Өнхрөх гэдэг нь цахиурын дан болор бариулын гадна диаметрийг алмаазан нунтаглагч дугуй ашиглан шаардлагатай диаметртэй нэг болор саваа болгон нунтаглах, нэг болор бариулын хавтгай ирмэгийн жишиг гадаргуу эсвэл байрлалын ховилыг нунтаглах үйл явцыг хэлнэ.
Нэг болор зууханд бэлтгэсэн дан болор савааны гаднах диаметр нь гөлгөр, тэгш бус, голч нь эцсийн хэрэглээнд ашигласан цахиурын хавтангийн диаметрээс том байна. Шаардлагатай саваа диаметрийг гаднах диаметрийг өнхрүүлэх замаар олж авч болно.
Гулсмал тээрэм нь цахиурын дан болор бариулын хавтгай ирмэгийн жишиг гадаргууг нунтаглах эсвэл байрлуулах ховилыг нунтаглах, өөрөөр хэлбэл шаардлагатай диаметр бүхий дан болор саваа дээр чиглэлийн туршилт хийх үүрэгтэй. Ижил гулсмал тээрмийн тоног төхөөрөмж дээр нэг болор бариулын хавтгай ирмэгийн лавлагаа гадаргуу буюу байрлалын ховилыг нунтаглана. Ерөнхийдөө 200 мм-ээс бага диаметртэй дан болор саваа нь хавтгай ирмэгийн лавлах гадаргууг, 200 мм ба түүнээс дээш диаметртэй дан болор саваа нь байрлал тогтоох ховилыг ашигладаг. 200 мм-ийн диаметртэй дан болор савааг шаардлагатай бол хавтгай ирмэгээр хийж болно. Нэг болор бариулын чиглэлийн лавлагааны гадаргуугийн зорилго нь нэгдсэн хэлхээний үйлдвэрлэлд технологийн тоног төхөөрөмжийн автоматжуулсан байршлын үйл ажиллагааны хэрэгцээг хангах явдал юм; үйлдвэрлэлийн удирдлагыг хөнгөвчлөхийн тулд цахиур хавтан гэх мэт болорын чиглэл, дамжуулалтын төрлийг зааж өгөх; үндсэн байрлалын ирмэг буюу байрлалын ховил нь <110> чиглэлтэй перпендикуляр байна. Чипний савлагааны явцад шоо дөрвөлжин зүсэх процесс нь вафельний байгалийн хуваагдлыг үүсгэж болох ба байрлалыг тогтоох нь хэлтэрхий үүсэхээс сэргийлдэг.
Бөөрөнхийлэх үйл явцын үндсэн зорилгод: Гадаргуугийн чанарыг сайжруулах: Бөөрөнхийлөлт нь цахиурын хавтанцарын гадаргуу дээрх хагархай, тэгш бус байдлыг арилгаж, цахиур хавтангийн гадаргуугийн тэгш байдлыг сайжруулдаг бөгөөд энэ нь дараагийн фотолитографи болон сийлбэрийн процессуудад маш чухал юм. Стрессийг бууруулах: Цахиурын хавтангуудыг огтлох, боловсруулах явцад стресс үүсч болно. Бөөрөнхийлөлт нь эдгээр стрессийг арилгахад тусалж, дараагийн процессуудад цахиур ялтсуудыг хагарахаас сэргийлнэ. Цахиур хавтанцарын механик бат бөх чанарыг сайжруулах: Бөөрөнхийлөлт хийх явцад цахиурын ирмэг нь жигдрэх бөгөөд энэ нь цахиур хавтангийн механик бат бөх чанарыг сайжруулж, тээвэрлэх, ашиглах явцад эвдрэлийг багасгахад тусалдаг. Хэмжээний нарийвчлалыг хангах: Бөөрөнхийлсөнөөр цахиур хавтангийн хэмжээсийн нарийвчлалыг хангах боломжтой бөгөөд энэ нь хагас дамжуулагч төхөөрөмж үйлдвэрлэхэд чухал ач холбогдолтой юм. Цахиур хавтангийн цахилгаан шинж чанарыг сайжруулах: Цахиурын ирмэгийн боловсруулалт нь тэдгээрийн цахилгаан шинж чанарт чухал нөлөө үзүүлдэг. Бөөрөнхийлсөнөөр цахиур ялтсуудын цахилгаан шинж чанарыг сайжруулж, алдагдлыг бууруулах боломжтой. Гоо сайхны шинж чанар: Цахиур хавтангийн ирмэг нь бөөрөнхийлсний дараа илүү гөлгөр, илүү үзэсгэлэнтэй байдаг бөгөөд энэ нь хэрэглээний зарим хувилбаруудад шаардлагатай байдаг.
Шуудангийн цаг: 2024 оны 7-р сарын 30-ны хооронд