Бүтээгдэхүүний тойм
TheЦахиур шингээсэн цахиурын карбид (SiC) сэлүүр ба вафель зөөгчХагас дамжуулагчийн дулааны боловсруулалтын хэрэглээний шаардлагуудыг хангахаар бүтээгдсэн. Өндөр цэвэршилттэй SiC-ээр бүтээгдсэн, цахиур шингээх замаар сайжруулсан энэхүү бүтээгдэхүүн нь өндөр температурын гүйцэтгэл, маш сайн дулаан дамжуулалт, зэврэлтэнд тэсвэртэй, гайхалтай механик бат бөх чанарыг хослуулсан.
Энэхүү шийдэл нь материаллаг шинжлэх ухааны дэвшилтэт технологийг нарийн үйлдвэрлэлтэй нэгтгэснээр хагас дамжуулагч үйлдвэрлэгчдэд дээд зэргийн гүйцэтгэл, найдвартай байдал, бат бөх чанарыг баталгаажуулдаг.
Гол онцлогууд
1.Онцгой өндөр температурт тэсвэртэй
Хайлах цэг нь 2700 ° C-аас дээш бол SiC материалууд нь хэт халуунд тогтвортой байдаг. Цахиур нэвчилт нь тэдгээрийн дулааны тогтвортой байдлыг улам сайжруулж, бүтцийн сулрал, гүйцэтгэлийн доройтолгүйгээр өндөр температурт удаан хугацаагаар тэсвэрлэх боломжийг олгодог.
2.Дээд зэргийн дулаан дамжуулалт
Цахиур шингээсэн SiC-ийн онцгой дулаан дамжуулалт нь дулааны жигд хуваарилалтыг баталгаажуулж, боловсруулалтын чухал үе шатанд дулааны стрессийг бууруулдаг. Энэ өмч нь тоног төхөөрөмжийн ашиглалтын хугацааг уртасгаж, үйлдвэрлэлийн зогсолтыг багасгаж, өндөр температурт дулааны боловсруулалт хийхэд тохиромжтой.
3.Исэлдэлт ба зэврэлтэнд тэсвэртэй байдал
Бат бөх цахиурын ислийн давхарга нь гадаргуу дээр байгалийн жамаар үүсч, исэлдэлт, зэврэлтэнд гайхалтай эсэргүүцэл үзүүлдэг. Энэ нь хатуу ширүүн үйл ажиллагааны орчинд урт хугацааны найдвартай байдлыг хангаж, материал болон хүрээлэн буй эд ангиудыг хоёуланг нь хамгаалдаг.
4.Өндөр механик хүч чадал ба элэгдэлд тэсвэртэй
Цахиураар шингээсэн SiC нь өндөр ачаалал, өндөр температурын нөхцөлд бүтцийн бүрэн бүтэн байдлыг хадгалж, шахалтын бат бэх, элэгдэлд тэсвэртэй байдаг. Энэ нь элэгдлээс шалтгаалсан гэмтлийн эрсдлийг бууруулж, уртасгасан ашиглалтын хугацаанд тогтвортой гүйцэтгэлийг хангана.
Үзүүлэлтүүд
| Бүтээгдэхүүний нэр | SC-RSiC-Si |
| Материал | Цахиур шингээх Цахиур карбидын авсаархан (өндөр цэвэршилттэй) |
| Хэрэглээ | Хагас дамжуулагчийн дулааны боловсруулалтын эд анги, хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн тоног төхөөрөмжийн эд анги |
| Хүргэлтийн маягт | Цутгамал бие (Синтер бие) |
| Найрлага | Механик өмч | Залуугийн модуль (GPA) | Гулзайлтын хүч (МПа) | ||
| Зохиол (боть%) | α-SiC | α-SiC | RT | 370 | 250 |
| 82 | 18 | 800 ° C | 360 | 220 | |
| Бөөн нягтрал (кг/м³) | 3.02 x 103 | 1200 ° C | 340 | 220 | |
| Халуунд тэсвэртэй температур ° C | 1350 | Пуассоны харьцаа | 0.18(RT) | ||
| Дулааны шинж чанар | Дулаан дамжуулалт (Вт/(м· К)) | Тусгай дулаан багтаамж (кЖ/(кг·К)) | Дулааны тэлэлтийн коэффициент (1/К) | ||
| RT | 220 | 0.7 | RT~700°C | 3.4 x 10-6 | |
| 700 ° C | 60 | 1.23 | 700 ~ 1200 ° C | 4.3 x10-6 | |
| Бохирдлын агууламж ((ppm) | |||||||||||||
| Элемент | Fe | Ni | Na | K | Mg | Ca | Cr | Mn | Zn | Cu | Ti | Va | Ai |
| Агуулгын түвшин | 3 | <2 | <0.5 | <0.1 | <1 | 5 | 0.3 | <0.1 | <0.1 | <0.1 | <0.3 | <0.3 | 25 |
Хэрэглээ
▪Хагас дамжуулагчийн дулааны боловсруулалт:Температурыг нарийн хянах, материалын бат бөх чанарыг хангах нь чухал байдаг химийн уурын хуримтлал (CVD), эпитаксиаль өсөлт, анивчих зэрэг процессуудад тохиромжтой.
