Тодорхойлолт
SiC бүрээстэй Semicorex өрмөнцөр зөөгч нь онцгой дулааны тогтвортой байдал, дамжуулалтыг хангаж, ЗСӨ-ийн процессын үед дулааны жигд хуваарилалтыг хангадаг бөгөөд энэ нь өндөр чанарын нимгэн хальс болон бүрэх шинж чанарт чухал ач холбогдолтой юм.
Гол онцлогууд:
1. Гайхамшигтай дулааны тогтвортой байдал ба дамжуулалтМанай SiC-аар бүрсэн вафель зөөгч нь ЗСӨ-ийн процесст чухал ач холбогдолтой тогтвортой, тогтвортой температурыг хадгалахад онцгой ач холбогдолтой. Энэ нь дулааны жигд хуваарилалтыг баталгаажуулж, нимгэн хальс болон бүрэх чанарыг дээд зэргээр хангадаг.
2. Нарийвчлалтай үйлдвэрлэлӨргөст цаас бүрийг нарийн стандартын дагуу үйлдвэрлэж, жигд зузаан, гадаргуугийн тэгш байдлыг хангана. Энэхүү нарийвчлал нь олон ширхэг ялтсууд дээр тогтсон хуримтлалын хурд болон хальсны шинж чанарыг олж, үйлдвэрлэлийн ерөнхий чанарыг сайжруулахад чухал ач холбогдолтой юм.
3. Бохирдлын саадSiC бүрэх нь ус үл нэвтрэх хаалт болж, шингээгчээс ялгадас руу орохоос сэргийлдэг. Энэ нь өндөр цэвэршилттэй хагас дамжуулагч төхөөрөмж үйлдвэрлэхэд чухал ач холбогдолтой бохирдлын эрсдлийг бууруулдаг.
4. Бат бөх чанар, зардлын үр ашигтай байдалБат бөх бүтэцтэй, SiC бүрээс нь вафель зөөгчний бат бөх чанарыг сайжруулж, мэдрэгчийг солих давтамжийг бууруулдаг. Энэ нь засвар үйлчилгээний зардлыг бууруулж, сул зогсолтыг багасгаж, хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн үйл ажиллагааны үр ашгийг нэмэгдүүлдэг.
5. Тохируулах сонголтуудSiC бүрээстэй Semicorex өрмөнцөр зөөгчийг хэмжээ, хэлбэр, бүрэх зузаан гэх мэт тодорхой процессын шаардлагад нийцүүлэн өөрчилж болно. Энэхүү уян хатан чанар нь хагас дамжуулагч үйлдвэрлэх өөр өөр процессуудын өвөрмөц шаардлагад нийцүүлэн мэдрэгчийг оновчтой болгох боломжийг олгодог. Тохируулах сонголтууд нь өндөр хэмжээний үйлдвэрлэл эсвэл судалгаа, хөгжүүлэлт зэрэг тусгай хэрэглээнд тохирсон мэдрэгчтэй загварыг боловсруулах боломжийг олгодог бөгөөд тодорхой хэрэглээний тохиолдолд оновчтой гүйцэтгэлийг хангадаг.
Хэрэглээ:
SiC бүрээстэй Semicera өргүүр зөөгч нь дараахь зүйлд тохиромжтой.
• Хагас дамжуулагч материалын эпитаксиаль өсөлт
• Химийн уурын хуримтлал (ХХТ) процесс
• Сайн чанарын хагас дамжуулагч хавтан үйлдвэрлэх
• Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн дэвшилтэт хэрэглээ
Техникийн үзүүлэлтүүд:
