Хагассанал болгож байгаадаа таатай байнаPFA кассет, химийн эсэргүүцэл, бат бөх чанар хамгийн чухал байдаг орчинд өрмөнцөртэй харьцах дээд зэргийн сонголт. Өндөр цэвэршилттэй Perfluoroalkoxy (PFA) материалаар урласан энэхүү кассет нь хагас дамжуулагчийг үйлдвэрлэхэд хамгийн хүнд нөхцөлд тэсвэртэй байхаар бүтээгдсэн бөгөөд таны өргүүрийн аюулгүй байдал, бүрэн бүтэн байдлыг хангана.
Химийн эсрэг тэсрэг байдалThePFA кассетЭнэ нь олон төрлийн химийн бодисуудад дээд зэргийн тэсвэртэй байхаар бүтээгдсэн бөгөөд түрэмгий хүчил, уусгагч болон бусад хатуу химийн бодисуудтай холбоотой процессуудад төгс сонголт болгодог. Энэхүү бат бөх химийн эсэргүүцэл нь кассетыг хамгийн идэмхий орчинд ч бүрэн бүтэн, ажиллагаатай хэвээр байлгаж, ашиглалтын хугацааг уртасгаж, ойр ойрхон солих хэрэгцээг бууруулдаг.
Өндөр цэвэршилттэй барилгаSemicera-ийнPFA кассетХэт цэвэр PFA материалаар үйлдвэрлэсэн бөгөөд энэ нь вафель боловсруулах явцад бохирдохоос урьдчилан сэргийлэхэд чухал үүрэгтэй. Энэхүү өндөр цэвэршилттэй бүтэц нь тоосонцор үүсэх, химийн уусгах эрсдлийг бууруулж, таны өргүүрийг чанарыг нь алдагдуулж болзошгүй хольцоос хамгаална.
Бат бөх чанар, гүйцэтгэлийг сайжруулсанЭдэлгээ даах зориулалттай,PFA кассетхэт өндөр температур, нарийн боловсруулалтын нөхцөлд бүтцийн бүрэн бүтэн байдлыг хадгалж байдаг. Өндөр температурт өртсөн ч бай, олон удаа харьцсан ч бай, энэ кассет хэлбэр, гүйцэтгэлээ хадгалж, үйлдвэрлэлийн хүнд нөхцөлд урт хугацааны найдвартай байдлыг хангадаг.
Аюулгүй харьцах нарийн инженерчлэлTheSemicera PFA кассетӨргөст ялтсан хавтанг найдвартай, тогтвортой харьцахыг баталгаажуулдаг нарийн инженерчлэлтэй. Слот бүрийг эвдрэлд хүргэж болзошгүй аливаа хөдөлгөөн, шилжилтээс сэргийлж, өрөмийг найдвартай бэхлэхийн тулд болгоомжтой зохион бүтээсэн. Энэхүү нарийн инженерчлэл нь валютыг тууштай, үнэн зөв байрлуулахыг дэмжиж, үйл явцын ерөнхий үр ашгийг дээшлүүлэхэд хувь нэмэр оруулдаг.
Процесс даяар олон талын хэрэглээМатериалын дээд зэргийн шинж чанаруудын ачаарPFA кассетХагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн янз бүрийн үе шатанд ашиглахад хангалттай олон талт юм. Энэ нь ялангуяа нойтон сийлбэр, химийн уурын хуримтлал (CVD) болон химийн хатуу орчинтой холбоотой бусад процессуудад маш тохиромжтой. Түүний дасан зохицох чадвар нь түүнийг процессын бүрэн бүтэн байдал, валютын чанарыг хадгалахад чухал хэрэгсэл болгодог.
Чанар, инновацийн төлөөх амлалтSemicera-д бид салбарын хамгийн өндөр стандартад нийцсэн бүтээгдэхүүнээр хангах үүрэгтэй. ThePFA кассетЭнэхүү амлалтыг үлгэрлэн харуулж, таны үйлдвэрлэлийн процесст бүрэн нийцэх найдвартай шийдлийг санал болгож байна. Кассет бүр нь бидний гүйцэтгэлийн нарийн шалгуурт нийцэж байгаа эсэхийг баталгаажуулахын тулд чанарын хатуу хяналтанд хамрагдаж, Semicera-аас таны хүлээж буй шилдэг чанарыг хангадаг.
| Эд зүйлс | Үйлдвэрлэл | Судалгаа | Дамми |
| Кристал параметрүүд | |||
| Политип | 4H | ||
| Гадаргуугийн чиглэлийн алдаа | <11-20 >4±0.15° | ||
| Цахилгааны параметрүүд | |||
| Допант | n төрлийн азот | ||
| Эсэргүүцэл | 0.015-0.025 ом·см | ||
| Механик параметрүүд | |||
| Диаметр | 150.0±0.2мм | ||
| Зузаан | 350±25 мкм | ||
| Үндсэн хавтгай чиг баримжаа | [1-100]±5° | ||
| Үндсэн хавтгай урт | 47.5±1.5мм | ||
| Хоёрдогч байр | Байхгүй | ||
| TTV | ≤5 мкм | ≤10 мкм | ≤15 мкм |
| LTV | ≤3 мкм(5мм*5мм) | ≤5 мкм(5мм*5мм) | ≤10 мкм(5мм*5мм) |
| Нум | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Муухай | ≤35 мкм | ≤45 мкм | ≤55 мкм |
| Урд талын барзгар байдал (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Бүтэц | |||
| Микро хоолойн нягтрал | <1 э/см2 | <10 эа/см2 | <15 эа/см2 |
| Металлын хольц | ≤5E10атом/см2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/см2 | ≤3000 ea/см2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/см2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Урд чанар | |||
| Урд | Si | ||
| Гадаргуугийн өнгөлгөө | Si-face CMP | ||
| Бөөмүүд | ≤60ea/waf (хэмжээ≥0.3μm) | NA | |
| Зураас | ≤5ea/мм. Хуримтлагдсан урт ≤Диаметр | Хуримтлагдсан урт≤2*Диаметр | NA |
| Жүржийн хальс/цоорхой/толбо/суралт/ хагарал/бохирдол | Байхгүй | NA | |
| Ирмэгийн чипс / догол / хугарал / зургаан өнцөгт хавтан | Байхгүй | ||
| Политип талбайнууд | Байхгүй | Хуримтлагдсан талбай≤20% | Хуримтлагдсан талбай≤30% |
| Урд талын лазер тэмдэглэгээ | Байхгүй | ||
| Буцах чанар | |||
| Арын төгсгөл | C-нүүртэй CMP | ||
| Зураас | ≤5ea/мм,Хуримт урт≤2*Диаметр | NA | |
| Арын гажиг (захын чипс/догол) | Байхгүй | ||
| Нурууны барзгар байдал | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Буцах лазер тэмдэглэгээ | 1 мм (дээд ирмэгээс) | ||
| Ирмэг | |||
| Ирмэг | Хагархай | ||
| Сав баглаа боодол | |||
| Сав баглаа боодол | Вакуум савлагаатай эпи-бэлэн Олон талт цаасны сав баглаа боодол | ||
| *Тэмдэглэл: "NA" гэдэг нь хүсэлт байхгүй гэсэн үг Дудаагүй зүйл нь ХАГАС БЗДХ-тай холбоотой байж болно. | |||
