Semicera-ийн цахиурын карбидын дамми вафер нь өнөөгийн өндөр нарийвчлалтай хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн эрэлт хэрэгцээг хангахаар бүтээгдсэн. Энэ нь онцгой бат бөх чанар, өндөр дулааны тогтвортой байдал, дээд зэргийн цэвэршилтээрээ алдартайжигнэмэгХагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлд туршилт, тохируулга, чанарын баталгаа гаргахад зайлшгүй шаардлагатай. Semicera-ийн Цахиурын карбидын дамми өрөм нь элэгдэлд тэсвэртэй хосгүй шинж чанартай бөгөөд хатуу хэрэглээг эвдрэлгүйгээр тэсвэрлэх чадвартай бөгөөд үүнийг R&D болон үйлдвэрлэлийн орчинд хамгийн тохиромжтой болгодог.
Төрөл бүрийн хэрэглээг дэмжих зорилгоор бүтээгдсэн Цахиурын карбидын дамми ваффер нь дараах үйл явцад ихэвчлэн ашиглагддаг.Си Вафер, SiC субстрат, SOI Wafer, SiN субстрат, баЭпи-Вафельтехнологи. Түүний гайхалтай дулаан дамжуулалт ба бүтцийн бүрэн бүтэн байдал нь дэвшилтэт электрон эд анги, төхөөрөмжүүдийн үйлдвэрлэлд түгээмэл хэрэглэгддэг өндөр температурт боловсруулалт, боловсруулалт хийхэд маш сайн сонголт болгодог. Нэмж дурдахад ваферийн өндөр цэвэршилт нь бохирдлын эрсдлийг бууруулж, мэдрэмтгий хагас дамжуулагч материалын чанарыг хадгалдаг.
Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлд Цахиурын карбидын дамми өргүүр нь Галлийн исэл Ga2O3 ба AlN өрөм зэрэг шинэ материалын туршилтын найдвартай лавлагаа болж өгдөг. Эдгээр шинээр гарч ирж буй материалууд нь янз бүрийн нөхцөлд тогтвортой байдал, гүйцэтгэлийг хангахын тулд нарийн шинжилгээ, туршилтыг шаарддаг. Semicera-ийн дамми өргүүрийг ашигласнаар үйлдвэрлэгчид гүйцэтгэлийн тогтвортой байдлыг хангадаг тогтвортой платформыг олж авч, өндөр хүчин чадал, RF, өндөр давтамжийн хэрэглээнд зориулж дараагийн үеийн материалыг хөгжүүлэхэд тусалдаг.
Аж үйлдвэрийн салбар дахь хэрэглээ
• Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэл
SiC дамми өргүүр нь хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлд, ялангуяа үйлдвэрлэлийн эхний үе шатанд зайлшгүй шаардлагатай байдаг. Эдгээр нь хамгаалалтын хаалт болж, цахиур хавтанг болзошгүй эвдрэлээс хамгаалж, үйл явцын нарийвчлалыг баталгаажуулдаг.
•Чанарын баталгаа ба туршилт
Чанарын баталгаажуулалтын хувьд SiC Dummy Wafers нь хүргэлтийг шалгах, үйл явцын хэлбэрийг үнэлэхэд маш чухал юм. Эдгээр нь хальсны зузаан, даралтын эсэргүүцэл, тусгалын индекс зэрэг параметрүүдийг нарийн хэмжих боломжийг олгодог бөгөөд үйлдвэрлэлийн процессыг баталгаажуулахад хувь нэмэр оруулдаг.
•Литографи ба хэв маягийн баталгаажуулалт
Литографийн хувьд эдгээр хавтан нь хэв маягийн хэмжээг хэмжих, согогийг шалгах жишиг болж өгдөг. Тэдгээрийн нарийвчлал, найдвартай байдал нь хагас дамжуулагч төхөөрөмжийн үйл ажиллагаанд чухал ач холбогдолтой хүссэн геометрийн нарийвчлалд хүрэхэд тусалдаг.
•Судалгаа ба хөгжил
R&D орчинд SiC Dummy Wafers-ийн уян хатан байдал, бат бөх чанар нь өргөн хүрээний туршилтыг дэмждэг. Туршилтын хатуу нөхцөлийг тэсвэрлэх чадвар нь тэднийг хагас дамжуулагчийн шинэ технологийг хөгжүүлэхэд үнэлж баршгүй болгодог.
