтад нөлөөлснөөр болорын ерөнхий чанарыг сайжруулж болно.
Талстуудын цахилгаан шинж чанарыг сайжруулах: Соронзон орон нь талст өсөлтийн явцад бичил бүтцэд ихээхэн нөлөө үзүүлдэг тул өндөр хүчин чадалтай хагас дамжуулагч төхөөрөмж үйлдвэрлэхэд чухал үүрэг гүйцэтгэдэг талстуудын цахилгааны шинж чанар, тухайлбал эсэргүүцэл ба тээвэрлэгчийн ашиглалтын хугацааг сайжруулдаг.
Дэлхийн өнцөг булан бүрээс ирсэн үйлчлүүлэгчдийг бидэнтэй уулзаж ярилцахыг урьж байна!
https://www.semi-cera.com/
https://www.semi-cera.com/tac-coating-monocrystal-growth-parts/
https://www.semi-cera.com/cvd-coating/
Шуудангийн цаг: 2024 оны 7-р сарын 24-нд