Тодорхойлолт
Хэрэглэхдээ бид маш ойрхон хүлцэл баримталдагSiC бүрэх, нэг төрлийн мэдрэгчтэй байдлыг хангахын тулд өндөр нарийвчлалтай боловсруулалтыг ашиглан. Мөн бид индуктив халаалттай системд ашиглахад тохиромжтой цахилгаан эсэргүүцлийн шинж чанартай материалыг үйлдвэрлэдэг. Бүх бэлэн бүрэлдэхүүн хэсгүүд нь цэвэршилт, хэмжээст нийцлийн гэрчилгээтэй ирдэг.
Манай компани хангадагSiC бүрэхбал чулуу, керамик болон бусад материалын гадаргуу дээр CVD аргаар боловсруулалт хийж, нүүрстөрөгч, цахиур агуулсан тусгай хий нь өндөр температурт урвалд орж, бүрсэн материалын гадаргуу дээр хуримтлагдсан өндөр цэвэршилттэй SiC молекул, молекулуудыг гаргаж, SIC хамгаалалтын давхарга үүсгэдэг. Үүссэн SIC нь бал чулууны суурьтай нягт холбогдож, бал чулууны суурьт онцгой шинж чанарыг өгдөг тул бал чулууны гадаргууг нягт, нүхжилтгүй, өндөр температурт тэсвэртэй, зэврэлт, исэлдэлтэнд тэсвэртэй болгодог.
CVD процесс нь маш өндөр цэвэршилт, онолын нягтралыг өгдөгSiC бүрэхсүвэрхэг чанаргүй. Цахиурын карбид нь маш хатуу тул толин тусгал мэт өнгөлж болно.CVD цахиурын карбид (SiC) бүрэхХэт өндөр цэвэршилттэй гадаргуу, хэт элэгдэлд тэсвэртэй байдал зэрэг хэд хэдэн давуу талыг бий болгосон. Бүрсэн бүтээгдэхүүн нь өндөр вакуум, өндөр температурт сайн гүйцэтгэлтэй байдаг тул хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэл болон бусад хэт цэвэр орчинд хэрэглэхэд тохиромжтой. Мөн бид пиролит бал чулуу (PG) бүтээгдэхүүнээр хангадаг.
Үндсэн шинж чанарууд
1. Өндөр температурт исэлдэлтийн эсэргүүцэл:
1600 С хүртэл өндөр температурт исэлдэлтийн эсэргүүцэл маш сайн хэвээр байна.
2. Өндөр цэвэршилт: өндөр температурт хлоржуулах нөхцөлд химийн уурын хуримтлалаар хийгдсэн.
3. Элэгдлийн эсэргүүцэл: өндөр хатуулаг, нягт гадаргуу, нарийн ширхэгтэй тоосонцор.
4. Зэврэлтэнд тэсвэртэй: хүчил, шүлт, давс, органик урвалж.
CVD-SIC бүрхүүлийн үндсэн үзүүлэлтүүд
SiC-CVD | ||
Нягт | (г/cc) | 3.21 |
Гулзайлтын хүч | (Мпа) | 470 |
Дулааны тэлэлт | (10-6/К) | 4 |
Дулаан дамжилтын илтгэлцүүр | (Вт/мК) | 300 |
Өргөдөл
CVD цахиурын карбидын бүрээсийг MOCVD тавиур, RTP, оксид сийлбэрлэх камер зэрэг хагас дамжуулагчийн үйлдвэрүүдэд аль хэдийн хэрэглэж ирсэн, учир нь цахиурын нитрид нь дулааны цочролыг маш сайн тэсвэрлэдэг бөгөөд өндөр энергийн плазмыг тэсвэрлэдэг.
-Цахиурын карбидыг хагас дамжуулагч болон өнгөлгөөнд өргөн ашигладаг.
Өргөдөл
Нийлүүлэлтийн чадвар:
Сард 10000 ширхэг
Сав баглаа боодол, хүргэлт:
Сав баглаа боодол: Стандарт ба хүчтэй савлагаа
Полиэт уут + Хайрцаг + Картон + Палет
Порт:
Нинбо/Шэньжэн/Шанхай
Хүргэлтийн хугацаа:
Тоо хэмжээ(ширхэг) | 1-1000 | >1000 |
Тооцоолол. Цаг (өдөр) | 30 | Хэлэлцэх ёстой |