Өргөст ялтсан зөөгчний танилцуулга
БҮТЭЭГДЭХҮҮНИЙ АНГИЛАЛ
▶PECVD & TALOX процесст зориулсан вафер зөөгч систем
• PECVD & TALOX бал чулуун завь (M4~M12)
• Босоо SM-завь (M4, M6)
• Суулгац ба шүршүүрийн графит хэсэг (M4~M6)
• C/C тавиур ба керамик бүрээс
• Металл RIE-Tray & Керамик бүрээс
• Вакуум битүүмжлэх: O-Ring & SQ-Ring
▶Текстур ба нойтон сийлбэр дамжуулах процесс
• LSC H-Carrier буюу кассет (M4~M12)
• LSC V-Carrier буюу кассет (M4~M12)
• ASC зөөгч эсвэл кассет (M4, M6)
• W/F зөөгч ба хадгалах хайрцаг (M4~M12)
• Тээврийн дугуй (роллер) цуврал
▶Нарны зайн зөөгч ба металл зөөгч
• TRC тээвэрлэгч эсвэл кассет (M4~M12)
• Сэтгүүл (BELT-тэй)
ГРАФИТ ЗАВЬ (H-Type)
19P6-216CT (WF M4~M12)
ГРАФИТ ЗАВЬ (H-Type)
21P6-240CT WF M4~M12)
ГРАФИТ ЗАВЬ (H-Type)
23P7-308CT(W/F M4~M12)
ГРАФИТ ЗАВЬ (H-Type)
22P/7-294TP (W/F M4~M12)
ГРАФИТ ЗАВЬ (H-Type)
W182-22P7-294CT (W/F M12)
W182-21P6-240CT (W/F M12)
WF зөөгч ба хадгалах хайрцаг (~M12)
C/C TRAY эсвэл CARRIER (M4~M10)
C/C TRAY эсвэл CARRIER (M4~M10)
БОСОО ЗАВЬ (SM) M6
LSC-H-CARRIER(~M12)
LSC-V-CARRIER(~M12)
ASC CARRIER (~M6)
TRC CARRIER(~M12)
TRC CARRIER(~M12)
ГРАФИТ-ЗАВЬ(M12)
PECVD процесст зориулсан вафель зөөгч систем
▶ ГРАФИТ ЗАВЬ (CT-Designed) M10/M12 Процесс
• ТУСГАЙ ЗОХИОН БАЙГУУЛАЛТЫН ҮЗЭЛ
▶ ГРАФИТ ЗАВЬ (CT-Designed) M4/M6 Процесс
▶ ЗАВИГЫН дагалдах эд анги
▶ БОСОО ЗАВЬ-161.7мм ӨРӨС
▶ БОСОО ЗАВЬ-166мм ӨРӨӨС
▶ БОСОО ЗАВЬ-161.7мм, 166мм Өрөөвч
Нарны зайн зөөгч ба металл TRC тээвэрлэгч
ТӨРӨЛ: Автоматжуулалт
Өргөвчний хэмжээ: ① 156×156MM ② 156.75×156.75MM
③161.7x161.7MM ④166x166MM
⑤ 180×180мм ⑥ 210×210мм
ХЭРЭГЛЭЭ: Зөөвөрлөх (Хуурцаг)
ХҮЧИН: 100 хуудас
PITCH: 4.76мм/5.953мм/6.35мм
Хэмжээ: Ойролцоогоор 559 × 220 × 220 мм
Ойролцоогоор 712 × 260 × 260 мм
ДАВУУ ТАЛ: Уур амьсгал
МАТЕРИАЛ: ДӨЛ,ХАЖУУДАА-Хөнгөн цагаан (аноджуулах)
Хажуугийн таваг (Антистатик)
Доод баарны бүрээс-EPDM/PU/VITON (ASE)
TRC-METAL CARRIER (U'SER LINE)
TRC-METAL CARRIER (U'SER LINE)
TRC-METAL CARRIER (U'SER LINE)
ШҮРҮҮРИЙН ТАВАН & Суулгац, ТЭЭВЭР