▪Вафель зөөгч ба сэлүүр:Өндөр температурт дулааны боловсруулалт хийх үед өрөмийг найдвартай барьж, тээвэрлэх зориулалттай.
▪Ашиглалтын онцгой орчин: Дулаан, химийн нөлөөлөл, механик стресст тэсвэртэй байх шаардлагатай тохиргоонд тохиромжтой.
Цахиур шингээсэн SiC-ийн давуу тал
Өндөр цэвэршилттэй цахиурын карбид ба цахиур шингээх дэвшилтэт технологийн хослол нь хосгүй гүйцэтгэлийн давуу талыг өгдөг.
▪Нарийвчлал:Хагас дамжуулагчийн боловсруулалтын нарийвчлал, хяналтыг сайжруулдаг.
▪Тогтвортой байдал:Функцийг алдагдуулахгүйгээр хатуу ширүүн орчныг тэсвэрлэдэг.
▪Урт наслалт:Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн тоног төхөөрөмжийн ашиглалтын хугацааг уртасгана.
▪Үр ашиг:Найдвартай, тогтвортой үр дүнг баталгаажуулснаар бүтээмжийг сайжруулна.
Яагаад манай цахиур шингээсэн SiC шийдлийг сонгох хэрэгтэй вэ?
At Хагас, бид хагас дамжуулагч үйлдвэрлэгчдийн хэрэгцээнд тохирсон өндөр гүйцэтгэлтэй шийдлүүдийг хангах чиглэлээр мэргэшсэн. Манай цахиур шингээсэн цахиурын карбидын сэлүүрт болон вафель зөөгч нь үйлдвэрлэлийн стандартад нийцэхийн тулд нарийн шалгалт, чанарын баталгааг хангадаг. Semicera-г сонгосноор та өөрийн үйлдвэрлэлийн процессыг оновчтой болгож, үйлдвэрлэлийн чадавхийг сайжруулахад зориулагдсан хамгийн сүүлийн үеийн материалд хандах боломжтой болно.
Техникийн үзүүлэлтүүд
▪Материалын найрлага:Цахиур шингээсэн өндөр цэвэршилттэй цахиурын карбид.
▪Ашиглалтын температурын хүрээ:2700 ° C хүртэл.
▪ Дулаан дамжуулалт:Дулаан жигд хуваарилах онцгой өндөр.
▪Эсэргүүцлийн шинж чанарууд:Исэлдэлт, зэврэлт, элэгдэлд тэсвэртэй.
▪Хэрэглээ:Төрөл бүрийн хагас дамжуулагч дулааны боловсруулалтын системд нийцдэг.
Бидэнтэй холбоо барина уу
Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн үйл явцыг сайжруулахад бэлэн үү? Холбоо барихХагасӨнөөдөр манай Цахиур шингээсэн цахиурын карбидын сэлүүрт болон вафель зөөгчний талаар илүү ихийг мэдэхийг хүсвэл.
▪Имэйл: sales01@semi-cera.com/sales05@semi-cera.com
▪Утас: +86-0574-8650 3783
▪Байршил:No.1958 Jiangnan Road, Ningbo High tech, Zone, Zhejiang муж, 315201, Хятад
