A кварцчипс боловсруулахад ашигладаг шилэн зөөгч . Босоо болон хэвтээ төрөл, түүнчлэн жижиг диаметртэйкварцтавиур болон нарны зайн тусгай зөөгч. Нэмж дурдахад засвар, цэвэрлэгээ, өөрчлөлтийн үйлчилгээ үзүүлдэг.
Тархалт, исэлдүүлэх, хальслах (CVD) процессуудад ашигладаг.
Босоо болон хэвтээ автомат дамжуулалтын төрлүүд.
Мэргэжлийнкварцын завь8 инчийн болон 12 инчийн гарын авлагын болон автомат тэгшилгээтэй өргүүртэй завиар хангадаг бөгөөд үүнийг хэрэглэгчийн хэрэгцээнд нийцүүлэн өөрчлөх боломжтой.
Тархалт, исэлдэлт, ЗСӨ-ийн процесст ашигладаг
Мөн босоо болон хэвтээ автомат тээвэрт ашиглаж болно
Цэвэрлэх, өөрчлөх, засвар үйлчилгээ үзүүлэх