Хагас-ийг танилцуулж байнаХагас дамжуулагч кассет, хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн явцад вафельтай найдвартай, үр дүнтэй харьцах чухал хэрэгсэл юм. Өндөр нарийвчлалтайгаар бүтээгдсэн энэхүү кассет нь таны өргүүрийг найдвартай хадгалж, тээвэрлэж, үе шат бүрт бүрэн бүтэн байдлыг нь хангана.
Дээд зэргийн хамгаалалт ба бат бөх чанарTheХагас дамжуулагч кассетSemicera-аас таны өргүүрийг дээд зэргээр хамгаалах зорилгоор бүтээгдсэн. Бат бөх, бохирдолд тэсвэртэй материалаар бүтээгдсэн бөгөөд энэ нь таны өргүүрийг болзошгүй гэмтэл, бохирдлоос хамгаалж, цэвэр өрөөнд тохиромжтой сонголт болгодог. Кассетны загвар нь тоосонцор үүсэхийг багасгаж, зөөвөрлөх, зөөвөрлөх явцад ялтсуудыг хөндөгдөөгүй, найдвартай байлгах боломжийг олгодог.
Хамгийн оновчтой гүйцэтгэлд зориулсан сайжруулсан дизайнSemicera-ийнХагас дамжуулагч кассетнарийн ширхэгтэй инженерийн хийцтэй бөгөөд хавтангийн нарийн тэгш байдлыг хангаж, буруу тохируулга, механик гэмтлийн эрсдлийг бууруулдаг. Кассетны үүрүүд нь ялтс бүрийг найдвартай барьж, зураас болон бусад согог үүсэхээс сэргийлж төгс зайтай байдаг.
Олон талт байдал, нийцтэй байдалTheХагас дамжуулагч кассетЭнэ нь олон талт бөгөөд янз бүрийн хэмжээтэй вафельтай нийцдэг тул хагас дамжуулагч үйлдвэрлэх янз бүрийн үе шатанд тохиромжтой. Та стандарт эсвэл захиалгат вафель хэмжээсээр ажиллаж байгаа эсэхээс үл хамааран энэхүү кассет нь таны хэрэгцээнд нийцэж, үйлдвэрлэлийн процесст уян хатан байдлыг санал болгодог.
Хялбаршуулсан зохицуулалт ба үр ашигХэрэглэгчийг бодолцон бүтээсэнSemicera Хагас дамжуулагч кассетхөнгөн жинтэй, ажиллахад хялбар тул ачих, буулгах ажлыг хурдан бөгөөд үр дүнтэй хийх боломжтой. Энэхүү эргономик загвар нь цаг хугацаа хэмнээд зогсохгүй хүний алдаанаас гарах эрсдлийг бууруулж, танай байгууламж доторх үйл ажиллагааг жигдрүүлнэ.
Аж үйлдвэрийн стандартад нийцсэнSemicera нь баталгаажуулдагХагас дамжуулагч кассетчанар, найдвартай байдлын салбарын хамгийн өндөр стандартыг хангасан. Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн хүнд нөхцөлд тогтвортой ажиллахын тулд кассет бүр нарийн шалгалтанд хамрагддаг. Чанарыг эрхэмлэх нь таны өрмөнцөрийг үргэлж хамгаалж, салбартаа шаардлагатай өндөр стандартыг хангадаг.
| Эд зүйлс | Үйлдвэрлэл | Судалгаа | Дамми |
| Кристал параметрүүд | |||
| Политип | 4H | ||
| Гадаргуугийн чиглэлийн алдаа | <11-20 >4±0.15° | ||
| Цахилгааны параметрүүд | |||
| Допант | n төрлийн азот | ||
| Эсэргүүцэл | 0.015-0.025 ом·см | ||
| Механик параметрүүд | |||
| Диаметр | 150.0±0.2мм | ||
| Зузаан | 350±25 мкм | ||
| Үндсэн хавтгай чиг баримжаа | [1-100]±5° | ||
| Үндсэн хавтгай урт | 47.5±1.5мм | ||
| Хоёрдогч байр | Байхгүй | ||
| TTV | ≤5 мкм | ≤10 мкм | ≤15 мкм |
| LTV | ≤3 мкм(5мм*5мм) | ≤5 мкм(5мм*5мм) | ≤10 мкм(5мм*5мм) |
| Нум | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Муухай | ≤35 мкм | ≤45 мкм | ≤55 мкм |
| Урд талын барзгар байдал (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Бүтэц | |||
| Микро хоолойн нягтрал | <1 э/см2 | <10 эа/см2 | <15 эа/см2 |
| Металлын хольц | ≤5E10атом/см2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/см2 | ≤3000 ea/см2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Урд чанар | |||
| Урд | Si | ||
| Гадаргуугийн өнгөлгөө | Si-face CMP | ||
| Бөөмүүд | ≤60ea/waf (хэмжээ≥0.3μm) | NA | |
| Зураас | ≤5ea/мм. Хуримтлагдсан урт ≤Диаметр | Хуримтлагдсан урт≤2*Диаметр | NA |
| Жүржийн хальс/цорхой/толбо/суралт/ хагарал/бохирдол | Байхгүй | NA | |
| Ирмэгийн чипс / догол / хугарал / зургаан өнцөгт хавтан | Байхгүй | ||
| Политип талбайнууд | Байхгүй | Хуримтлагдсан талбай≤20% | Хуримтлагдсан талбай≤30% |
| Урд талын лазер тэмдэглэгээ | Байхгүй | ||
| Буцах чанар | |||
| Арын төгсгөл | C-нүүртэй CMP | ||
| Зураас | ≤5ea/мм,Хуримт урт≤2*Диаметр | NA | |
| Арын гажиг (захын чипс/догол) | Байхгүй | ||
| Нурууны барзгар байдал | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Буцах лазер тэмдэглэгээ | 1 мм (дээд ирмэгээс) | ||
| Ирмэг | |||
| Ирмэг | Хагархай | ||
| Сав баглаа боодол | |||
| Сав баглаа боодол | Вакуум савлагаатай эпи-бэлэн Олон талт цаасны сав баглаа боодол | ||
| *Тэмдэглэл: "NA" гэдэг нь хүсэлт байхгүй гэсэн үг Дудаагүй зүйл нь ХАГАС БЗДХ-тай холбоотой байж болно. | |||
