SemiceraSiC Cantilever Wafer Paddleорчин үеийн хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн эрэлт хэрэгцээг хангах зорилготой юм. Энэвафель сэлүүрнь маш сайн механик хүч чадал, дулааны эсэргүүцлийг санал болгодог бөгөөд энэ нь өндөр температурт өрөмтэй ажиллахад чухал үүрэг гүйцэтгэдэг.
SiC консолын загвар нь хавтанцарыг нарийн байрлуулах боломжийг олгож, харьцах явцад гэмтэх эрсдлийг бууруулдаг. Түүний өндөр дулаан дамжилтын чанар нь үйлдвэрлэлийн үр ашгийг хадгалахад чухал үүрэг гүйцэтгэдэг эрс тэс нөхцөлд ч хавтан нь тогтвортой байх болно.
Бүтцийн давуу талуудаас гадна Semicera-ийнSiC Cantilever Wafer Paddleжин ба эдэлгээний хувьд ч давуу талтай. Хөнгөн хийц нь одоо байгаа системд ажиллах, нэгтгэхэд хялбар болгодог бол өндөр нягтралтай SiC материал нь хүнд хэцүү нөхцөлд удаан эдэлгээтэй байдлыг баталгаажуулдаг.
| Дахин талстжуулсан цахиурын карбидын физик шинж чанар | |
| Өмч | Ердийн үнэ цэнэ |
| Ажлын температур (°C) | 1600°C (хүчилтөрөгчтэй), 1700°C (багасгагч орчин) |
| SiC агуулга | > 99.96% |
| Үнэгүй Si контент | < 0.1% |
| Бөөн нягтрал | 2.60-2.70 г/см3 |
| Илэрхий сүвэрхэг байдал | < 16% |
| Шахалтын хүч | > 600 МПа |
| Хүйтэн гулзайлтын хүч | 80-90 МПа (20°C) |
| Халуун гулзайлтын хүч | 90-100 МПа (1400 ° C) |
| 1500°C-ийн дулааны тэлэлт | 4.70 10-6/°С |
| Дулаан дамжуулалт @ 1200 ° C | 23 Вт/м•К |
| Уян хатан модуль | 240 ГПа |
| Дулааны цохилтын эсэргүүцэл | Маш сайн |
