PART/1CVD (Химийн уурын хуримтлал) арга: 900-2300℃ температурт TaCl5 ба CnHm-ийг тантал болон нүүрстөрөгчийн эх үүсвэр болгон, H₂-г багасгагч агаар мандал болгон, Ar₂as зөөвөрлөгч хий, урвалын хуримтлалын хальс болгон ашиглана. Бэлтгэсэн бүрхүүл нь авсаархан, жигд, өндөр цэвэршилттэй байдаг. Гэсэн хэдий ч зарим нэг асуудал байна ...
Дэлгэрэнгүй уншина уу