SiC бүрэх графит өргүүрийн соруулагч

SiC бүрэх графит вафель соруулагч Онцлох зураг

Богино тайлбар:

Semicera Semiconductor-ийн SiC бүрээстэй графит вафель шүүрэгч нь өрмөнцөр боловсруулахад дээд зэргийн дулааны гүйцэтгэл, бат бөх чанарыг өгдөг. Хагас дамжуулагчийн хэрэглээний үр ашиг, найдвартай байдлыг сайжруулахад зориулагдсан дэвшилтэт SiC бүрсэн мэдрэгчийг Semicera-д найдаж болно.

Бидэн рүү имэйл илгээнэ үү

Бүтээгдэхүүний дэлгэрэнгүй

Бүтээгдэхүүний шошго

Тодорхойлолт

Semicorex-ийн MOCVD (метал-органик химийн уурын хуримтлал)-д зориулсан SiC ваферийн соруулагчийг эпитаксиаль хуримтлуулах үйл явцын нарийн шаардлагад нийцүүлэн зохион бүтээсэн. Өндөр чанартай цахиурын карбидыг (SiC) ашиглан эдгээр мэдрэгчүүд нь өндөр температур, идэмхий орчинд хосгүй бат бөх, гүйцэтгэлийг санал болгож, хагас дамжуулагч материалын нарийн бөгөөд үр ашигтай өсөлтийг баталгаажуулдаг.

Гол онцлогууд:

1. Материалын дээд зэргийн шинж чанарӨндөр зэрэглэлийн SiC-ээр бүтээгдсэн манай өрөмт цаасны мэдрэгч нь онцгой дулаан дамжуулалт ба химийн эсэргүүцэлтэй байдаг. Эдгээр шинж чанарууд нь өндөр температур, идэмхий хий зэрэг MOCVD үйл явцын эрс тэс нөхцөлийг тэсвэрлэх боломжийг олгодог бөгөөд урт наслалт, найдвартай ажиллагааг хангадаг.

2. Эпитаксиаль хуримтлал дахь нарийвчлалМанай SiC Wafer Susceptors-ийн нарийн инженерчлэл нь хавтанцар гадаргуу дээр жигд температурын хуваарилалтыг хангаж, эпитаксиаль давхаргын тогтвортой, өндөр чанартай өсөлтийг хөнгөвчилдөг. Энэ нарийвчлал нь оновчтой цахилгаан шинж чанартай хагас дамжуулагчийг үйлдвэрлэхэд маш чухал юм.

3. Бат бөх чанарыг сайжруулсанБат бөх SiC материал нь хатуу ширүүн үйл явцын орчинд тасралтгүй өртсөн ч элэгдэл, доройтлыг маш сайн эсэргүүцдэг. Энэхүү бат бөх чанар нь мэдрэгчийг солих давтамжийг бууруулж, сул зогсолт, ашиглалтын зардлыг бууруулдаг.