SiC бүрсэнГрафит хагас сарны хэсэгХагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн процесст, ялангуяа SiC эпитаксиаль төхөөрөмжид ашиглагддаг гол бүрэлдэхүүн хэсэг юм. Бид патентжуулсан технологийг ашиглан хагас сарны хэсгийг маш өндөр цэвэршилттэй, бүрэх жигд байдал сайтай, ашиглалтын хугацаа маш сайн, химийн өндөр эсэргүүцэл, дулааны тогтвортой байдлын шинж чанартай хийдэг.